会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 4. 发明申请
    • 有機酸エステル系液体の製造方法、及び、電子部品作製用レジスト溶剤又は電子部品作製用リンス液の製造方法
    • 用于生产有机酸酯液体的方法和用于制造用于制造电子元件的电子元件或润滑剂的耐溶剂溶剂的方法
    • WO2017010277A1
    • 2017-01-19
    • PCT/JP2016/069059
    • 2016-06-28
    • 株式会社武蔵野化学研究所オルガノ株式会社
    • 槻田 正和高田 仁
    • G03F7/004B01J31/08B01J35/10G03F7/32H01L21/027
    • B01J31/08B01J35/10G03F7/004G03F7/32H01L21/027
    • 電子部品を精密に、不良品を少なくして歩留まり良く作製する方法を提供すること、特に液体を用いる電子部品作製のそれぞれの工程で、より優れたレジスト液及びリンス液の提供ができる方法を提供することを課題とし、電子部品作製用レジストの溶剤である有機酸エステル系液体又は電子部品作製用リンス液である有機酸エステル系液体に含有される有機過酸化物を除去する方法であって、該有機酸エステル系液体を白金族金属触媒に接触させることによって、該有機酸エステル系液体中の有機過酸化物を除去することを特徴とする有機酸エステル系液体の製造方法、また、該製造方法を使用して有機酸エステル系液体に含有される有機過酸化物を除去してなり、過酸化物価(POV)が2mmoL/kg以下のものである電子部品作製用レジスト溶剤又は電子部品作製用リンス液により前記課題を解決した。
    • 本发明解决了提供精密制造电子部件的方法的问题,从而具有更少的缺陷产品和更好的产量,特别是提供可以提供优异的抗蚀剂溶液和漂洗剂的方法的问题, 使用液体制造电子部件的步骤。 该问题通过以下方法解决:一种除去有机过氧化物的有机酸酯系液体的制造方法,该过氧化物是作为制造电子部件的有机酸性酯系液体或有机物的有机酸酯类液体 酸性酯类液体,其是用于制造电子部件的漂洗剂,其特征在于,通过使有机酸酯类液体与铂族金属接触来除去有机酸酯类液体中的有机过氧化物 催化剂; 以及用于制造电子部件的抗蚀剂溶剂或用于制造电子部件的清洗剂,通过使用该制造方法得到的溶剂或试剂,除去有机酸酯系液体中含有的有机过氧化物(POV) 为2mmol / kg以下。