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1. 发明申请

WO2022158284A1 研磨パッドの表面性状測定装置、研磨パッドの表面性状測定方法、および研磨パッドの表面性状判定方法审中-公开
公开(公告)号：WO2022158284A1
公开(公告)日：2022-07-28
申请号：PCT/JP2022/000075
申请日：2022-01-05
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：大島　浩平 , 松尾　尚典 , 金馬　利文 , ▲高▼田　暢行
IPC分类号： B24B37/00 , B24B37/20 , B24B49/12 , B24B49/18 , B24B53/00 , H01L21/304
摘要：本発明は、半導体ウエハ等の基板の研磨に用いられる研磨パッドの表面性状測定装置、研磨パッドの表面性状測定方法、および研磨パッドの表面性状判定方法に関するものである。表面性状測定装置（３０）は、研磨パッド（２）を研磨パッド（２）の研磨面（２ａ）から見たときに、光を複数の照射角度から研磨パッド（２）に照射可能な投光部（３２）と、研磨パッド（２）の表面で反射した複数の方向からの反射光を受光可能な受光部（３５）を備えている。

2. 发明申请

WO2020058216A1 VERFAHREN ZUM ABRICHTEN EINES HONWERKZEUGES, VORRICHTUNG ZUR ANWENDUNG DES VERFAHRENS SOWIE MIT DER VORRICHTUNG AUSGESTATTETE BEARBEITUNGSMASCHINE, HONLEISTE UND HONWERKZEUG 审中-公开
公开(公告)号：WO2020058216A1
公开(公告)日：2020-03-26
申请号：PCT/EP2019/074765
申请日：2019-09-17
申请人： DIAHON WERKZEUGE GMBH & CO. KG
发明人： KLINK, Ulrich , SIHLING, Bernd
IPC分类号： B24B53/00
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abrichten eines Honleisten (1) umfassenden Honwerkzeuges (9), wobei mindestens eine Honleiste (1) mittels eines elektroerosiven Verfahrens abgerichtet wird. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Bearbeitungsmaschine, insbesondere eine Honmaschine (12) mit einer Abrichtvorrichtung (8). Weiterhin betrifft die Erfindung eine Honleiste (1) und ein Honwerkzeug (9).

3. 发明申请

WO2017067884A1 AN APPARATUS FOR DRESSING A GRINDING WHEEL 审中-公开
标题翻译：一种用于磨削砂轮的装置
公开(公告)号：WO2017067884A1
公开(公告)日：2017-04-27
申请号：PCT/EP2016/074883
申请日：2016-10-17
申请人： THYSSENKRUPP METALURÚRGICA CAMPO LIMPO LTDA. , THYSSENKRUPP AG , UNIVERSIDADE DE SAO PAULO
发明人： BARBOSA DE OLIVEIRA FERREIRA SALLES, Bruno , JANNONE DA SILVA, Eraldo , GOMES DE OLIVEIRA, Joao, Fernando , CAMILLI BOTTENE, Alex
IPC分类号： B24B53/00 , B24B53/04 , B24B53/08 , B24B49/00
CPC分类号： B24B53/005 , B24B49/00 , B24B49/003 , B24B53/04 , B24B53/08
摘要： An apparatus (1) for dressing a grinding wheel (2) mounted thereon by creating structures (12) on the surface of a, in particular cylindrical, grinding surface (3) of the grinding wheel (2), the apparatus (1) comprising: - a dressing tool holder (6) arranged for accommodating a dressing tool (4) in a dressing position, - a controllable actuator (7) for adjusting the position of the tool holder (6) within the apparatus (1) in at least one direction (x), - a grinding wheel support (14) for rotatably supporting a grinding wheel (2) to be dressed, the apparatus (1) further comprises means (13, 9) for monitoring an individual structure (12), created by the dressing tool (4) on the surface of the grinding wheel (2), and means (8) for monitoring a circumferential position and/or the rotary speed (19) of the grinding wheel (2), and means (10) for controlling the actuator (7), adapted to control the actuator (7) as a function of the monitored structure (12) and the monitored circumferential position and/or rotary speed (19).
摘要翻译：通过在砂轮（2）的尤其是圆柱形研磨表面（3）的表面上形成结构（12）来修整安装在其上的砂轮（2）的装置（1）），所述设备（1）包括： - 修整工具保持器（6），所述修整工具保持器（6）布置成用于将修整工具（4）容纳在修整位置中;可控制致动器（7），用于将所述工具保持器所述装置（1）在至少一个方向（x）上， - 用于可旋转地支撑待修整的磨轮（2）的砂轮支架（14），所述装置（1）还包括用于监测在砂轮（2）的表面上由修整工具（4）形成的单独结构（12），以及用于监测砂轮（2）的圆周位置和/或旋转速度（19）的装置（8） 2）和用于控制所述致动器（7）的装置（10），所述装置适于根据所监测的结构（12）和所监测的电路（7）来控制所述致动器参考位置和/或转速（19）。

