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1. 发明申请

WO2018034101A1 基板収納容器审中-公开
标题翻译：基材储存容器
公开(公告)号：WO2018034101A1
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：PCT/JP2017/026201
申请日：2017-07-20
申请人：信越ポリマー株式会社
发明人：三村　博 , 戸田　順也
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/86
CPC分类号： H01L21/67769 , H01L21/673 , H01L21/67373 , H01L21/67383 , H01L21/67386 , H01L21/67766 , H01L21/67772 , H01L21/68785
摘要：搬送部品の装着力を高めた基板収納容器を提供すること。　蓋体により閉鎖される開口部を有し、複数枚の基板を収納可能な容器本体２０と、容器本体２０に着脱自在に取付けられる搬送部品３０と、を備え、取付機構４０が、容器本体２０の開口部側の第１取付部４０Ａと、開口部から離れる側の第２取付部４０Ｂとを含むこと。また、搬送部品３０は、取付機構４０に係合する被係合部を有し、被係合部は、所定の方向に変位して係合する第１被係合部３６と、所定の方向とは異なる方向に変位して係合する第２被係合部３７とを含むこと。
摘要翻译：提供具有增强的传送部件的安装力的基板存储容器。它具有由设置有多个容器主体20能够容纳所述衬底的盖子封闭的开口，所述输送部件30可拆卸地连接到容器主体20中，安装机构40，容器主体20 在第一安装部40A的开口侧具有第一安装部40A，在远离开口部的一侧具有第二安装部40B。另外，输送部件30具有与安装机构40卡合的被卡合部，被卡合部具有向规定方向位移并卡合的第一被卡合部36，并且，第二被卡合部37向与第二被卡合部37不同的方向移位卡合。

2. 发明申请

WO2017058497A1 SUBSTRATE CONTAINER WITH IMPROVED SUBSTRATE RETAINER AND DOOR LATCH ASSIST MECHANISM 审中-公开
标题翻译：具有改进的基板保持器和门锁配合机构的基板容器
公开(公告)号：WO2017058497A1
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：PCT/US2016/051216
申请日：2016-09-12
申请人： ENTEGRIS, INC.
发明人： TIEBEN, Anthony, Mathius , STRICKHOUSER, Christopher
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67373 , H01L21/67369
摘要： A substrate container with a substrate retainer mounted to a biased actuation linkage, and a door assembly with latch assist. Various configurations for biasing the substrate retainer in a substrate non-engagement position are disclosed. The biasing helps prevent the substrate retainer from hanging up due to friction that might otherwise counter the gravitational force that is otherwise relied upon for disengagement. The assembly may also include retention clips that positively secure the substrate retainer to the actuation linkage. The latch assist provides springs that deliver stored energy to assist in latching and unlatching the door assembly from the substrate carrier. The latch assist further provides off-center forces that bias the latching mechanism in either an unlatched or a fully latched configuration.
摘要翻译：具有安装到偏置的致动连杆的基板保持器的基板容器和具有闩锁辅助的门组件。公开了用于在衬底非接合位置偏压衬底保持器的各种结构。偏置有助于防止基板保持器由于摩擦而挂起，否则可能会抵消另外依赖于分离的重力。组件还可以包括将衬底保持器主动地固定到致动连杆的保持夹。闩锁辅助提供弹簧，其提供存储的能量以帮助将门组件从衬底载体锁定和解锁。闩锁辅助进一步提供偏心锁定机构的非锁定或非锁定配置的偏心力。

