基本信息:
- 专利标题： 微机械设备和用于制造微机械设备的方法
- 申请号：CN201880062680.6 申请日：2018-07-16
- 公开(公告)号：CN111164401B 公开(公告)日：2021-12-03
- 发明人： V·森兹 , T·弗里德里希 , F·霍伊克 , M·施瓦茨
- 申请人： 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址： 德国斯图加特
- 专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址： 德国斯图加特
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理人： 侯鸣慧
- 优先权： 102017212875.5 20170726 DE
- 国际申请： PCT/EP2018/069191 2018.07.16
- 国际公布： WO2019/020409 DE 2019.01.31
- 进入国家日期： 2020-03-26
- 主分类号： G01L9/12
- IPC分类号： G01L9/12 ; B81C1/00 ; G01L9/00 ; G01L19/06
摘要：
本发明涉及一种微机械设备(1a；1b；1c)，该微机械设备具有载体衬底(2)；传感器装置(3)，该传感器装置与所述载体衬底(2)的表面区段(4)间隔开地借助于弹簧元件(9)布置在所述载体衬底(2)处，使得所述传感器装置(3)能够相对于所述表面区段(4)振动；和至少一个布置在所述传感器装置(3)和/或所述载体衬底(2)的所述表面区段(4)处的停止器元件(51、52)，该停止器元件限制所述传感器装置(3)朝着所述表面区段(4)的方向的偏移。
公开/授权文献:
- CN111164401A 微机械设备和用于制造微机械设备的方法 公开/授权日：2020-05-15
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01L | 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力 |
| ------G01L9/00 | 用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的 |
| --------G01L9/12 | .利用电容量变化的 |