4. 发明申请

WO2017056392A1 研磨パッドのコンディショニング方法及び研磨装置审中-公开
标题翻译：抛光垫调节方法和抛光装置
公开(公告)号：WO2017056392A1
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：PCT/JP2016/003963
申请日：2016-08-31
申请人：信越半導体株式会社
发明人：安田　太一 , 佐々木　正直 , 榎本　辰男 , 佐々木　拓也 , 浅井　一将
IPC分类号： B24B37/00 , B24B53/00 , H01L21/304
CPC分类号： B24B37/00 , B24B53/00 , H01L21/304
摘要：本発明は、回転可能な円盤状の定盤に貼り付けられたウェーハを研磨するための研磨パッドを、コンディショニングヘッドを用いてコンディショニングする方法であって、前記定盤を回転させることで該定盤に貼り付けられた前記研磨パッドを回転させながら、前記コンディショニングヘッドを前記定盤の半径方向に移動させつつ前記コンディショニングを実施し、前記定盤の回転数及び前記コンディショニングヘッドの前記定盤の半径方向への移動速度を、前記コンディショニングヘッドの前記定盤の中心からの距離に応じて制御することを特徴とする研磨パッドのコンディショニング方法である。これにより、研磨パッドの研磨面の全面を適切にコンディショニングすることが可能な研磨パッドのコンディショニング方法が提供される。
摘要翻译：本发明是一种用于调节抛光垫的方法，该抛光垫被固定在可旋转的盘形表面板上并用于使用调节头来抛光晶片。抛光垫调节方法的特征在于：通过旋转所述表面板旋转所述抛光垫，所述抛光垫通过旋转所述表面板而旋转，在执行所述调节的同时，调节头在表面板的径向方向上移动; 并且根据调节头距表面板的中心的距离来控制表面板的径向方向上的表面板转速和调节头移动速度。由此提供能够适当地调整抛光垫的整个抛光面的抛光垫调节方法。

5. 发明申请

WO2013015095A1 圧粉磁心及びその製造方法、並びにコイル部品审中-公开
标题翻译：粉末磁芯，制造方法和线圈组件
公开(公告)号：WO2013015095A1
公开(公告)日：2013-01-31
申请号：PCT/JP2012/067289
申请日：2012-07-06
申请人：住友電気工業株式会社 , 住友電工焼結合金株式会社 , 上野友之 , 島田良幸
发明人：上野　友之 , 島田　良幸
IPC分类号： H01F41/02 , B22F1/02 , B22F3/00 , B22F3/035 , B22F3/24 , B24B7/04 , B24B53/00 , C09K3/14 , H01F7/06 , H01F27/255
CPC分类号： H01F41/0206 , B22F3/24 , B22F2998/10 , H01F3/08 , H01F7/081 , H01F41/0246 , B22F3/02 , B22F2003/248 , B22F2003/247
摘要：絶縁被覆処理された純鉄粉又は鉄を主成分とする鉄系合金粉末を金型を用いて加圧成形して圧粉磁心を得る工程、得られた圧粉磁心に熱処理を施す工程、及び熱処理された圧粉磁心の少なくとも一部に研削砥石を用いた後加工を施す工程を含んでいる。前記後加工を施す工程において、圧粉磁心及び研削砥石を自転させつつ研削加工を施すことで圧粉磁心の加工面に生じる加工跡を等方性にする。
摘要翻译：一种制造粉末磁芯的方法包括以下步骤：用模具通过压模成型获得主要由绝缘涂覆的纯铁粉末或铁组成的铁基合金粉末的步骤，对获得的粉末磁芯进行热处理的步骤粉末磁芯，以及通过将砂轮施加到热处理的粉末磁芯的至少一部分来进行后处理的步骤。在后处理步骤中，粉末状磁芯被研磨为粉末磁芯，并且研磨轮旋转，使得在粉末磁芯的加工表面上产生的工具标记形成为各向同性的。