3. 发明申请

WO2013166512A8 REPLACEABLE WAFER SUPPORT BACKSTOP 审中-公开
标题翻译：可替换的WAFER支持BACKSTOP
公开(公告)号：WO2013166512A8
公开(公告)日：2015-03-26
申请号：PCT/US2013039763
申请日：2013-05-06
申请人： ENTEGRIS INC
发明人： FULLER MATTHEW , BURNS JOHN
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/38 , B65D85/86
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/67369 , H01L21/67373 , H01L21/67383 , Y10T29/4973
摘要： A wafer container an enclosure portion including a top wall, a bottom wall, a pair of side walls, a back wall, and a door frame opposite the back wall, the door frame defining a front opening, and a wafer support structure including two side wafer supports 5 each side wafer support including a removable backstop. The invention includes maintaining wafer containers by replacing the removable backstop. The invention includes converting shipping containers that ship large diameter wafers vertically to containers to be used in fabrication facilities that store wafers horizontally for robotic pickup for processing.
摘要翻译：一种晶片容器，包括顶壁，底壁，一对侧壁，后壁和与后壁相对的门框的封闭部分，门框限定前开口，以及包括两侧的晶片支撑结构晶片支撑5个每个侧面晶片支撑件，包括可拆卸的支撑件。本发明包括通过更换可拆卸的止回阀来维持晶片容器。本发明包括将运送大直径晶片的运输容器转换成容器，用于制造设备，用于水平存储晶片以用于机器人拾取处理。

4. 发明申请

WO2015033411A1 基板収納容器审中-公开
标题翻译：基板存储容器
公开(公告)号：WO2015033411A1
公开(公告)日：2015-03-12
申请号：PCT/JP2013/073852
申请日：2013-09-04
申请人：ミライアル株式会社
发明人：小山　貴立 , 永島　剛
IPC分类号： B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67373
摘要：　基板収納容器１は、容器本体２と蓋体３とを備える。容器本体２の開口周縁部２８は、互いに対向する位置関係を有して蓋体３に対向して形成された少なくとも一対の係合凹部を有する。蓋体３は、蓋体本体３０と、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、少なくとも一対の係合凹部にそれぞれ係合して蓋体本体３０を容器本体２に対して固定する係合位置と係合凹部に対して係合が解除され容器本体２に対する蓋体本体３０への固定が解除される係合解除位置との間で蓋体本体３０に対して移動可能な少なくとも一対のラッチ部材３２と、を備える。ラッチ部材３２が係合位置にあるときに、少なくとも一対のラッチ部材３２の先端部３２２が、少なくとも一対の係合凹部を形成する開口周縁部２８の係合凹部形成部２３２Ａにそれぞれ当接することにより、蓋体本体３０を開口周縁部２８から離間させる。
摘要翻译：该基板储存容器（1）配备有容器主体（2）和盖（3）。容器主体（2）的开口周缘（28）具有形成为面对盖（3）的至少一对接合凹部，所述接合凹槽的位置被布置为彼此面对。所述盖（3）配备有盖主体（30）和至少一对闩锁构件（32），其能够在接合位置和相对于盖体（30）的脱离位置之间移动，所述接合位置是当闩锁构件分别与至少一对接合凹部接合以便当容器主体开口（21）被盖关闭时将盖体（30）固定到容器主体（2）的位置 3），并且所述脱离位置是与接合凹部的接合被释放的位置，以便释放盖体（30）到容器主体（2）的固定。当闩锁构件（32）处于接合位置时，至少一对闩锁构件（32）的尖端（322）分别与开口周边边缘（28）的接合凹部形成部分（232A）接触，其中所述至少一对凹部形成，从而使所述盖体（30）与所述开口周边边缘（28）分离。

