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    • 2. 发明申请
    • 挿入光源
    • 插入光源
    • WO2017022669A1
    • 2017-02-09
    • PCT/JP2016/072352
    • 2016-07-29
    • 日立金属株式会社
    • 北村 英男荒川 雅美
    • H05H13/04H01F7/02H05H7/04
    • H05H7/04H01F7/0221H01F7/0278H05H7/08H05H13/04H05H2007/046H05H2007/087
    • キャンセルバネ機構で生じた反発力が精密なギャップ駆動に影響を与えないようにする。 ギャップを介して互いに向かい合う第1磁石列M1と第2磁石列M2と、磁石列が取り付け支持される磁石支持体1,2と、ギャップの大きさを変更するため、第1・第2磁石支持体1,2を垂直方向に駆動するためのギャップ駆動機構50と、ギャップ駆動機構50と磁石支持体1,2を連結するための駆動連動機構と、第1磁石列M1と第2磁石列間M2に作用する吸引力をキャンセルするキャンセルバネ機構40と、キャンセルバネ機構40と磁石支持体1,2とを連結するバネ連動機構と、ギャップ駆動機構50を支持する第1支持フレーム30と、キャンセルバネ機構40を支持する第2支持フレーム20と、載置面に載置される共通ベース10と、を備え、第1支持フレーム30と第2支持フレーム20は、それぞれ個別に共通ベース10に結合される挿入光源。
    • 本发明防止由补偿弹簧组件产生的排斥力影响精确的间隙驱动。 该插入光源设置有:跨越间隙彼此相对的第一磁体柱M1和第二磁体柱M2; 磁体支撑构件1和2,磁体柱附接到磁体支撑构件1和2,并且支撑磁体柱; 用于沿垂直方向驱动第一和第二磁体支撑构件1,2的间隙驱动机构50,以便改变间隙的尺寸; 用于连接间隙驱动机构50和磁体支撑构件1和2的驱动连杆机构; 补偿弹簧组件40,其补偿作用在第一磁体柱M1和第二磁体柱M2之间的吸引力; 将补偿弹簧组件40连接到磁体支撑构件1和2的弹簧连杆机构; 支撑间隙驱动机构50的第一支撑框架30; 支撑补偿弹簧组件40的第二支撑框架20; 以及安装在安装表面上的公共基座10。 第一支撑框架30和第二支撑框架20彼此分开地连接到公共基座10。
    • 4. 发明申请
    • MAGNETIC FIELD GENERATOR FOR MAGNETOCALORIC THERMAL APPLIANCE
    • 磁电热发电机用磁场发生器
    • WO2013128085A3
    • 2013-12-19
    • PCT/FR2013000046
    • 2013-02-21
    • COOLTECH APPLICATIONS SAS
    • MULLER CHRISTIANMARCHAND MAGALI
    • F25B21/00H01F7/02
    • H01F7/0278H01F7/0273
    • The invention relates to a magnetic field generator (1) comprising a first (2) and a second (3) magnetizing structure, these being identical and mounted facing one another top to tail, parallel, and defining at least two air gaps (42, 43), each magnetizing structure (2) comprising a first (4) and a second (5) magnetizing assembly, these being structurally identical, diametrically opposed and positioned one on either side of a ferromagnetic central component (6), each magnetizing assembly (4, 5) comprising a uniformly magnetized polygonal central magnet (7, 14) laterally surrounded by a uniformly magnetized magnetic belt (13, 20), the magnetic flux generated by said generator (1) forming a single loop concentrated through said air gaps (42, 43).
    • 本发明涉及一种包括第一(2)和第二(3)磁化结构的磁场发生器(1),它们彼此相同并且彼此相对地安装,顶部到尾部,平行并限定至少两个气隙(42, 每个磁化结构(2)包括第一(4)和第二(5)磁化组件,它们在结构上相同,在铁磁中心部件(6)的任一侧上直接相对并定位,每个磁化组件 包括由均匀磁化的磁带(13,20)横向包围的均匀磁化的多边形中心磁体(7,14),由所述发生器(1)产生的磁通量形成通​​过所述气隙( 42,43)。
    • 7. 发明申请
    • GENERATEUR DE CHAMP MAGNETIQUE POUR APPAREIL THERMIQUE MAGNETOCALORIOUE
    • 用于热设备磁性粒子的磁场发生器
    • WO2013128085A2
    • 2013-09-06
    • PCT/FR2013/000046
    • 2013-02-21
    • COOLTECH APPLICATIONS S.A.S.
