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    • 7. 发明申请
    • LASER SUSTAINED PLASMA BULB INCLUDING WATER
    • 激光可持续等离子体包括水
    • WO2014025442A1
    • 2014-02-13
    • PCT/US2013/041875
    • 2013-05-20
    • KLA-TENCOR CORPORATION
    • BEZEL, IlyaSHCHEMELININ, AnatolyPANZER, Matthew Alan
    • H01L21/66
    • H01J61/02H01J61/12H01J61/125H01J61/14H01J61/16H01J61/28H01J61/302H01J61/52H01J61/54H01J65/04H01J65/042
    • A wafer inspection system includes a laser sustained plasma (LSP) light source that generates light with sufficient radiance to enable bright field inspection. Reliability of the LSP light source is improved by introducing an amount of water into the bulb containing the gas mixture that generates the plasma. Radiation generated by the plasma includes substantial radiance in a wavelength range below approximately 190 nanometers that causes damage to the materials used to construct the bulb. The water vapor acts as an absorber of radiation generated by the plasma in the wavelength range that causes damage. In some examples, a predetermined amount of water is introduced into the bulb to provide sufficient absorption. In some other examples, the temperature of a portion of the bulb containing an amount of condensed water is regulate to produce the desired partial pressure of water in the bulb.
    • 晶片检查系统包括激光持续等离子体(LSP)光源,其产生具有足够辐射度的光以实现明场检查。 通过将一定量的水引入含有产生等离子体的气体混合物的灯泡中来提高LSP光源的可靠性。 由等离子体产生的辐射包括在低于约190纳米的波长范围内的实质辐射,这导致用于构建灯泡的材料的损坏。 水蒸气作为在等离子体产生的辐射的吸收体,在波长范围内引起损伤。 在一些实例中,将预定量的水引入灯泡以提供足够的吸收。 在一些其它实施例中,调节包含一定量冷凝水的灯泡的一部分的温度以产生灯泡中期望的水分压。
    • 8. 发明申请
    • LASER SUSTAINED PLASMA LIGHT SOURCE WITH ELECTRICALLY INDUCED GAS FLOW
    • 激光可持续等离子体光源,具有电导率气体流量
    • WO2014004621A1
    • 2014-01-03
    • PCT/US2013/047811
    • 2013-06-26
    • KLA-TENCOR CORPORATION
    • SHCHEMELININ, AnatolyBEZEL, Ilya
    • H01J65/04
    • H01J37/32055H01J61/04H01J61/125H01J61/14H01J61/16H01J61/20H01J61/28H01J65/04
    • A laser sustained plasma light source includes a plasma bulb containing a working gas flow driven by an electric current sustained within the plasma bulb. Charged particles are introduced into the working gas of the plasma bulb. An arrangement of electrodes maintained at different voltage levels drive the charged particles through the working gas. The movement of the charged particles within the working gas causes the working gas to flow in the direction of movement of the charged particles by entrainment. The resulting working gas flow increases convection around the plasma and increases laser to plasma interaction. The working gas flow within the plasma bulb can be stabilized and controlled by control of the voltages present on the each of the electrodes. A more stable flow of working gas through the plasma contributes to a more stable plasma shape and position within the plasma bulb.
    • 激光持续等离子体光源包括等离子体灯泡,其包含由等离子体灯泡内的电流驱动的工作气体流。 带电粒子被引入等离子体灯泡的工作气体中。 维持在不同电压水平的电极布置驱动带电粒子通过工作气体。 带电粒子在工作气体内的移动导致工作气体通过夹带而沿带电粒子的移动方向流动。 所产生的工作气体流量增加等离子体周围的对流并且增加激光到等离子体相互作用。 可以通过控制存在于每个电极上的电压来稳定和控制等离子体灯泡内的工作气体流。 通过等离子体的工作气体的更稳定的流动有助于在等离子体灯泡内更稳定的等离子体形状和位置。
    • 10. 发明申请
    • 紫外線発生装置及びそれを用いた照明装置
    • 超声波发生装置和使用该装置的照明装置
    • WO2009123258A1
    • 2009-10-08
    • PCT/JP2009/056800
    • 2009-04-01
    • 富山県松本 和憲平 祐樹
    • 松本 和憲平 祐樹
    • H01J65/00H01J61/12F21V9/08F21V9/16
    • H01J61/16H01J61/106H01J61/12H01J61/14H01J65/046
    • 【課題】多極磁場中の多相交流放電プラズマを紫外発生光源へ応用し、水銀や希少ガス以外の一般的な分子性ガスを用いて、高輝度で高効率な紫外線を発生させる。【解決手段】平面容器(3)内を真空排気し、放電発光に用いる分子性ガス1Torr 以下を封入あるいは流入する。次に、12枚の分割電極(1)に1kw以下の12相交流電源を接続して放電電気エネルギーを供給する。これにより、バリア層(2)に覆われた分割電極(1)の表面に沿って安定な交流グロー放電によるプラズマ(P)が生じる。放電の結果、紫外線を含む分子性ガス特有の波長を持つ光が放射され、光取り出し窓(32)より外へ取り出される。
    • 通过在多极磁场中将多相交流放电等离子体施加到产生紫外线的光源并使用除了稀有气体以外的汞和一般分子气体来产生高强度和高效率的紫外光。 将平面容器(3)的内部抽真空,将1Torr以下用于放电发光的分子气体填充或倒入其中。 1kw以下的12相交流电源与12个分割电极(1)连接,向其供给放电电力。 因此,沿着被阻挡层(2)覆盖的分割电极(1)的表面产生通过稳定的交流辉光放电的等离子体(P)。 作为放电的结果,从具有紫外线的分子气体独特的波长的光从光提取窗(32)向外发射并提取。