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    • 1. 发明申请
    • INSTRUMENTED SPINDLE OR LOAD CELL FOR HIGH LOAD, HIGH RESOLUTION
    • 仪器化的主轴或负载单元高负载,高分辨率
    • WO2017095792A1
    • 2017-06-08
    • PCT/US2016/063951
    • 2016-11-29
    • CAMBER RIDGE, LLC
    • CUTTINO, James F.
    • G01L1/04G01L1/14G01L1/22G01L1/24G01L1/26
    • G01L1/04G01L1/26G01L5/161G01L5/165
    • An assembly operable for measuring one of a force and a moment, comprising: a compliant flexure mechanism that is one of deflected and deformed under an applied load; a low resolution load sensor coupled to the compliant flexure mechanism and operable for measuring one of the deflection and the deformation of the compliant flexure mechanism under a relatively higher load; and a high resolution load sensor coupled to the compliant flexure mechanism and operable for measuring one of the deflection and the deformation of the compliant flexure mechanism under a relatively lower load; wherein the high resolution load sensor is one of a non-contact sensor that is disposed at a distance from the compliant flexure mechanism and a contact sensor that is not subject to damage by the relatively higher load. Optionally, the low resolution load sensor is disposed adjacent to a narrowed neck portion of the compliant flexure mechanism.
    • 可操作用于测量力和力矩中的一个的组件,包括:柔性挠曲机构,所述柔性挠曲机构是在施加的载荷下偏转和变形中的一个; 低分辨率载荷传感器,其耦合到所述柔性弯曲机构并且可操作用于在相对较高的载荷下测量所述柔性弯曲机构的偏转和变形中的一个; 以及高分辨率载荷传感器,所述高分辨率载荷传感器联接到所述柔性弯曲机构并且可操作用于在相对较低的载荷下测量所述柔性弯曲机构的偏转和变形中的一个; 其中所述高分辨率载荷传感器是布置在距所述柔性弯曲机构一定距离处的非接触式传感器和不会由于所述相对较高的载荷而受损的接触式传感器中的一个。 可选地,低分辨率载荷传感器设置在柔性挠曲机构的变窄的颈部附近。
    • 3. 发明申请
    • 力覚センサ
    • 力传感器
    • WO2016121129A1
    • 2016-08-04
    • PCT/JP2015/052784
    • 2015-01-26
    • 株式会社ワコーテック
    • 岡田 和廣岡田 美穂
    • G01L5/16G01L1/14
    • G01L1/04G01L1/144G01L1/146G01L5/165G01L5/226
    • 斜視図(a)に示す構造をもった検出リング(600)を用意する。この検出リング(600)は、側面図(b)に示すように、XY平面上にZ軸が中心軸となるように配置され、下面図(c)に示すように、その平面形状は円形のリングをなす。検出リング(600)は、弾性変形する板バネからなる4組の検出部(D1~D4)を、4組の円弧状連結部(L1~L4)で連結した構造を有する。検出リング(600)下方に支持基板を配置し、Y軸上に配置された固定点(P1,P2)を支持基板に固定する。検出対象となる力やモーメントを作用点(Q1,Q2)に作用させると、4組の検出部(D1~D4)が弾性変形を生じる。各検出部(D1~D4)の変位部(63)の底面にそれぞれ変位電極を形成し、支持基板の対向面に固定電極を形成して4組の容量素子を形成し、その静電容量値の変動量に基づく演算により、作用した力やモーメントを検出する。
    • 准备具有透视图(a)所示结构的检测环(600)。 如侧视图(b)所示,该检测环(600)以Z轴为中心轴线配置在XY平面上,如下图(c)所示,其平面形状为具有圆形 形状。 检测环(600)具有这样的结构,其中包括弹性变形的板簧的四个检测器(D1-D4)由四个弧形连接部分(L1-L4)连接。 支撑基板设置在检测环(600)下方,并且设置在Y轴上的固定点(P1,P2)固定在支撑基板上。 当被检测的力或力矩作用在作用点(Q1,Q2)上时,发生四个检测器(D1-D4)的弹性变形。 可拆卸电极分别形成在检测器(D1-D4)的可移动部分(63)的底表面上,并且在支撑基板的相对表面上形成固定电极,从而形成四个电容元件,并且施加力或力矩作用 通过基于电容元件的静电电容的波动量的计算来检测其上。
    • 4. 发明申请
    • SYSTÈME A RÉSEAU DE CELLULES DE CAPTEURS CAPACITIFS DE PRESSION ET DE CISAILLEMENT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION
    • 包含电容压力和剪应力传感器和制造工艺的细胞网络的系统
    • WO2016009151A1
    • 2016-01-21
    • PCT/FR2015/051947
    • 2015-07-16
    • FEETME
    • MATHIEU, AlexisMERCIER, Julien
    • G01L1/14A61B5/103G01L5/16
    • G01L1/142A43B3/0005A43B17/00A61B5/1036G01D5/2412G01L1/00G01L1/146G01L1/2287G01L5/165G01L5/167G01N2203/0025
    • La présente invention concerne un système et un procédé de fabrication d'un système à réseau de capteurs comprenant une feuille de matériau diélectrique élastiquement déformable en compression et en cisaillement, chaque cellule (20) du réseau comprenant un premier capteur capacitif de pression normale (10) suivant une première direction (Z), un deuxième capteur capacitif de cisaillement (30) suivant une deuxième direction (X) et un troisième capteur capacitif de cisaillement (50) suivant une troisième direction (Y). Selon l'invention, chaque capteur capacitif (10, 30, 50) comprend une première électrode (1, 3, 5) fixée sur la première face de la feuille de matériau diélectrique et une deuxième électrode (2, 4, 6) fixée sur la deuxième face de la feuille de matériau diélectrique, lesdites premières électrodes (1, 3, 5) des capteurs capacitifs d'une même cellule (20) étant reliées en série à une première piste électriquement conductrice (11) reliant une ligne de cellules du réseau de capteurs.
