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1. 发明授权

CN113227741B 微机械传感器装置和用于制造微机械传感器装置的方法有权
公开(公告)号：CN113227741B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN201980085042.0
申请日：2019-12-17
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： T·弗里德里希 , K·德塞尔 , C·赫尔梅斯
IPC分类号： G01L9/00 , G01L9/12 , G01L15/00
摘要：本发明涉及一种微机械传感器装置(1)，包括衬底(2)和边缘层(3)，所述边缘层布置在所述衬底(2)上并且在横向上包围在所述衬底(2)上面的内部区域(IB)；至少一个膜片(4)，所述膜片跨越所述内部区域(IB)并且构造在所述衬底(2)上面的被遮盖的腔(K)；至少一个支撑部(5)，所述支撑部在所述腔(K)内部布置在所述衬底(2)和所述膜片(4)之间并且所述膜片(4)固定在所述边缘层(3)和/或所述至少一个支撑部(5)上，其中，所述支撑部(5)将所述膜片(4)分隔成至少一个通过力作用(p)能运动的测量区域(MB)和至少一个通过所述力作用(p)不能运动的参考区域(RB)，其中，所述衬底(2)和所述膜片(4)在所述腔(K)内部包括在所述测量区域(MB)和参考区域(RB)中的面向彼此的电极(E1；E2)。

2. 发明授权

CN113227740B 微机械压力传感器设备和相应的制造方法有权
公开(公告)号：CN113227740B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN201980085011.5
申请日：2019-12-13
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： T·弗里德里希 , J·梅克巴赫
IPC分类号： G01L9/00 , B81B3/00
摘要：一种微机械压力传感器设备，所述微机械压力传感器设备具有：第一掺杂类型的半导体基础衬底，在所述半导体基础衬底上布置有所述第一掺杂类型的中间层；空腔，所述空腔包括所述半导体基础衬底的部分区域的凹槽和所述中间层的凹槽，其中，所述空腔由第二掺杂类型的密封层封闭并且包含参考压力，其中，所述密封层具有布置在所述空腔的上侧处的膜片区域；所述第二掺杂类型的第一栅格，所述第一栅格在所述空腔内悬挂在所述第二掺杂类型的掩埋连接区域处，其中，所述掩埋连接区域远离所述空腔侧向延伸到所述半导体基础衬底中；所述第二掺杂类型的第二栅格，所述第二栅格布置在所述膜片区域的指向所述空腔的一侧上并且悬挂在所述膜片区域处，其中，所述第一栅格和所述第二栅格彼此电绝缘并且形成电容C，其中，第一连接部经由所述掩埋连接区域与所述第一栅格电连接，并且第二连接部与所述第二栅格电连接，其中，外部压力与所述参考压力之间的压力变化能够通过所述第一连接部与所述第二连接部之间的电容变化来检测。一种相应的制造方法。

3. 发明授权

CN112313123B 用于具有至少两根车轴的车辆的液压的制动系统有权
公开(公告)号：CN112313123B
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN201980042674.9
申请日：2019-05-24
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： T·弗里德里希 , D·德罗特勒夫 , R·克勒曼 , D·布伦德费尔 , B·欣茨
IPC分类号： B60T7/12
摘要：本发明涉及一种用于具有至少两根车轴(VA、HA)的车辆、尤其是用于高度自动化的或者自动驾驶的车辆的液压的制动系统(1)，该液压的制动系统具有至少两个彼此液压分开的子制动系统(SubV、SubH)，其中第一子制动系统(SubV)配属于具有至少两个车轮制动器(RB1、RB2)的第一车轴(VA)并且包括第一制动回路(BKV)、具有第一能量供给装置和第一分析及控制单元的主系统(10)以及具有独立于所述第一能量供给装置的第二能量供给装置和第二分析及控制单元的、用于在所述第一制动回路(BKV)中产生冗余的压力的次级系统(20)，其中所述第一制动回路(BVK)包括配属于所述主系统(10)的第一压力发生器、配属于所述次级系统(20)的第二压力发生器以及第一调制单元，所述第一压力发生器和所述第二压力发生器液压并联连接在第一流体容器与所述第一车轴(VA)的至少两个车轮制动器(RB1、RB2)之间，所述第一调制单元用于将所述压力发生器与所述至少两个车轮制动器(RB1、RB2)液压地连接并且用于在所述至少两个车轮制动器(RB1、RB2)中进行个性化的制动压力调制；其中第二子制动系统(SubH)配属于具有至少两个车轮制动器(RB3、RB4)的第二车轴(HA)并且包括第二制动回路(BKH)和具有第三能量供给装置以及第三分析及控制单元的、用于在所述第二制动回路(BKH)中产生压力的辅助系统(30)，其中所述第二制动回路(BKH)包括配属于所述辅助系统(30)的、布置在第二流体容器与第二车轴(HA)的至少两个车轮制动器(RB3、RB4)之间的第三压力发生器以及第二调制单元，所述第二调制单元用于将所述压力发生器与所述至少两个车轮制动器(RB3、RB4)液压地连接并且用于在所述至少两个车轮制动器(RB3、RB4)中进行个性化的制动压力调制。