    • MULLER ChristianMARCHAND Magali
    • H01F7/0278H01F7/0273
    • L'invention concerne un générateur de champ magnétique (1) comportant une première (2) et une seconde (3) structures magnétisantes identiques montées en regard l'une de l'autre, tête-bêche, parallèlement, et définissant au moins deux entrefers (42, 43), chaque structure magnétisante (2) comportant un premier (4) et un second (5) assemblages magnétisants structurellement identiques, diamétralement opposés et disposés de part et d'autre d'une pièce centrale ferromagnétique (6), chaque assemblage magnétisant (4, 5) comprenant un aimant central (7, 14) polygonal uniformément aimanté et entouré latéralement d'une ceinture magnétique (13, 20) uniformément aimantée, le flux magnétique généré par ledit générateur (1) formant une boucle unique concentrée à travers lesdits entrefers (42, 43).
    • 甲克é否E算MAGN E字段;蜱(1),具有Premiè重(2)和第二(3)磁é结构; tisantes相同摩éES面对 彼此,Tê b优ê澈,并行è字元素和DE结束至少两个气隙(42,43),每个磁解结构; tisante(2),具有第一(4)和一个 第二(5)磁性组件étisants结构相同的,直径étralement上的pI&egrave的任一侧相反(E S)和布置(E S);这ferromagné植物;蜱(6),每个组件在励磁étisant(4,5 )包括均匀多边形多边形中心磁体(7,14) 并围绕ó 在均匀磁化的磁带(13,20)侧,磁通始终是负的。 由所述发生器(1)形成单个集中回路; 通过所述气隙(42,43)。

    • 8. 发明申请
    • CONTROL OF PLASMA PROFILE USING MAGNETIC NULL ARRANGEMENT BY AUXILIARY MAGNETS
    • 使用辅助磁铁的磁性空安排来控制等离子体轮廓
    • WO2012018770A3
    • 2012-08-09
    • PCT/US2011046204
    • 2011-08-02
    • APPLIED MATERIALS INCLIU GUOJUNTANG XIANMINLUO QIANCAO YONG
    • LIU GUOJUNTANG XIANMINLUO QIANCAO YONG
    • H01L21/203H05H1/46
    • H01F7/0278H01J37/3408H01J37/3461
    • Magnetrons for use in physical vapor deposition (PVD) chambers and methods of use thereof are provided herein. In some embodiments, an apparatus may include a support member having an axis of rotation; a plurality of first magnets coupled to the support member on a first side of the axis of rotation and having a first polarity oriented in a first direction perpendicular to the support member; and a second magnet coupled to the support member on a second side of the axis of rotation opposite the first side and having a second polarity oriented in a second direction opposite the first direction. In some embodiments, the apparatus is capable of forming a magnetic field including one or more magnetic nulls that modulate local plasma uniformity in a physical vapor deposition (PVD) chamber.
    • 本文提供了用于物理气相沉积(PVD)室的磁控管及其使用方法。 在一些实施例中,装置可以包括具有旋转轴线的支撑构件; 多个第一磁体,其在所述旋转轴线的第一侧上联接到所述支撑构件,并且具有在垂直于所述支撑构件的第一方向上定向的第一极性; 以及第二磁体,其在所述旋转轴线的与所述第一侧相反的第二侧上与所述支撑构件相耦合,并且具有在与所述第一方向相反的第二方向上定向的第二极性。 在一些实施例中,该装置能够形成包括调制物理气相沉积(PVD)室中的局部等离子体均匀性的一个或多个磁零点的磁场。
    • 9. 发明申请
    • 円柱状ボンド磁石
    • COLUMNAR BOND MAGNET
    • WO2012043525A1
    • 2012-04-05
    • PCT/JP2011/071984
    • 2011-09-27
    • 日亜化学工業株式会社アイ・アンド・ピー株式会社ケイテック株式会社井原 公平松村 周治西野 敬貴
    • 井原 公平松村 周治西野 敬貴
    • H02K33/00H01F7/02
    • H01F7/02H01F7/0278H01F7/081H02K1/34H02K15/03H02K33/16
