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氢氟酸处理系统

阅读：1037发布：2020-05-12

IPRDB可以提供氢氟酸处理系统专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提供了一种氢氟酸处理系统，包括反应器、延伸入所述反应器内的电极、手动阀及与所述反应器连接并延伸入反应器内的管道，所述手动阀设于所述管道上用于控制所述管道内的流体，所述管道上还设有一电磁阀及一时间控制装置，所述时间控制装置与所述电磁阀连接。相较于现有技术，本发明所述的氢氟酸处理系统通过在手动阀后面增设了电磁阀及时间控制装置，实现了对电极的自动定时冲洗，减少了人工操作，也延长电极的使用寿命。，下面是氢氟酸处理系统专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种氢氟酸处理系统，包括反应器、延伸入所述反应器内的电极、手动阀及与所述反应器连接并延伸入反应器内的管道，所述手动阀设于所述管道上用于控制所述管道内的流体，其特征在于：所述管道上还设有一电磁阀及一时间控制装置，所述时间控制装置与所述电磁阀连接。

2.如权利要求1所述的氢氟酸处理系统，其特征在于：所述电极包括一长条形的电极导杆及位于所述电极导杆一端的电极探头。

3.如权利要求2所述的氢氟酸处理系统，其特征在于：所述电极导杆的另一端连接有通电线缆。

4.如权利要求1至3中任意一项所述的氢氟酸处理系统，其特征在于：所述时间控制装置包括相互串联在一起的一计时器、一继电器及一开关。

5.如权利要求4所述的氢氟酸处理系统，其特征在于：所述反应器呈圆筒形，并设有一圆形封盖。

6.如权利要求5所述的氢氟酸处理系统，其特征在于：所述管道内的流体依次经过所述手动阀、电磁阀后进入所述反应器内。

说明书全文

氢氟酸处理系统

【技术领域】

[0001] 本发明涉及一种氢氟酸处理系统，尤其涉及一种设有自动清洗装置的氢氟酸处理系统。【背景技术】

[0002] 目前，在半导体制程行业中，经常会用到氢氟酸处理系统，常见的氢氟酸处理系统是通过利用氯化钙与氢氟酸反应生成氟化钙沉淀来去除氟离子，而此过程中会产生的氟化钙沉淀会将氟电极的表面包裹，从而影响到电极的准确性，进而影响加药系统的运行和出水氟离子的控制。

[0003] 为了防止氢氟酸处理系统中的氟电极表面产生结垢，通常会在氟电极旁安装自来水管，由维护人员定时手动打开自来水管上的手动阀门，利用自来水对所述氟电极进行冲洗，然而，人为的控制清洗就会带来一些不定因素，如：无法定时的清洗、清洗的频率少等，这都将影响氟电极表面的清洁度及整个氢氟酸处理系统的正常运作。

[0004] 鉴于上述问题，有必要提供一种氢氟酸处理系统来解决上述问题。【发明内容】

[0005] 本发明所解决的技术问题在于提供一种氢氟酸处理系统，其可减少人工操作，固定了对电极的冲洗时间，延长电极的使用寿命。

[0006] 为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：一种氢氟酸处理系统，包括反应器、延伸入所述反应器内的电极、手动阀及与所述反应器连接并延伸入反应器内的管道，所述手动阀设于所述管道上用于控制所述管道内的流体，所述管道上还设有一电磁阀及一时间控制装置，所述时间控制装置与所述电磁阀连接。

[0007] 进一步地，所述电极包括一长条形的电极导杆及位于所述电极导杆一端的电极探头。

[0008] 进一步地，所述电极导杆的另一端连接有通电线缆。

[0009] 进一步地，所述时间控制装置包括相互串联在一起的一计时器、一继电器及一开关。

[0010] 进一步地，所述反应器呈圆筒形，并设有一圆形封盖。

[0011] 进一步地，所述管道内的流体依次经过所述手动阀、电磁阀后进入所述反应器内。

[0012] 相较于现有技术，本发明所述的氢氟酸处理系统通过在手动阀后面增设了电磁阀及时间控制装置，实现了对电极的自动定时冲洗，减少了人工操作，也延长电极的使用寿命。【附图说明】

[0013] 图1为本发明所述的氢氟酸处理系统的结构示意图。【具体实施方式】

[0014] 请参图1所示，本发明提供一种氢氟酸处理系统100，其包括一密封式的筒形反应器10、延伸入所述反应器10内的电极20、电磁阀30、与所述电磁阀30连接的时间控制装置40、手动阀50及与所述反应器10连接并延伸入反应器10内的管道60。

[0015] 所述反应器10作为盛放液态氢氟酸的容器，其呈圆筒形并设有一圆形封盖11，所述封盖11对反应器10进行密封，在圆筒内形成一密封的反应空间。

[0016] 所述电极20呈长条形，其一端穿过所述圆形封盖11而进入所述反应器10内，并置于所述反应器10内的液态氢氟酸中，所述电极20的另一端凸伸出所述圆形封盖11而外露于所述反应器10的外部，并与一通电线缆70连接，实现对电极20的通电，促使反应器10内反应的进行。所述电极20包括一长条形的电极导杆21及设于所述电极导杆21末端的电极探头22，该电极探头22置于所述液态氢氟酸中。

[0017] 电磁阀30设于所述管道60上并与所述时间控制装置40连接，用以实现对管道60内流体的开闭功能。所述电磁阀30是用来控制所述管道60内流体的自动化基础元件，可控制管道60内液态的流动方向，当所述电磁阀30在通电时，其内部的电磁线圈(未图示)将产生磁力把电磁阀30的闸件(未图示)从阀座上提起，致使电磁阀30打开；而断电时，电磁力消失，所述闸件(未图示)回归至阀座上，致使电磁阀30关闭。

[0018] 所述时间控制装置40包括一计时器41、一继电器42及一开关43。所述电磁阀30与所述计时器41、继电器42及开关43串联连接，所述时间控制装置40可设置两个参数：电磁阀30开启间隔时长和电磁阀30开启的时长，用于对电磁阀30进行开闭的控制，以有效控制液态流经电磁阀30的时间间隔和时长。

[0019] 所述手动阀50安装于所述管道60上，且比所述电磁阀30更远离所述反应器10设置，其供由运行工作人员手动进行定时开始及关闭。所述管道60用于传输自来水，并将自来水传送至所述反应器10的内部对所述电极20进行清洗。所述管道60内的自来水在流向所述反应器10内时，将先经过所述手动阀50，然后再经过所述电磁阀，最后流入至所述反应器10内部。

[0020] 本发明所述的氢氟酸处理系统100在手动阀50后面加装一电磁阀30和一与电磁阀30连接的时间控制装置40，使得对电极20的清洗时间及清洗频率变得固定并可自动实现，不但减少了人工的操作，还使得电极20能被清洗的更加干净，延长了其使用寿命，减少了运行维护的费用。

[0021] 以上所述，仅是本发明的最佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，利用上述揭示的方法内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，均属于权利要求书保护的范围。

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