5. 发明申请

WO2013187121A1 蓋開閉装置审中-公开
标题翻译：开启/关闭装置
公开(公告)号：WO2013187121A1
公开(公告)日：2013-12-19
申请号：PCT/JP2013/061400
申请日：2013-04-17
申请人：村田機械株式会社
发明人：深谷　師康
IPC分类号： H01L21/677 , B65D55/02 , B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67772 , B65D2585/86 , H01L21/67373 , H01L21/67769 , H01L21/67775
摘要：蓋開閉装置（１）は、装置本体（２）と、錠開閉機構（３０）と、容器固定部（８０）とを備える。装置本体には、容器本体（７１）と、容器本体に対して開閉可能な底部を成す蓋部（７２）と、容器本体に対する蓋部の開錠及び施錠を行う錠機構（７４）と、を備えるポッド（７０）が載置される。錠開閉機構は、装置本体にポッドが載置されたときに当該錠機構に係合する係合部（３５）を移動させることで、当該錠機構に開錠を行わせるための開錠動作、及び当該錠機構に施錠を行わせるための施錠動作を行う。容器固定部は、錠機構に開錠を行わせる場合に、錠開閉機構と連動して、容器本体を装置本体に固定させる。
摘要翻译：盖开闭装置（1）装备有装置主体（2），锁开闭机构（30）和容器固定部（80）。设备主体设置有配备有容器主体（71）的容器（70），用于形成能够相对于容器主体打开和关闭的底部部分的盖部分（72）和锁定机构（74）用于相对于容器主体解锁和锁定盖部分。锁定打开/关闭机构执行用于解锁锁定机构的解锁操作，并且当将容器定位在装置主体中时，通过移动与锁定机构接合的接合部分（35）来执行用于锁定锁定机构的锁定机构。

6. 发明申请

WO2011102318A1 基板収納容器审中-公开
标题翻译：基座储存容器
公开(公告)号：WO2011102318A1
公开(公告)日：2011-08-25
申请号：PCT/JP2011/053045
申请日：2011-02-14
申请人：信越ポリマー株式会社 , 藤森義昭 , 小川統
发明人：藤森　義昭 , 小川　統
IPC分类号： B65D85/86 , B65D85/00 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/67373 , H01L21/67379 , H01L21/67396
摘要：　容器本体や蓋体等が帯電してパーティクルを吸着するのを抑制し、パーティクルによる基板の汚染を防ぐことのできる基板収納容器を提供する。　半導体ウェーハＷを収納して左右一対の支持片２により支持する容器本体１と、容器本体１の開口した正面を開閉する着脱自在の蓋体１０と、容器本体１と蓋体１０とに配設されて加工装置のロードポート装置３１に接続されるインターフェース部４０とを備え、容器本体１の開口した正面を蓋体１０が開閉する場合に蓋体１０がロードポート装置３１に位置決め接続される基板収納容器で、容器本体１とその一対の支持片２、蓋体１０、及びインターフェース部４０を導電性の材料によりそれぞれ形成してその表面抵抗値を１０３～１０１２ Ωの範囲内とし、これらに静電気の帯電に伴いパーティクルが付着するのを抑制する。
摘要翻译：提供一种能够抑制由于电荷而使颗粒吸附到容器主体，盖子等上的基板储存容器，并且防止了颗粒对基板的污染。基板储存容器设有用于存储半导体晶片（W）并通过一对右/左支撑件（2）支撑晶片的容器主体（1），用于打开/关闭开口的可拆卸盖（10）容器主体（1）的前侧和设置在容器主体（1）和盖（10）中的接口单元（40），以便连接到处理装置的装载端口装置（31），因此当盖（10）打开/关闭容器主体（1）的敞开的前侧时，盖（10）定位并连接到装载口装置（31），其中容器主体（1），对容器主体的支撑件（2），盖（10）和接口单元（40）分别由导电材料形成以具有103至1012O的表面电阻值，从而抑制颗粒的附着静电荷。

