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    • 10. 发明申请
    • 化合物、樹脂、組成物、並びにレジストパターン形成方法及びパターン形成方法
    • 化合物,树脂,组合物,形成抗蚀剂图案的方法和图案形成方法
    • WO2018056279A1
    • 2018-03-29
    • PCT/JP2017/033802
    • 2017-09-20
    • 三菱瓦斯化学株式会社
    • 越後 雅敏
    • C07D493/08C08G16/00G03F7/004G03F7/031G03F7/038G03F7/039G03F7/11G03F7/20G03F7/26H01L21/027
    • 本発明は、下記式(1)で表される化合物からなる群より選ばれる、化合物を提供する。 (1) (式(1)中、R S は、各々独立して、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数1~30のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数6~30のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数2~30のアルケニル基、置換基を有していてもよい炭素数1~30のアルコキシ基、ハロゲン原子、ニトロ基、アミノ基、カルボン酸基、チオール基又は水酸基であり、前記アルキル基、前記アリール基、前記アルケニル基及び前記アルコキシ基は、エーテル結合、ケトン結合又はエステル結合を含んでいてもよく、ここで、R S の少なくとも1つは水酸基であり、 R T は、各々独立して、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数1~30のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素数6~30のアリール基、置換基を有していてもよい炭素数2~30のアルケニル基、置換基を有していてもよい炭素数1~30のアルコキシ基、ハロゲン原子、ニトロ基、アミノ基、カルボン酸基、チオール基又は水酸基であり、前記アルキル基、前記アリール基、前記アルケニル基及び前記アルコキシ基は、エーテル結合、ケトン結合又はエステル結合を含んでいてもよく、ここで、2つのR T が結合して環状構造を含んでいてもよい。)
    • 本发明提供选自由下式(1)表示的化合物组成的组的化合物。 (1)其中每个R S独立地表示氢原子,可以具有取代基的具有1至30个碳原子的烷基, 有它也显示为6〜30的芳基,碳原子数2〜30的可以具有取代基,1个碳原子,其可具有取代基的链烯基〜30烷氧基的良好碳数 ,卤素原子,硝基,氨基,羧酸基,硫醇基或羟基,烷基,芳基,链烯基和烷氧基包含醚键,酮键或酯键 其中至少一个R S为羟基,并且R T独立地表示氢原子,取代基 可以被取代的碳原子数1〜30的烷基,取代或未取代的碳原子数6〜30的烷基 卷轴基团,可以具有取代基的具有2至30个碳原子的烯基,可以具有取代基的具有1至30个碳原子的烷氧基,卤素原子,硝基,氨基,羧酸 硫醇基或羟基,并且烷基,芳基,烯基和烷氧基可以包含醚键,酮键或酯键,其中两个R' T 可以组合以包含循环结构。)