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1. 发明申请

WO2010103410A1 MICROPHONE AND ACCELEROMETER 审中-公开
标题翻译：麦克风和加速度计
公开(公告)号：WO2010103410A1
公开(公告)日：2010-09-16
申请号：PCT/IB2010/050505
申请日：2010-02-03
申请人： NXP B.V. , VAN LIPPEN, Twan , LANGEREIS, Geert , GOOSSENS, Martijn
发明人： VAN LIPPEN, Twan , LANGEREIS, Geert , GOOSSENS, Martijn
IPC分类号： H04R3/00 , H04R19/00 , H04R1/24 , B81C1/00
CPC分类号： H04R19/005 , B81B2201/0235 , B81B2201/0257 , B81C1/00182 , H04R1/245 , H04R3/005 , H04R2499/11
摘要： The invention relates to a method for manufacturing a micromachined microphone and an accelerometer from a wafer 1 having a first layer 2, the method comprising the steps of dividing the first layer 2 into a microphone layer 5 and into an accelerometer layer 6, covering a front side of the microphone layer 5 and a front side of the accelerometer layer 6 with a continuous second layer 7, covering the second layer 7 with a third layer 8, forming a plurality of trenches 9 in the third layer 8, removing a part 10 of the wafer 1 below a back side of the microphone layer 5, forming at least two wafer trenches 11 in the wafer 1 below a back side of the accelerometer layer 6, and removing a part 12, 13 of the second layer 7 through the plurality of trenches 9 formed in the third layer 8. The micromachined microphone and the accelerometer according to the invention is advantageous over prior art as it allows for body noise cancellation in order to minimize structure borne sound.
摘要翻译：本发明涉及一种用于从具有第一层2的晶片1制造微加工麦克风和加速度计的方法，该方法包括以下步骤：将第一层2分成麦克风层5并加入到加速度计层6中，覆盖前部麦克风层5的一侧和具有连续的第二层7的加速度计层6的前侧，用第三层8覆盖第二层7，在第三层8中形成多个沟槽9，去除第晶片1在麦克风层5的背面下方，在加速度计层6的背面下方的晶片1中形成至少两个晶片沟槽11，以及通过多个第二层7去除第二层7的部分12,13。形成在第三层8中的沟槽9.根据本发明的微加工麦克风和加速度计比现有技术更有优势，因为它允许体噪声消除以便最小化结构声音。

2. 发明申请

WO2007004665B1 OSCILLATORY WAVE DETECTING APPARATUS 审中-公开
标题翻译：振荡波检测装置
公开(公告)号：WO2007004665B1
公开(公告)日：2007-08-09
申请号：PCT/JP2006313381
申请日：2006-07-05
申请人： TOKYO ELECTRON LTD , IKEUCHI NAOKI
发明人： IKEUCHI NAOKI
IPC分类号： G01H11/08 , G01H13/00 , H04R17/10
CPC分类号： H04R7/08 , G01H3/08 , H04R1/245 , H04R17/02
摘要： A sensor main body (1) is coupled to a plate-shaped diaphragm (2) which oscillates with acoustic waves, and has a plurality of resonance beams (5) which resonate with specific frequencies, respectively. The sensor main body is supported by a supporting section (11), and a cap (12) is provided on the sensor main body (1) for acoustically separating one plane of the diaphragm (2) from the other plane. Thus, a differential pressure between an acoustic pressure applied on the one plane of the diaphragm (2) and that applied on the other plane is increased, and sensitivity is improved.
摘要翻译：传感器主体（1）与利用声波振动的板状振动板（2）连接，并且具有分别以特定频率共振的多个共振梁（5）。传感器主体由支撑部分（11）支撑，并且在传感器主体（1）上提供帽（12），用于将振动膜（2）的一个平面与另一平面声学分离。因此，施加在膜片（2）的一个平面上的声压与施加在另一个平面上的声压之间的压差增大，并且灵敏度提高。