6. 发明申请

WO2011030505A1 内周刃ブレードのドレッシング方法审中-公开
标题翻译：内部圆形边缘叶片接合方法
公开(公告)号：WO2011030505A1
公开(公告)日：2011-03-17
申请号：PCT/JP2010/005034
申请日：2010-08-11
申请人：信越半導体株式会社 , 中川和也
发明人：中川　和也
IPC分类号： B24B53/00
CPC分类号： B24B53/06 , B23D63/00
摘要：　本発明は、予め基準溝が形成されたドレス材を準備する工程と、刃先の左右どちら側の部分をドレッシングするかを選択する工程と、基準溝の開口部側がドレッシングすると選択した側とは反対側になるようにして、基準溝の開口部の角の位置と刃先の最先端位置とが一致するように内周刃ブレード及びドレス材を相対的に移動する工程と、刃先を相対的にドレス材の深さ方向及び刃先のドレッシングすると選択した側の方向に同時に送ることによって、該ドレッシングすると選択した側とは反対側の刃先の部分をドレス材と接触させずに、ドレス材に切り込ませて、刃先の選択した側の部分のみを局所的にドレッシングする工程とを有する内周刃ブレードのドレッシング方法である。これにより、短時間で効果的に内周刃ブレードの刃先を局所的にドレッシングして内周刃ブレードの変位を効果的に修正でき、内周刃ブレードのライフを向上できる内周刃ブレードのドレッシング方法が提供される。
摘要翻译：提供一种内周边缘刀片修整方法，包括其中预先形成有参考凹槽的修整块，其中选择要对刀尖的哪一侧（左或右）进行修整; 参考凹槽的开口部分位于相对于被选择穿着的叶片尖端侧的过程，并且其中内周边缘叶片和修整块相对于彼此移动，使得角部的位置基准槽的开口与叶片尖端的最前端的位置一致; 以及其中叶片尖端沿着修整块的深度方向被输送并且同时沿着被选择要穿着的叶片尖端侧的方向被传送，该发送运动相对于叶片尖端和修整块之间，其中由此叶片尖端被切成切片块，使得与被选择被修整的叶片尖端侧相对的叶片尖端部分不与修整块接触，并且其中结果只有该侧面所选择的叶片尖端是局部穿着的。根据上述设置的内周边缘刀片修整方法，能够在短时间内有效地对内周缘刀片尖端进行局部修整，从而可以有效地校正内周缘刀片的位移，结果是可以改善内周缘刀片的寿命。

7. 发明申请

WO2010073823A1 工作機械审中-公开
标题翻译：机床
公开(公告)号：WO2010073823A1
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：PCT/JP2009/068924
申请日：2009-11-05
申请人：三菱重工業株式会社 , 二井谷春彦 , 藤村宜孝
发明人：二井谷　春彦 , 藤村　宜孝
IPC分类号： B23P23/02 , B23Q3/155 , B23Q17/00 , B24B33/02 , B24B53/00
CPC分类号： B23Q39/023 , B23Q1/012 , B23Q3/15706 , B23Q2039/002 , B24B33/02 , B24B53/04
摘要：　部品の組み付け／分解の機能を有すると共に、部品を組み付けた状態で加工できる工作機械を提供する。そのため、第１主軸２３及び第２主軸２６を有する工作機械１０において、シリンダーブロックＷ１に開口部を有するダミーヘッドＷ２をボルトにより組み付けると共にボルトを取り外すボルト用工具を、第１主軸２３に取り付け、シリンダーブロックＷ１を研磨するホーニング用工具Ｔ２を、第２主軸２７に取り付け、ボルト用工具を用いて、シリンダーブロックＷ１にダミーヘッドＷ２を組み付け、その後、第１主軸２３に取り付ける工具を、シリンダーブロックＷ１を切削する切削用工具Ｔ１に交換し、切削用工具Ｔ１、ホーニング用工具Ｔ２を用いて、ダミーヘッドＷ２の開口部を通して、シリンダーブロックＷ１を加工する。
摘要翻译：具有安装和拆卸零件并且能够与安装就位的部件一起工作的功能的机床。在设置有第一主轴（23）和第二主轴（26）的机床（10）中，使用螺栓将具有开口的虚拟头（W2）安装到气缸体（W1）上，用于拆卸螺栓的螺栓安装到第一主轴（23）上，用于珩磨缸体（W1）的珩磨工具（T2）安装到第二主轴（26）上，虚拟头（W2）使用螺栓用工具安装在气缸体（W1）上，安装在第一主轴（23）上的工具更换为用于切断气缸体（W1）的切削工具（T1）气缸体（W1）通过切削工具（T1）和珩磨工具（T2）通过虚拟头（W2）中的开口进行加工。

