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    • 4. 发明申请
    • サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム
    • 服务器设备,信息处理方法和程序
    • WO2008096792A1
    • 2008-08-14
    • PCT/JP2008/051965
    • 2008-02-06
    • 東京エレクトロン株式会社塩山 紀晶小正路 義明
    • 塩山 紀晶小正路 義明
    • H01L21/02G05B19/418
    • G05B19/4186G05B2219/31246G05B2219/36542H01L21/67253H01L21/67276H01L21/67294H01L21/67778Y02P90/18Y02P90/185
    • 【課題】権限に関する情報を容易に管理することができるようにする。 【解決手段】サーバ装置10は、処理についての権限に関する権限情報が記憶される権限情報記憶部11と、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置40あるいはクライアント装置20から送信された情報であり、所望の処理の実行に関する許否の判断を要求する情報である判断要求情報を受信する判断要求情報受信部12と、判断要求情報受信部12が受信した判断要求情報に応じた許否の判断を、権限情報を用いて行う許否判断部13と、許否判断部13による判断結果を示す判断結果情報を、判断要求情報を送信した装置に送信する判断結果情報送信部14と、を備える。
    • [问题]为了方便管理权威信息。 一种服务器设备(10),包括:权限信息存储单元(11),用于存储与处理权限有关的权限信息; 判断请求信息接收单元(12),接收对于要处理的基板执行预定的半导体处理的制造装置(40)发送的请求,所述判定请求信息需要关于期望处理的执行的允许/拒绝判断的判定请求信息; 或来自客户端设备(20); 根据判断请求信息接收部(12)接收到的判定请求信息,判定是否允许或拒绝进行许可/拒绝判定单元(13)。 并且向设备发送指示由许可/拒绝判断单元(13)作出的判断结果的判断结果信息的判断结果信息发送单元(14)发送了判断请求信息。
    • 7. 发明申请
    • MAINTENANCE MANAGEMENT SYSTEM FOR A PRODUCTION PLANT
    • 生产厂维护管理系统
    • WO00062138A1
    • 2000-10-19
    • PCT/FI2000/000283
    • 2000-03-31
    • G05B19/418G06Q10/06G06F17/60
    • G06Q10/06G05B19/41855G05B2219/31205G05B2219/31246G05B2219/33284Y02P90/14Y02P90/18Y02P90/185Y02P90/86
    • The invention relates to a method and system for arranging the maintenance of a production plant. In the method according to the invention, information related to the manufacturing processes and machinery of a production plant (20) is collected by means of at least one information system and/or measurement unit and/or production control unit (21, 22, 23, 24, 25), and the information is sent from the production plant (20) to a remote service unit (10), wherein information submitted from the production plant (20) is collected and analyzed. In the method, the internal information network of the production plant (20) and the information network of the service unit (10) are isolated from the Internet by firewalls (F10, F20). The information is transferred bidirectionally via the firewalls (F10, F20) between the information networks of the production plant (20) and the service unit (10) in a secured format. The system according to the invention includes in the production plant (20) information systems (21, 22, 23, 24, 25), wherefrom information is transferred to a service system server (26) and further includes a service unit (10) comprising a data analysis unit (12) and a data bank (13). In the system there is established between the production plant (20) and the service unit (10) a secured communications connection comprising a firewall (F20) of the production plant (20), a firewall (F10) of the service unit (10) and a secured communications connection therebetween.
    • 本发明涉及一种用于安排生产设备的维护的方法和系统。 在根据本发明的方法中,通过至少一个信息系统和/或测量单元和/或生产控制单元(21,22,23)收集与生产设备(20)的制造过程和机械相关的信息 ,24,25),并且从所述生产工厂(20)向远程服务单元(10)发送所述信息,其中收集并分析从所述生产设备(20)提交的信息。 在该方法中,生产设备(20)的内部信息网络和服务单元(10)的信息网络通过防火墙(F10,F20)与互联网隔离。 信息通过安全格式的生产工厂(20)和服务单元(10)的信息网络之间的防火墙(F10,F20)双向传送。 根据本发明的系统在生产设备(20)中包括信息系统(21,22,23,24,25),其中信息被传送到服务系统服务器(26),并且还包括服务单元(10),其包括 数据分析单元(12)和数据库(13)。 在所述系统中,在所述生产工厂(20)和所述维修单元(10)之间建立包括所述生产设备(20)的防火墙(F20),所述服务单元(10)的防火墙(F10))的安全通信连接, 和它们之间的安全通信连接。