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热词
    • 1. 发明申请
    • VERKIPPEN EINES OPTISCHEN ELEMENTS
    • 倾斜的光学元素
    • WO2016020226A1
    • 2016-02-11
    • PCT/EP2015/067266
    • 2015-07-28
    • CARL ZEISS SMT GMBH
    • PNINI-MITTLER, Boaz
    • G02B26/08G03F7/20
    • G02B7/1827G02B5/09G02B7/1822G02B26/0816G03F7/70075G03F7/70116G03F7/70191
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein optische Einheit, insbesondere eine Facettenspiegeleinheit, mit einem optischen Element (109) und einer Stützeinrichtung (111), wobei das optische Element (109) eine, insbesondere langgestreckte, optische Fläche (109.1) aufweist, die eine Haupterstreckungsebene (PME) und eine Haupterstreckungsrichtung in der Haupterstreckungsebene (PME) definiert. Die Stützeinrichtung (111) umfasst eine Stützeinheit und eine Aktuatoreinheit (113), wobei die Aktuatoreinheit (113) zum Verkippen der optischen Fläche ausgebildet ist, indem über die Aktuatoreinheit (113) ein Kippmoment (M1) auf das optische Element (109) ausgeübt wird, wobei das Kippmoment (M1) zu der Haupterstreckungsebene (PME) geneigt verläuft. Die Stützeinheit (112) ist dazu ausgebildet, beim Verkippen der optischen Fläche durch das Kippmoment (M1) der Aktuatoreinheit (113) eine Kippachse (TA1, TA2) für die optische Fläche (109.1) vorzugeben, die im Wesentlichen in der Haupterstreckungsebene (PME) der optischen Fläche liegt.
    • 本发明涉及一种光学单元,特别是分面镜单元与光学元件(109)和支撑装置(111),其中所述光学元件(109)尤其是细长的,光学表面(109.1),其主延伸平面的(PME 中所定义的主延伸平面(PME))和主延伸方向。 所述支撑装置(111)包括支撑单元和致动器单元(113),所述致动器(113)被设计用于由多于施加倾斜力矩(M1)到光学元件的致动器(113)倾斜的光学表面的(109) 其中,所述倾斜力矩(M1)的主延伸平面(PME)是倾斜的。 支撑单元(112)被适配成在由所述倾斜力矩(M1)倾斜的光学表面的指定致动器(113)包括用于将所述光学表面(109.1),其基本上在主延伸平面中的倾斜轴(TA1,TA2)(PME) 该光学表面位于。
    • 8. 发明申请
    • ARRANGEMENT FOR PIVOTING A MIRROR
    • 安排一个旋转MIRROR
    • WO01013156A1
    • 2001-02-22
    • PCT/DE2000/002773
    • 2000-08-16
    • G02B7/182
    • G02B7/1822
    • The aim of the invention is to pivot a mirror in at least one pivoting level and around a small angle number in a highly precise manner. A support construction (1) for the mirror (2) is embodied as a four-joint mechanism (3) in the pivoting level. Two adjacent joints (4, 5) are arranged in a stationary manner. The mirror (2) is held on the component (12) which is mounted between the two remaining moveable joints (6, 7), whereby said component (12) belongs to the support construction (1). At least one side (8) of the four-joint mechanism (3) is provided with a length that is different from the length of the opposite side (9).
    • 为了能够通过一个较小的角量以高精度枢转的镜子中的至少一个枢转平面中,支撑结构(1),用于反射镜(2)在偏转平面被设计成一个四杆连杆机构(3),其中两个相邻的接头(4,5)被固定地布置 中,反射镜(2)连接到其他两个可动接头之间(6,7)安装在所述支撑结构(1)的一部分(12)被保持,并且其中至少一个侧面(8)的四杆连杆机构的(3)具有不同的长度比相对 具有侧(9)。