    • 【課題】推力の方向に直交する磁場を形成可能な円柱状ボンド磁石の構造を提供する。 【解決手段】長手方向に沿ってN極とS極が交互に1組以上出現するように形成された円柱状ボンド磁石と、その円柱状ボンド磁石を囲むように、長手方向に沿って内周にN極とS極が交互に1組以上出現するように形成された円筒状ボンド磁石を配置する。その円柱状ボンド磁石の磁極と円筒状ボンド磁石の内周の磁極とは、推力の方向である円柱状ボンド磁石の軸に直交する方向に位置し、互いに異極となるように組合せることにより、推力の方向に直交する磁場を形成する。表面磁束密度プロファイルバランスの平滑化は、円柱状ボンド磁石と円筒状ボンド磁石の表面磁束密度プロファイル間の長短の組合せによる。
    • [问题]提供能够在推力方向上形成彼此垂直的磁场的柱状粘结磁体的结构。 [解决方案]设置形成为使得一对或多对北极和南极在纵向上交替出现的柱状接合磁体,并且形成为使得一对或多对北极和南极的圆柱形接合磁体 在柱状粘结磁体周围设置有在其内周上沿纵向方向交替出现的极点。 柱状粘结磁体的磁极和圆筒形接合磁体的内周上的磁极在垂直于柱状接合磁体的轴线的方向上沿推力方向设置,并且将磁极组合成 彼此成为不同的极点,从而形成垂直于推力方向的磁场。 表面磁通密度分布平衡的平滑取决于柱状粘结磁体和圆柱形粘结磁体的长表面磁通密度分布和短表面磁通密度分布的组合。
    • 10. 发明申请
    • STRUCTURE AIMANTEE INDUISANT EN SON CENTRE UN CHAMP HOMOGENE D'ORIENTATION PREDETERMINEE
    • 在中心的诱导均质场的磁化结构与预先确定的方位
    • WO2011023913A1
    • 2011-03-03
    • PCT/FR2010/051784
    • 2010-08-27
    • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVESSAKELLARIOU, DimitriosHUGON, CedricAUBERT, Guy
    • SAKELLARIOU, DimitriosHUGON, CedricAUBERT, Guy
    • G01R33/383H01F7/02
    • G01R33/383G01R33/307H01F7/0278
    • Une structure aimantée induisant dans une zone d'intérêt centrale un champ magnétique homogène d'orientation prédéterminée par rapport à un axe longitudinal (z) de la structure, comprend au moins deux couronnes aimantées (110, 120) disposées de façon symétrique par rapport à un plan (P) qui est perpendiculaire à l'axe longitudinal (z) et contient la zone d'intérêt centrale, et au moins une structure aimantée annulaire médiane interposée au moins partiellement entre les deux couronnes aimantées (110, 120) et également disposée de façon symétrique par rapport au plan (P) de symétrie, l'une (110) des deux couronnes aimantées étant aimantée radialement par rapport à l'axe longitudinal (z) avec une aimantation divergente, et l'autre (120) des deux couronnes aimantées étant aimantée radialement par rapport à l'axe longitudinal (z) avec une aimantation convergente, et la structure aimantée annulaire médiane étant aimantée avec une orientation différente de celle de l'aimantation des deux couronnes aimantées (110, 120). La structure aimantée annulaire médiane comprend au moins une couronne aimantée (150) présentant une distribution d'aimantation dont l'orientation varie comme dans les dipôles de Halbach et les deux premières couronnes aimantées (110, 120) ainsi que la structure aimantée annulaire médiane sont divisées chacune en éléments constitutifs individuels en forme de secteurs identiques régulièrement répartis.
    • 本发明涉及在感兴趣的中心区域中诱导均匀磁场的磁化结构,所述场的取向相对于该结构的纵向轴线(z)被预先确定。 所述结构包括至少两个相对于垂直于纵向轴线(Z)的平面(P)对称地布置且包含中心感兴趣区域的磁化冠部(110,120),以及至少一个中间环形磁化结构 最少部分地插入在两个磁化的冠部(110,120)之间,并且还相对于对称平面(P)对称地布置,两个磁化的冠部中的一个(110)相对于纵向轴线(z)径向磁化, 发散磁化,并且两个磁化的冠的另一个(120)相对于纵向轴线(z)以会聚磁化径向磁化。 中间环形磁化结构以不同于两个磁化冠(110,120)的磁化的方向被磁化。 中心环形磁化结构包括至少一个具有磁化分布的磁化表冠(150),其具有如Halbach偶极子中那样变化的取向,并且将两个第一磁化冠(110,120)和中间环形磁化结构分为 各组成元素以规则分布的相同部分的形式。