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    • 2. 发明申请
    • 차압센서
    • 差压传感器
    • WO2016047815A1
    • 2016-03-31
    • PCT/KR2014/008782
    • 2014-09-22
    • (주)코멧네트워크
    • 김상주김민수김정민이상빈박환
    • G01L13/06G01L19/06F01N11/00
    • F01N11/00G01L13/06G01L19/06Y02T10/47
    • 본 발명은 차압센서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 차압센서는 몸체와 커버를 포함하며, 그 내부에 서로 분리된 제1챔버, 제2챔버 및 제3챔버를 구비하는 하우징과, 상기 제1챔버와 연통된 제1압력채널 및 상기 제2챔버와 연통되며, 상기 제1압력채널에 유입되는 가스에 비해서 압력이 높은 가스가 유입되는 제2압력채널과, 상기 제2챔버 및 제3챔버와 면하는 제1면과 그 제1면과 나란하며 상기 제1챔버와 면하는 제2면을 구비하며, 상기 제1면 중 상기 제3챔버와 면하는 부분에 전자부품이 설치되고, 단자가 형성된 기판과, 상기 기판의 제2면에 설치되어, 상기 제1챔버의 내부에 배치되며, 상기 제1챔버와 제2챔버의 압력 차이에 따른 전기신호를 발생시키는 센서소자와, 상기 하우징에 설치되고, 그 일단이 상기 제3챔버 내부로 연장되며, 상기 센서소자의 전기신호를 외부 장치에 전달하도록 구성된 리드 프레임과, 상기 센서소자의 전기신호를 상기 리드 프레임에 전달하기 위해, 상기 기판의 단자와 상기 리드 프레임을 제3챔버 내에서 연결하는 도선과, 상기 몸체와 커버가 접하는 영역에 배치되어, 상기 제2챔버와 제3챔버를 외부에 대해서 밀봉하는 제1밀봉부와, 상기 기판과 상기 몸체가 접하는 영역에 배치되어, 상기 제1챔버를 상기 제2챔버에 대해서 밀봉하는 제2밀봉부와, 상기 제3챔버를 상기 제2챔버에 대해서 밀봉하는 제3밀봉부를 포함한다.
    • 差压传感器技术领域本发明涉及差压传感器。 根据本发明的差压传感器包括:壳体,包括主体和盖,并且具有在其中彼此分离的第一室,第二室和第三室; 与第一室连通的第一压力通道和与第二室连通的第二压力通道,通过该第二压力通道引入具有比通过第一压力通道引入的气体更高的压力的气体; 基板,其具有面向第二和第三室的第一表面和平行于第一表面并面向第一室的第二表面,在面向第三室的第一表面的一部分处设置有电子部件,并具有端子; 设置在所述基板的所述第二表面上的传感器元件,布置在所述第一室内,并且根据所述第一室和所述第二室之间的压力差产生电信号; 引线框架,设置在所述壳体中,其一端延伸到所述第三室的内部,并且被配置为将所述传感器元件的电信号传递到外部设备; 用于将基板的端子和第三室内的引线框架连接以将传感器元件的电信号传递到引线框架的引线; 第一密封部,其布置在主体和盖接触的区域中,并且将第二和第三腔从外部密封; 第二密封部,其布置在所述基板和所述主体接触并将所述第一室与所述第二室密封的区域中; 以及用于将第三室与第二室密封的第三密封部。
    • 4. 发明申请
    • FORCE SENSOR WITH GAP-CONTROLLED OVER-FORCE PROTECTION
    • 具有GAP控制的过度保护的力传感器
    • WO2015065639A1
    • 2015-05-07
    • PCT/US2014/058584
    • 2014-10-01
    • HONEYWELL INTERNATIONAL INC.
    • WADE, Richard A.COOK, James D.
    • G01L1/16G01L1/18G01L19/06
    • G01L1/18G01L1/16G01L19/06G01L19/0618
    • Apparatus and associated methods relate to a force sensor having flip-chip mounted force-sensing die having a force-sensing element fabricated on an unflipped top surface and an unflipped back surface being thinned so as to create a flexible diaphragm responsive to an externally applied force, wherein, when the force-sensing die is flipped and mounted, a predetermined space remains between the top surface of the force-sensing die and the mounting substrate it faces, the substrate presenting a deflection limitation for the deformation of the flexible membrane during a force event. In an illustrative embodiment, the force sensor may have a mechanical stop to precisely establish a predetermined deflection limitation. In some embodiments, the predetermined deflection limitation may advantageously limit the deflection of the flexible membrane so as not to deflect beyond a breaking point.