    • 本发明涉及一种用于制造系统的系统和方法,该系统包括传感器网络,其包括在压缩和剪切应力下可弹性变形的电介质材料片,网络的每个单元(20)包括第一电容传感器 用于感测第一方向(Z)上的正常压力的第二电容传感器(30),用于感测第二方向(X)上的纯粹应力的第二电容传感器(30)和用于感测第三方向上的纯应力的第三电容传感器(50) )。 根据本发明,每个电容传感器(10,30,50)包括固定到电介质材料片的第一侧的第一电极(1,3,5)和固定到电介质材料片的第二电极(2,4,6) 电介质材料片的第二面,给定电池(20)的电容传感器的所述第一电极(1,3,5)串联连接到第一导电轨道(11),所述第一导电轨道(11)连接一排电池单元 传感器网络。
    • 5. 发明申请
    • SUB-MILLINEWTON CAPACITIVE MEMS FORCE SENSOR FOR MECHANICAL TESTING ON A MICROSCOPE
    • 用于MICROSCOPE机械测试的SUB-MILLINEWTON电容式MEMS力传感器
    • WO2013050252A1
    • 2013-04-11
    • PCT/EP2012/068539
    • 2012-09-20
    • FEMTOTOOLS AG
    • BEYELER, FelixMUNTWYLER, SimonDIETZE, Wolfgang
    • G01L5/00G01L5/16
    • G01L1/148G01L5/0057G01L5/165
    • Most mechanical tests (compression testing, tensile testing, flexure testing, shear testing) of samples in the sub-mm size scale are performed under the observation with an optical microscope or a scanning electron microscope. However, the following problems exist with prior art force sensors as e.g they cannot be used for in-plane mechanical testing (a- and b-direction) of a sample; they cannot be used for vertical testing (c-direction) of a sample. In order to overcome the before mentioned drawbacks the invention comprises the following basic working principle: A force is applied to the probe (2) at the probe tip (1) of the sensor. The force is transmitted by the sensor probe (2) to the movable body (3) of the sensor. The movable body is elastically suspended by four folded flexures (4), which transduce the force into a deflection dx . This deflection is measured by an array of capacitor electrodes, called capacitive comb drive (6).
    • 在使用光学显微镜或扫描电子显微镜的观察下进行大小尺寸刻度的样品的大多数机械试验(压缩试验,拉伸试验,挠曲试验,剪切试验)。 然而,现有技术的力传感器存在以下问题,例如它们不能用于样品的面内机械测试(a-和b-方向); 它们不能用于样品的垂直测试(c方向)。 为了克服上述缺点,本发明包括以下基本工作原理:在传感器的探针尖端(1)处向探针(2)施加力。 传感器探针(2)将力传递到传感器的可移动体(3)。 可移动体通过四个折叠的挠曲件(4)弹性地悬挂,其将力转换成偏转dx。 该偏转通过称为电容梳驱动器(6)的电容器电极阵列来测量。
    • 10. 发明申请
    • 力覚センサ
    • 力传感器
    • WO2010079660A1
    • 2010-07-15
    • PCT/JP2009/070454
    • 2009-12-07
    • 有限会社レプトリノ佐藤 栄向井 優
    • 佐藤 栄向井 優
    • G01L5/16
    • G01L5/161G01L5/165
    •  複数のベクトル量を検出できるセンサを提供する。 ベース2と、ベース2に対して6自由度を有し、ベース2と対向して配置されたテーブル3と、テーブル3とベース2とを連結する並列配置された6つの連結部と、を備えた力覚センサ1である。前記連結部が、テーブル3の可動を受ける3自由度を有する軸受け6と、軸受け6の可動を受ける2自由度を有する軸受け7と、一端が軸受け6と接続され、他端が軸受け7と接続されたロッド4と、一端が軸受け7と接続され、他端がベース2と固定されたアーム5と、を含んでテーブル3とベース2とを連結しており、アーム5の変位および/または変形を検出する検出素子8を備えている。
    • 提供能够检测多个矢量的传感器。 力传感器(1)设置有基部(2),相对于基部(2)具有六个自由度的台面(3)并且设置成面向基部(2),并且设置六个联接部件 平行地连接工作台(3)和底座(2)。 联接部件包括具有三个自由度并经受工作台(3)的运动的轴承(6),具有两个自由度并受到轴承(6)的运动的轴承(7),一个杆 (4),其一端连接到轴承(6),另一端连接到轴承(7),以及一臂(5),其一端连接到轴承(7)上, 其另一端固定到基座(2)上,联接部分将工作台(3)与基座(2)相连接,并设置有用于检测臂的位移和/或变形的检测元件(8) 5)。