3. 发明申请

WO2016018625A1 DISCRETE MEMS INCLUDING SENSOR DEVICE 审中-公开
标题翻译：包括传感器设备的离散MEMS
公开(公告)号：WO2016018625A1
公开(公告)日：2016-02-04
申请号：PCT/US2015/040547
申请日：2015-07-15
申请人： KNOWLES ELECTRONICS, LLC
发明人： HARRINGTON, Brandon
IPC分类号： H04R19/04
CPC分类号： H04R1/08 , B81B2201/0257 , H01L23/053 , H01L2224/48137 , H01L2924/1461 , H04R1/245 , H04R3/04 , H04R19/005 , H04R2201/003
摘要： A micro electro mechanical system (MEMS) microphone includes a base; a MEMS device disposed on the base, the MEMS device comprising a diaphragm and a back plate; a condition sensor disposed on the base; and an integrated circuit coupled to the condition sensor and the MEMS device. The MEMS device operates to detect acoustic signals in a first frequency range and the condition sensor acts as a condition sensor in the first frequency range. The condition sensor acts as a microphone in a second frequency range and the MEMS device is unused so as to extend the operating range and acoustic overload point of the MEMS device.
摘要翻译：微机电系统（MEMS）麦克风包括基座; 设置在所述基座上的MEMS器件，所述MEMS器件包括隔膜和背板; 设置在基座上的条件传感器; 以及耦合到状态传感器和MEMS器件的集成电路。 MEMS器件用于检测第一频率范围内的声信号，并且条件传感器用作第一频率范围内的条件传感器。条件传感器用作第二频率范围内的麦克风，并且MEMS器件未使用，以便延伸MEMS器件的工作范围和声学过载点。

4. 发明申请

WO2007111405A1 ELECTROACOUSTIC TRANSDUCER HAVING MULTI-CHANNEL DIAPHRAGM AND HEARING AID USING THE SAME 审中-公开
标题翻译：具有多声道透镜的电声传感器和使用其的听力助听器
公开(公告)号：WO2007111405A1
公开(公告)日：2007-10-04
申请号：PCT/KR2006/004114
申请日：2006-10-13
申请人： SONG, Ci-Moo
发明人： SONG, Ci-Moo
IPC分类号： H04R3/00
CPC分类号： H04R25/505 , H04R1/24 , H04R1/245 , H04R7/06 , H04R2430/03
摘要： An object of the present invention is to provide an electroacoustic transducer having a multi-channel diaphragm, and a hearing aid using the electroacoustic transducer, in which a plurality of channels having different resonant frequencies is formed in the diaphragm using MEMS technology, thus more closely approximating the different audible frequency characteristics of respective persons. The present invention provides an electroacoustic transducer provided with a multi-channel diaphragm. The electroacoustic transducer includes a diaphragm (110) and signal conversion units (120). The diaphragm is provided with respective channels having different resonant frequencies. The signal conversion units are attached to surfaces of the channels, or are arranged to be spaced apart from the surfaces of the channels at a predetermined interval, the signal conversion units converting vibration received from the channels into acoustic signals, or transmitting acoustic signals to the diaphragm and converting the acoustic signals into vibration.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种具有多通道隔膜的电声换能器和使用电声换能器的助听器，其中使用MEMS技术在隔膜中形成具有不同谐振频率的多个通道，因此更紧密地近似各个人的不同的可听频率特性。本发明提供一种具有多通道隔膜的电声换能器。电声换能器包括隔膜（110）和信号转换单元（120）。隔膜设置有具有不同谐振频率的相应通道。信号转换单元附接到通道的表面，或者被布置为以预定间隔与通道的表面间隔开，信号转换单元将从通道接收的振动转换为声信号，或将声信号传输到将声信号转换为振动。

5. 发明申请

WO2007024958A3 NOISE MITIGATING MICROPHONE SYSTEM AND METHOD 审中-公开
标题翻译：降噪麦克风系统和方法
公开(公告)号：WO2007024958A3
公开(公告)日：2007-06-28
申请号：PCT/US2006032931
申请日：2006-08-23
申请人： ANALOG DEVICES INC , WEIGOLD JASON W , ELKO GARY , HARNEY KIERAN P
发明人： WEIGOLD JASON W , ELKO GARY , HARNEY KIERAN P
IPC分类号： H04R3/00 , H04M1/03 , H04R1/24
CPC分类号： H04R3/005 , H04M1/035 , H04M1/19 , H04M1/6008 , H04R1/245 , H04R2410/05
摘要： A microphone system has a base coupled with first and second microphone apparatuses. The first microphone apparatus is capable of producing a first output signal having a noise component, while the second microphone apparatus is capable of producing a second output signal. The system also has combining logic operatively coupled with the first microphone apparatus and the second microphone apparatus. The combining logic uses the second output signal to remove at least a portion of the noise component from the first output signal.
摘要翻译：麦克风系统具有与第一和第二麦克风装置耦合的基座。第一麦克风装置能够产生具有噪声分量的第一输出信号，而第二麦克风装置能够产生第二输出信号。该系统还具有与第一麦克风装置和第二麦克风装置可操作地耦合的组合逻辑。组合逻辑使用第二输出信号来从第一输出信号中去除至少一部分噪声分量。

