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    • 1. 发明申请
    • 方向性電磁鋼帯の連続電解エッチング方法および方向性電磁鋼帯の連続電解エッチング装置
    • 用于在面向磁性钢带上进行连续电解蚀刻的方法,以及用于在面向磁性钢带上进行连续电解蚀刻的装置
    • WO2016140022A1
    • 2016-09-09
    • PCT/JP2016/053755
    • 2016-02-09
    • JFEスチール株式会社
    • 松田 健嗣
    • C25F3/14C21D8/12C22C38/00H01F1/16
    • C25F3/06C21D8/12C21D8/1233C21D8/1283C22C38/00C25F3/14H01F1/16H01F1/18
    •  方向性電磁鋼帯の連続電解エッチング方法は、最終板厚まで冷間圧延された方向性電磁鋼帯1の表面に線状の露出部を残してエッチングマスクを形成するマスク形成行程と、電解エッチング装置4の直前に配置された位置検出センサ9およびセンタリング装置8によって方向性電磁鋼帯のセンタリングを行うセンタリング行程と、電解エッチング装置において方向性電磁鋼帯をコンダクタロール43a,43bに接触させると共に電解浴46中に浸漬させて該電解浴中に配置された電極42と対向させ、該コンダクタロールと該電極との間で通電して電解エッチングする電解エッチング処理を施して該方向性電磁鋼帯の表面に線状溝を形成する溝形成行程と、を含む。
    • 提供了一种在定向磁钢带上进行连续电解蚀刻的方法,该方法包括:掩模形成步骤,用于形成蚀刻掩模,以便在定向磁钢带1的表面上留下线状暴露部分, 轧制成最终厚度; 使用位于电解蚀刻装置4的前方立即配置的位置检测传感器9和定中心装置8来定心取向的磁性钢带的对中步骤; 以及用于使定向磁钢带与电解蚀刻装置中的导体辊43a,43b接触并将条浸入电解槽46中的槽形成步骤,使得条带面对布置在电解槽内的电极42,通过 导体辊和电极之间的电流,以进行用于电解蚀刻取向的磁性钢带的电解蚀刻工艺,并且在定向磁性钢带的表面中形成直线槽。
    • 8. 发明申请
    • A METHOD FOR WET ETCHING
    • 一种用于湿蚀刻的方法
    • WO02024977A1
    • 2002-03-28
    • PCT/SE2001/002012
    • 2001-09-20
    • C23F1/00C23F1/02C25F3/14H05K3/06
    • H05K3/067C23F1/02C25F3/14
    • In etching, an etchant (4) for etching of a substrate (1) is applied in a given pattern. Before etching, a resist layer (2) is applied to the substrate (1) in said pattern to define at least one exposed portion (3) of the substrate (1). In order to minimize under etching, a passivating substance is arranged, before etching, on the substrate (1) to also define said pattern, i.e. at the periphery of the exposed portion (3). The passivating substance is such as to form, during etching, an etch-protecting compound at the periphery.
    • 在蚀刻中,以给定的图案施加蚀刻衬底(1)的蚀刻剂(4)。 在蚀刻之前,以所述图案将抗蚀剂层(2)施加到基板(1)以限定基板(1)的至少一个暴露部分(3)。 为了在蚀刻下最小化,在蚀刻之前,在基板(1)上布置钝化物质,还限定所述图案,即在暴露部分(3)的周边。 钝化物质在蚀刻期间形成在周边的蚀刻保护化合物。
    • 9. 发明申请
    • METHOD OF ETCHING, AS WELL AS FRAME ELEMENT, MASK AND PREFABRICATED SUBSTRATE ELEMENT FOR USE IN SUCH ETCHING
    • 蚀刻方法,如框架元件,掩模和预制基板元件,用于此类蚀刻
    • WO02022916A1
    • 2002-03-21
    • PCT/SE2001/001989
    • 2001-09-18
    • C25F3/14H05K3/07
    • C25F3/14H05K3/07
    • In a method of etching a substrate (1) having a surface layer (3) f conductive material, a circuit pattern is transferred to the surface layer (3) in a central surface area portion (4) of the substrate (1) by electrochemical etching. To prevent excessive current densities from forming at the periphery of the central surface area portion (4) during the etching step, a frame (9) adapted to attract electrical field is provided adjacent to the central surface area portion (4). The frame (9) can be part of a separate from element which is placed on the substrate (1) before the etching step, or be incorporated in a resist coating on the substrate (1). The frame (9) can be transferred to the resist coating by any suitable means, for example by photolithographic exposure through a mask with a suitable frame pattern. Alternatively, the frame (9) can be incorporated in a prefabricated substrate element, to which the circuit pattern is transferred in the etching step.
    • 在蚀刻具有导电材料的表面层(3)的基板(1)的方法中,电路图案通过电化学转移到基板(1)的中心表面区域(4)中的表面层(3) 蚀刻。 为了防止在蚀刻步骤期间在中心表面区域(4)的周围形成过多的电流密度,在中心表面区域部分4附近设置适于吸引电场的框架(9)。 框架(9)可以是在蚀刻步骤之前放置在基板(1)上的单独的元件的一部分,或者被结合到基板(1)上的抗蚀剂涂层中。 框架(9)可以通过任何合适的方式传递到抗蚀剂涂层,例如通过具有适当框架图案的掩模的光刻曝光。 或者,框架(9)可以结合在预制的衬底元件中,在蚀刻步骤中电路图案被转移到衬底元件。