8. 发明申请

WO2010067732A1 研磨装置、及び研磨方法、並びにガラス板の製造方法审中-公开
标题翻译：研磨装置，研磨方法和制造玻璃板的方法
公开(公告)号：WO2010067732A1
公开(公告)日：2010-06-17
申请号：PCT/JP2009/070156
申请日：2009-12-01
申请人：旭硝子株式会社 , 秋山秀 , 鈴木健司 , 斉藤勲 , 関昌雄
发明人：秋山　秀 , 鈴木　健司 , 斉藤　勲 , 関　昌雄
IPC分类号： B24B49/10 , B24B37/04 , B24B49/18 , B24B53/00
CPC分类号： B24B49/10 , B24B37/04 , B24B49/18 , B24B53/017
摘要：　本発明は、研磨具と被研磨物とを相対的に押し付けて移動させるとともに、前記研磨具と前記被研磨物との間に研磨液を供給しながら前記研磨具によって前記被研磨物を研磨する研磨装置であって、前記研磨具又は前記被研磨物を支持するプレートに取り付けられたＡＥセンサと、前記被研磨物からの弾性波が前記ＡＥセンサに検出された際の前記ＡＥセンサからの出力信号に基づいて研磨中の異常を検知する異常検知部と、前記異常検知部によって前記被研磨物の異常が検知されると警告を発する警告手段、を備えていることを特徴とする研磨装置に関する。
摘要翻译：一种磨削装置，用于研磨待研磨物体，使得研磨工具和被研磨对象物被相互移动并被研磨物体通过研磨工具研磨，同时提供研磨液体到研磨工具和被研磨物体之间。研磨装置设置有：AE传感器，其安装到支撑研磨工具或待研磨物体的板上; 异常检测部，其用于检测研磨中的异常，所述检测是根据来自所述AE传感器的输出信号进行的，所述输出信号是通过所述AE传感器检测到来自被研磨物体的弹性波时输出的; 以及用于当异常检测部检测到待接地对象的异常时发出报警的报警装置。

9. 发明申请

WO2008002811A3 PAD CLEANING METHOD 审中-公开
公开(公告)号：WO2008002811A3
公开(公告)日：2008-01-03
申请号：PCT/US2007/071701
申请日：2007-06-20
申请人： APPLIED MATERIALS, INC. , MAVLIEV, Rashid A. , CHEN, Hung Chih
发明人： MAVLIEV, Rashid A. , CHEN, Hung Chih
IPC分类号： B24B53/00
摘要： A method for cleaning a polishing pad is disclosed. In CMP and ECMP, a polishing pad must be conditioned to obtain good and predictable polishing results. During conditioning, debris is generated that must be removed to prevent processing defects. An effective method to clean a polishing pad is disclosed herein. In one embodiment, a washing fluid is directed at the pad to clean debris from the while a second fluid is utilized to remove the washing fluid. In another embodiment, the washing fluid is provided by a high pressure water jet while the second fluid is provided by an air knife.

10. 发明申请

WO2007131869A1 VERFAHREN ZUM STEUERN EINER SCHLEIFMASCHINE UND NUMERISCH GESTEUERTE SCHLEIFMASCHINE 审中-公开
标题翻译：一种用于控制磨削及数控磨削
公开(公告)号：WO2007131869A1
公开(公告)日：2007-11-22
申请号：PCT/EP2007/054114
申请日：2007-04-26
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , BAUER, Peter , UHLICH, Andreas
发明人： BAUER, Peter , UHLICH, Andreas
IPC分类号： G05B19/18 , G05B19/408 , G05B19/4099 , G05B19/41 , G05B19/42 , B24B53/00 , B24B49/00 , B24B21/16
CPC分类号： B24B49/00 , B24B5/00 , B24B51/00 , G05B19/182 , G05B19/4086 , G05B19/4099 , G05B19/41 , G05B2219/45161 , G05B2219/50207 , G05B2219/50353
摘要： Beim Steuern einer Schleifmaschine erfolgt die Berechnung von Achssteuerbefehlen für den Achsen zugeordnete Achsantriebseinheiten nicht wie im Stand der Technik offline, außerhalb der Schleifmaschine und somit vorab, sondern online, d.h. in Echtzeit. Um dies zu ermöglichen, wird ein Transformationsmodell bereitgestellt. Vektoren mit fünf Komponenten im Werkzeugkoordinatensystem (WKS) können in Steuerbefehle für die Bewegungen (Pfeile 16,18,20,22,24) der Achsen (X1,Z1,C1,B1,A1) umgerechnet werden.
摘要翻译：当控制研磨机来计算Achssteuerbefehlen对于轴关联轴驱动器没有去如在现有技术的离线，研磨机外，从而提前，但网上，我在实时。要做到这一点，提供了一种转型模式。与工具坐标系统中五个组件（WKS）载体可被转化成控制指令的轴的移动（箭头16,18,20,22,24）（X1，Z1，C1，B1，A1）。

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