6. 发明申请

WO2017027509A1 DUAL BAND MEMS ACOUSTIC DEVICE 审中-公开
标题翻译：双带MEMS声学设备
公开(公告)号：WO2017027509A1
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：PCT/US2016/046154
申请日：2016-08-09
申请人： KNOWLES ELECTRONICS, LLC
发明人： QUTUB, Sarmad , HAMEL, Max
IPC分类号： H04R19/04
CPC分类号： H04R19/005 , H04R1/04 , H04R1/245 , H04R2201/003
摘要： A device includes a first microelectromechanical systems (MEMS) transducer, a second MEMS transducer and a summing device. A first dimension of the first MEMS transducer is predefined to configure the first MEMS transducer to have a first resonance frequency. A second dimension of the second MEMS transducer is predefined to configure the second MEMS transducer to have a second resonance frequency different than the first resonance frequency. The summing device is coupled to the first MEMS transducer and the second MEMS transducer and provides an output representing a combination of information from the first MEMS transducer and the second MEMS transducer.
摘要翻译：一种装置包括第一微机电系统（MEMS）换能器，第二MEMS换能器和求和装置。预定义第一MEMS换能器的第一尺寸以将第一MEMS换能器配置为具有第一共振频率。预定义第二MEMS换能器的第二尺寸以将第二MEMS换能器配置为具有与第一共振频率不同的第二共振频率。求和装置耦合到第一MEMS换能器和第二MEMS换能器，并且提供表示来自第一MEMS换能器和第二MEMS换能器的信息的组合的输出。

7. 发明申请

WO2013179834A1 車載用マイクロフォン構造审中-公开
标题翻译：车内麦克风结构
公开(公告)号：WO2013179834A1
公开(公告)日：2013-12-05
申请号：PCT/JP2013/062377
申请日：2013-04-26
申请人：日産自動車株式会社 , ホシデン株式会社
发明人：藤原　裕樹 , 石橋　稔 , 本永　秀典 , 小野　和夫 , 原野　博之
IPC分类号： B60R11/02
CPC分类号： B60R11/0247 , B60R2011/0059 , H04R1/08 , H04R1/245 , H04R1/406 , H04R2201/401 , H04R2499/13
摘要：　本発明によるマイクロフォンユニット（１）は、内部にマイクロフォン素子（３）が配設されると共に該マイクロフォン素子（３）に連通する音孔（２１）が底面（５ａ）に設けられたマイクロフォン筐体（５）と、該マイクロフォン筐体（５）の前記音孔（２１）を囲む環状のリブ（９）と、該リブ（９）に当接した状態で配設されると共に開口部（２５）を有するグリル（１１）と、を備えている。これにより、マイクロフォン筐体（５）の底面（５ａ）とグリル（１１）との間に形成される空間部（２９）の容積を極力小さく抑えることができる。このため、空間部（２９）内での音の反響によるノイズを低減することができる。
摘要翻译：根据本发明的麦克风单元（1）包括麦克风壳体（5），麦克风壳体（5）具有设置在内部的麦克风元件（3），并且具有与设置在底表面（5a）中的麦克风元件（3）），围绕麦克风壳体（5）的音孔（21）的环形肋（9）和以与肋（9）接触并具有开口（25）的状态放置的格栅（11）。因此，形成在麦克风壳体（5）的格栅（11）和底面（5a）之间的开放空间（29）的体积可以保持非常小。因此，可以减少由于开放空间（29）中的声音混响引起的噪声。