4. 发明授权

CN111757828B 多回路的液压关闭的制动系统有权
公开(公告)号：CN111757828B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN201980015084.7
申请日：2019-01-07
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： S·施特伦格特 , T·弗里德里希 , D·德罗特勒夫 , R·克勒曼
IPC分类号： B60T13/66
摘要：本发明涉及一种多回路的液压关闭的制动系统(1)、尤其是用于高度自动化车辆或者自动驾驶车辆的制动系统以及一种用于这种制动系统(1)的运行方法，该制动系统具有：至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)，该车轮制动器分别配属于一制动回路(BK1、BK2)；两个多回路的增压器(12、22)，该增压器在液压方面串联在流体容器(7)和至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)之间；以及液压单元(26)，该液压单元用于将增压器(12、22)与至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)液压地连接并且用于在至少两个车轮制动器(RB1、RB2、RB3、RB4)中进行各自独立的制动压力调制。第一增压器(12)是柱塞系统并且配属于主系统(10)，主系统包括第一能量供给器(EV1)和用于操控第一增压器(12)的第一评估及控制单元(14)。第二增压器(22)是泵系统并且配属于次级系统(20)，次级系统包括独立于所述第一能量供给器(EV1)的第二能量供给器(EV2)以及第二评估及控制单元(24)。此外液压单元(26)配属于次级系统(20)，从而液压单元(26)的组件和第二增压器(22)由第二评估及控制单元(24)操控并且由第二能量供给器(EV2)供给能量。

5. 发明授权

CN110386122B 多回路液压开式制动系统有权
公开(公告)号：CN110386122B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN201910320121.7
申请日：2019-04-19
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： B·欣茨 , D·布伦德费尔 , D·德罗特勒夫 , R·克勒曼 , T·弗里德里希
IPC分类号： B60T13/20 , B60T13/66 , B60T13/14
摘要：本发明涉及一种多回路液压开式制动系统，该制动系统具有至少两个车轮制动器，该车轮制动器相应地被分别分配给具有压力释放排放路径的制动回路；两个单回路压力发生器，在至少一个流体容器和至少两个车轮制动器之间液压地并联连接；调制单元，用于单回路压力发生器与至少两个车轮制动器的液压连接和在至少两个车轮制动器中的单独制动压力调制，第一单回路压力发生器被分配给主系统，其中第二单回路压力发生器被分配给次级系统，其中用于单独制动压力调节的调制单元的部件被分配给主系统，使得调制单元的这些部件和第一单回路压力发生器通过第一评估和控制单元控制，并由第一电源供电。

6. 发明公开

CN113120852A 用于传感器或麦克风设备的微机械组件审中-实审
公开(公告)号：CN113120852A
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202110046944.2
申请日：2021-01-14
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： H·韦伯 , A·朔伊尔勒 , C·赫尔梅斯 , P·施莫尔格鲁贝尔 , T·弗里德里希
IPC分类号： B81B7/00 , B81B7/02 , B81C1/00
摘要：本发明涉及一种用于传感器或麦克风设备的微机械组件，其具有膜片载体结构、构造在膜片载体结构中并与膜片内侧邻接的空腔和分离沟道，膜片载体结构具有构造在膜片载体结构的表面上的膜片，分离沟道穿过膜片载体结构的表面地结构化并且延伸至空腔并完全包围膜片，分离沟道通过至少一种分离沟道封闭材料以介质密封的方式和/或以空气密封的方式被密封，至少一个蚀刻通道在所述膜片载体结构中与分离沟道分开地构造，其分别从其第一蚀刻通道区段延伸至其第二蚀刻通道区段，第一蚀刻通道区段通到所述空腔中，第二蚀刻通道区段分别通过至少构造在膜片载体结构的表面的外部部分面上的至少一个蚀刻通道封闭结构以介质密封和/或空气密封的方式密封。