7. 发明申请

WO2011004729A1 基板収納容器审中-公开
标题翻译：基板储存容器
公开(公告)号：WO2011004729A1
公开(公告)日：2011-01-13
申请号：PCT/JP2010/060989
申请日：2010-06-28
申请人：信越ポリマー株式会社 , 益子秀洋 , 三村博 , 小川統
发明人：益子　秀洋 , 三村　博 , 小川　統
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/86
CPC分类号： G03F1/66 , H01L21/67366 , H01L21/67373 , H01L21/67389
摘要：吸湿性や水分透過性を低減し、基板の有機汚染を抑制することのできる安価な基板収納容器を提供する。複数枚の半導体ウェーハを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体（１）と、この容器本体（１）の開口した正面（６）にシール用のガスケットを介し着脱自在に嵌合される蓋体（２０）とを備え、これら容器本体（１）と蓋体（２０）とを、吸水率が０．１％以下、８０℃で２４時間加熱してダイナミックヘッドスペース法により測定した総アウトガス量が１５ｐｐｍ以下の合成樹脂を含有する成形材料でそれぞれ射出成形する。成形材料の合成樹脂を、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、若しくはポリエチレンテレフタレートから選択された少なくとも一種、又はこれらのアロイ樹脂とする。
摘要翻译：公开了一种较便宜的基材储存容器，其具有降低的吸湿性和透湿性，因此可以防止底物受到有机污染。具体公开了一种基板收纳容器，其特征在于，包括：开封箱型容器主体（1），其中多个半导体晶片片以有序的方式存储;以及盖（20），该盖（20）可拆卸地安装在开放前面）通过用于密封的垫圈。容器主体（1）和盖（20）通过注射成型包含合成树脂的模塑材料分别形成，该模塑材料具有0.1％或更低的吸水率，并且通过动态顶空法测量的总排出量（在80℃下加热24小时）为15ppm以下。成型材料中的合成树脂包括选自环烯烃聚合物，液晶聚合物，聚醚醚酮，聚对苯二甲酸丁二醇酯和聚对苯二甲酸乙二醇酯中的至少一种或其合金树脂。

8. 发明申请

WO2005062373A1 搬送容器の蓋着脱装置审中-公开
标题翻译：运输集装箱的包装/拆卸装置
公开(公告)号：WO2005062373A1
公开(公告)日：2005-07-07
申请号：PCT/JP2003/016563
申请日：2003-12-24
申请人：株式会社ライト製作所 , 永田龍彦
发明人：永田龍彦
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67373 , E05B65/006 , H01L21/67772
摘要：　前工程や前工程からの搬送途中で、矩形係合溝部が多少ずれた状態できても蓋部材のロックを解除することができる。　Ｔ字キー（１４ｃ）は、頭部（１４１）と、頭部（１４１）の回転軸となる首部（１４２）とからなり、頭部（１４１）は、その長手方向の両辺を中心部から先端部にいくにしたがってそれぞれ細くなるように傾斜させた４つの傾斜辺（１４３）を備えており、また、Ｔ字キー（１４ｃ）は、各傾斜辺（１４３）の頂部側に面取部（１４４）を形成されている。
摘要翻译：即使在前一步骤中或在从前一步骤转移期间矩形接合槽部分略微移位，携带容器的盖安装/拆卸装置能够释放盖构件的锁定，包括T型键（14c），其具有用作头部（141）的旋转轴的头部（141）和颈部（142）。头部（141）还包括四个对角侧（143），其中纵向方向的两侧从中心部朝向其顶端会聚。 T形键（14c）包括形成在对角侧（143）的尖端部分的倒角部（144）。