8. 发明申请

WO2007024958A2 NOISE MITIGATING MICROPHONE SYSTEM AND METHOD 审中-公开
标题翻译：噪声减弱麦克风系统和方法
公开(公告)号：WO2007024958A2
公开(公告)日：2007-03-01
申请号：PCT/US2006/032931
申请日：2006-08-23
申请人： ANALOG DEVICES, INC. , WEIGOLD, Jason, W. , ELKO, Gary , HARNEY, Kieran, P.
发明人： WEIGOLD, Jason, W. , ELKO, Gary , HARNEY, Kieran, P.
CPC分类号： H04R3/005 , H04M1/035 , H04M1/19 , H04M1/6008 , H04R1/245 , H04R2410/05
摘要： A microphone system has a base coupled with first and second microphone apparatuses. The first microphone apparatus is capable of producing a first output signal having a noise component, while the second microphone apparatus is capable of producing a second output signal. The system also has combining logic operatively coupled with the first microphone apparatus and the second microphone apparatus. The combining logic uses the second output signal to remove at least a portion of the noise component from the first output signal.
摘要翻译：麦克风系统具有与第一和第二麦克风装置耦合的基座。第一麦克风装置能够产生具有噪声分量的第一输出信号，而第二麦克风装置能够产生第二输出信号。该系统还具有与第一麦克风装置和第二麦克风装置操作耦合的组合逻辑。组合逻辑使用第二输出信号从第一输出信号中去除噪声分量的至少一部分。

9. 发明申请

WO2014141508A1 静電容量型センサ、音響センサ及びマイクロフォン审中-公开
标题翻译：电容型传感器，声学传感器和麦克风
公开(公告)号：WO2014141508A1
公开(公告)日：2014-09-18
申请号：PCT/JP2013/074210
申请日：2013-09-09
申请人：オムロン株式会社
发明人：内田　雄喜
IPC分类号： H04R19/04 , B81B3/00 , H01L29/84 , H04R3/00
CPC分类号： H04R19/04 , B81B3/00 , G10K11/002 , H04R1/04 , H04R1/245 , H04R3/002 , H04R3/005 , H04R3/06 , H04R7/06 , H04R19/005 , H04R2201/003 , H04R2410/03 , H04R2499/11
摘要：　シリコン基板１２には、上下に貫通するチャンバ１５が開口している。シリコン基板１２の上面には、チャンバ１５の上面開口を覆うようにしてダイアフラム１３が配設されている。ダイアフラム１３は、スリット１７によってチャンバ１５の上方に位置する領域（第１ダイアフラム１３ａ）とシリコン基板１２の上面の上方に位置する領域（第２ダイアフラム１３ｂ）に分割されている。第１ダイアフラム１３ａの上方には、固定電極板１９が配設されており、第１ダイアフラム１３ａと固定電極板１９によって小音量用の第１音響センシング部２３ａが形成される。また、第２ダイアフラム１３ｂとシリコン基板１２の上面（導電層２１）によって大音量用の第２音響センシング部２３ｂが形成される。
摘要翻译：硅基板（12）具有在其中开口的室（15），所述室垂直地穿过硅衬底。在硅基板（12）的上表面上设置隔膜（13）以覆盖室（15）的上表面开口。隔膜（13）通过狭缝（17）分成位于室（15）上方的区域（第一隔膜（13a））和位于室（15）的上表面上方的区域（第二隔膜（13b）硅衬底（12）。固定电极板（19）设置在第一隔膜（13a）的上方，通过第一隔膜（13a）和固定电极板（19）形成小音量的第一声感测部（23a）。此外，通过第二隔膜（13b）和硅基板（12）的上表面（导电层（21））形成用于大音量的第二声感测部分（23b）。

10. 发明申请

WO2008014324A2 MULTIPLE MICROPHONE SYSTEM 审中-公开
标题翻译：多功能麦克风系统
公开(公告)号：WO2008014324A2
公开(公告)日：2008-01-31
申请号：PCT/US2007074328
申请日：2007-07-25
申请人： ANALOG DEVICES INC , HARNEY KIERAN P , WEIGOLD JASON , ELKO GARY
发明人： HARNEY KIERAN P , WEIGOLD JASON , ELKO GARY
IPC分类号： H04R1/22 , H04R3/00
CPC分类号： H04R3/005 , H04R1/245 , H04R2410/05
摘要： A microphone system has a primary microphone for producing a primary signal, a secondary microphone for producing a secondary signal, and a selector operatively coupled with both the primary microphone and the secondary microphone. The system also has an output for delivering an output audible signal principally produced by one of the to microphones. The selector selectively permits either 1) at least a portion of the primary signal and/ or 2) at least a portion of the secondary signal to be forwarded to the output as a function of the noise in the primary signal.
摘要翻译：麦克风系统具有用于产生主信号的主麦克风，用于产生辅助信号的次麦克风，以及可操作地与主麦克风和次麦克风耦合的选择器。该系统还具有用于传送主要由麦克风之一产生的输出可听信号的输出。选择器选择性地允许1）主信号的至少一部分和/或2）辅助信号的至少一部分作为主信号中的噪声的函数被转发到输出。

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