7. 发明公开

CN112441002A 控制装置和用于控制机动车的行驶的方法审中-公开
公开(公告)号：CN112441002A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN202010910608.3
申请日：2020-09-02
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： T·弗里德里希 , H-B·海瑟尔
IPC分类号： B60W30/18 , B60W50/08
摘要：本发明涉及一种用于机动车的控制装置（10），所述控制装置设计用于：读出能从其起始位置调整至最终位置的输入元件（16）的当前的位置，并且倘若控制装置（10）读出，输入元件（16）调整进入滑行区域时，将至少一个操控信号（18）输出给机动车的至少一个车辆组件（20），由此这样来操控至少一个车辆组件（20），使得机动车在空转时能继续前行；测定，当前的调整速度是否低于预定的比较速度，并且，倘若倘若输入元件（16）在处于制动区域和滑行区域之间的第一中间区域中或者在处于滑行区域和加速区域之间的第二中间区域中，并且当前的调整速度低于比较速度，则将至少一个操控信号（18）输出给至少一个车辆组件（20）。

8. 发明公开

CN111498796A 用于制造MEMS结构的方法和相应的MEMS结构审中-公开
公开(公告)号：CN111498796A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010078478.1
申请日：2020-02-03
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： J·莱茵穆特 , T·弗里德里希
IPC分类号： B81C1/00 , B81B7/02 , G01L9/00 , G01L19/00
摘要：本发明实现一种用于制造MEMS结构的方法和相应的MEMS结构以及MEMS构件。方法具有以下步骤：提供衬底(S)，在衬底上施加微机械的功能层组件(FS)，其具有一个或多个功能层，功能层组件(FS)具有空腔(K)，空腔通过贯通开口(D；D')朝着功能层(FS)的外侧地露出，贯通开口具有比功能层组件(FS)更小的横向延展；借助HDP方法如此在功能层组件(FS)和贯通开口(D；D')的外侧上沉积封闭层(O，O')，使得封闭层(O，O')的第一区域(O)在功能层组件(FS)的外侧上生长，封闭层(O，O')的第二区域(O')从空腔(K)内在贯通开口(D；D')以下柱状地生长；由封闭层(O，O')的第二区域(O')在贯通开口(D；D')中构造封闭区域(VBO)。

9. 发明公开

CN110383027A 微机械压力传感器有权
公开(公告)号：CN110383027A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880015292.2
申请日：2018-02-21
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： V·森兹 , R·毛尔 , T·德盖伊 , T·弗里德里希 , A·丹嫩贝格 , F·卢卡奇 , H·格鲁茨埃克 , F·霍伊克 , M·施瓦茨
IPC分类号： G01L9/00 , G01L19/06 , G01L19/00 , G01L19/14 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00
摘要：本发明涉及一种微机械压力传感器(100)，所述微机械压力传感器具有：-压力传感器芯(10)，该压力传感器芯具有传感器膜片(14)和构造在所述传感器膜片(14)上方的腔(11)；和-压力传感器框架(20)；其中，-用于将所述压力传感器芯(10)机械附接到所述压力传感器框架(20)上的弹簧元件(15)这样构造，使得机械稳固性最大化并且从所述压力传感器框架(20)到所述压力传感器芯(10)上的应力耦入最小化。

10. 发明授权

CN102765364B 具有可用烟火技术调整的刚度的用于吸收碰撞能量的装备和用于调整刚度的方法失效
公开(公告)号：CN102765364B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201210203331.6
申请日：2012-05-04
申请人：罗伯特·博世有限公司
发明人： R·马尔希塔勒尔 , T·弗里德里希 , A·莫里茨
IPC分类号： B60R21/02 , B60R19/34
CPC分类号： B60R19/34 , F16F7/125
摘要：本发明涉及用于吸收碰撞能量的具有可调整的刚度的装备(110)，具有用于接收变形元件(330)和当该变形元件在由碰撞能量决定的推进方向(120)上运动时使该变形元件(330)变形的壳体(300、310)。该装备(110)包括：设置在壳体(300、310)内的可分离的基体(350)，用于变形元件(330)的接收和变形；设置在壳体(300、310)内的支撑装置(360)，其构造用于，在第一位置中支撑可分离的基体(350)抵抗变形元件(330)在相对于推进方向(120)的横向上作用的径向力，在第二位置中释放可分离的基体(350)以使其通过径向力而移动分离；和烟火技术促动器(370)，用于产生压力，以使支撑装置(360)从第一位置运动到第二位置，调整该装备(110)的刚度。

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