9. 发明申请

WO2005001890A3 WAFER BOX WITH RADIALLY PIVOTING LATCH ELEMENTS 审中-公开
标题翻译：带有放射性锁定元件的散热片
公开(公告)号：WO2005001890A3
公开(公告)日：2005-03-24
申请号：PCT/US2004014659
申请日：2004-05-11
申请人： ILLINOIS TOOL WORKS , FORSYTH VALORIS L , GARDINER JIM , BROWN BERRY
发明人： FORSYTH VALORIS L , GARDINER JIM , BROWN BERRY
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/90
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67373
摘要： The semiconductor wafer containment device or wafer box includes a base (10) with a planar floor (12) and a double concentric cylindrical wall structure (22, 24) arising therefrom. The double concentric cylindrical wall structure includes slots (26, 28) through which latch elements (44, 46) pivot radially. The latch elements include an inward padded spacer element (52, 53). The latch elements pivot between an outward position wherein the padded spacer elements are relatively away from the wafer containment space and an inward upright position wherein the padded spacer elements impinge into the wafer containment space and are urged against the semiconductor wafers therein. Ramps (77, 79) on the lid (70) capture the latch elements in the outward position and urge the latch elements to pivot to the inward upright position and be detent engaged in this position by slots (76, 78) formed on the lid.
摘要翻译：半导体晶片容纳装置或晶片盒包括具有平面底板（12）的底座（10）和由此产生的双重同心圆柱形壁结构（22,24）。双同心圆柱形壁结构包括槽（26,28），闩锁元件（44,46）通过该槽狭窄地径向枢转。闩锁元件包括向内填充的间隔元件（52,53）。闩锁元件在外部位置之间枢转，其中填充的间隔元件相对远离晶片容纳空间和向内直立位置，其中填充的间隔元件撞击晶片容纳空间并且被推靠在其中的半导体晶片上。盖（70）上的斜面（77,79）在向外的位置捕获闩锁元件，并且推动闩锁元件枢转到向内直立的位置，并通过形成在盖子上的狭槽（76,78）而被卡定在该位置。

10. 发明申请

WO03106310A9 UNIVERSAL RETICLE TRANSFER SYSTEM 审中-公开
标题翻译：通用传输系统
公开(公告)号：WO03106310A9
公开(公告)日：2004-04-29
申请号：PCT/US0318705
申请日：2003-06-12
申请人： WU KUNG CHRIS , FORTREND ENGINEERING CORP , SIFUENTES ROBERT FRANK , HARDY KENNETH ALAN , CALIBOSO EDGARDO A , MALOBRODSKY ANATOLY
发明人： WU KUNG CHRIS , SIFUENTES ROBERT FRANK , HARDY KENNETH ALAN , CALIBOSO EDGARDO A , MALOBRODSKY ANATOLY
IPC分类号： B65G49/07 , H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/683 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/6734 , H01L21/67359 , H01L21/67373 , H01L21/67379 , H01L21/67383 , H01L21/67386 , H01L21/67775 , H01L21/67778 , H01L21/6831 , H01L21/68707
摘要： A specially adapted SMIF pod (20) receives and holds one particular type of reticle cassette (36) or reticle holder (132) selected from among dozens of different configurations thereof. The SMIF pod (20) may be interrogated to determine the particular type of reticle cassette (36) or reticle holder (132) carried therein. A reticle transfer system (50) receives a pair of such SMIF pods (20), interrogates each of the SMIF pods (20) to ascertain which type of reticle cassette (36) or reticle holder (132) the SMIF pod (20) carries, and automatically moves reticles (42) through a controlled environment from one reticle cassette (36) or reticle holder (32) to another reticle cassette (36) or reticle holder (132). A reticle reorienter (56) includable in the system (50) also permits automatically exchanging reticles (42) between a reticle carrier (144) and a reticle cassette (36) or reticle holder (132).
摘要翻译：专门适应的SMIF盒（20）接收并保持从其数十种不同配置中选择的一种特定类型的标线盒（36）或标线架支架（132）。可以询问SMIF盒（20）以确定其中承载的标线盒（36）或标线架（132）的特定类型。标线片传送系统（50）接收一对这样的SMIF盒（20），询问每个SMIF盒（20）以确定SMIF盒（20）携带的哪种类型的标线盒（36）或标线架（132）并且自动将标线片（42）通过受控的环境从一个标线盒（36）或标线保持器（32）移动到另一个标线盒（36）或标线架支架（132）。可在系统（50）中包括的标线重新定向器（56）还允许自动交换标线片载体（144）和标线片盒（36）或标线架支架（132）之间的标线（42）。

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