    • 装置和相关方法涉及具有倒装芯片安装的力感测模具的力传感器,该力传感模具具有制造在未翘曲的顶表面上的力感测元件,并且将未起飞的后表面减薄以响应外部施加的力产生柔性隔膜 其特征在于,当所述力感测管芯被翻转和安装时,在所述力感测管芯的顶表面与其面向的安装衬底之间留有预定的空间,所述衬底在柔性膜的变形期间具有偏转限制, 强制事件 在说明性实施例中,力传感器可以具有机械停止以精确地建立预定的偏转限制。 在一些实施例中,预定的偏转限制可以有利地限制柔性膜的挠曲,以便不偏转超过断裂点。
    • 9. 发明申请
    • PRESSURE SENSOR WITH A COMPRESSIBLE INSERT TO PREVENT DAMAGE FROM FREEZING
    • 压力传感器具有可压缩插件,可防止冷冻损坏
    • WO98031997A1
    • 1998-07-23
    • PCT/US1998/001103
    • 1998-01-21
    • G01L9/00G01L19/06G01L19/00
    • G01L19/06
    • A pressure sensor is provided with a compressible insert that is disposed within an internal opening of a potentially frangible component, such as a tubular glass member. If a condensate forms within the internal opening of the tubular glass member, freezing of the condensate can cause it to expand and damage the glass member. The compressible insert absorbs the expansion of the liquid condensate by compressing, and prevents the expanding condensate from cracking the tubular glass member. The compressible insert, in a particularly preferred embodiment of this invention, has an opening extending therethrough to facilitate the transmission of pressure throughout the aligned openings of the pressure sensor. In one particular embodiment, a silicone die is etched to provide a cavity and corresponding diaphragm portion on which piezoresistive elements are disposed. The silicon pressure die is attached, by anodic bonding, to the tubular glass member and the tubular glass member is, in turn, attached to a tubular support member. The tubular support member can be attached to a metallic conduit structure to facilitate connection of the pressure sensor to a tube or hose.
    • 压力传感器设置有可压缩插入件,该可压缩插入件设置在诸如管状玻璃构件的潜在易碎部件的内部开口内。 如果在管状玻璃构件的内部开口内形成冷凝物,则冷凝物的冷凝可导致其膨胀并损坏玻璃构件。 可压缩插入物通过压缩吸收液体冷凝物的膨胀,并防止膨胀的冷凝物破裂管状玻璃构件。 在本发明的一个特别优选的实施例中,可压缩插入件具有穿过其中延伸的开口,以便于在压力传感器的整个对准开口处传递压力。 在一个具体实施例中,蚀刻硅树脂管芯以提供其上设置有压阻元件的空腔和相应的隔膜部分。 硅压力模具通过阳极接合附接到管状玻璃构件,并且管状玻璃构件又连接到管状支撑构件。 管状支撑构件可以附接到金属导管结构以便于将压力传感器连接到管或软管。
    • 10. 发明申请
    • 圧力センサ
    • 压力传感器
    • WO2018037753A1
    • 2018-03-01
    • PCT/JP2017/025588
    • 2017-07-13
    • 株式会社デンソー
    • 金澤 武大野 和幸川野 晋司
    • G01L9/00
    • G01L9/0048G01L9/0054G01L19/06
    • 圧力センサ(1)は、受圧凹部(213)と保護膜(230)とを有している。受圧凹部は、厚さ方向に沿った検出方向に向かって開口することで検出空間を構成する凹部である。受圧凹部は、面内方向と平行な平面であって外縁部が面内方向についてダイアフラム(218)の外側に設けられた底面(214)と、底面の外縁部から検出方向に向かって突設された側壁面(215)とを有している。底面と側壁面とを被覆する保護膜は、受圧凹部における底面と側壁面との接続部である入隅部(216)に形成された隅肉部(232)を有している。隅肉部は、面内方向についてダイアフラムの外側に設けられている。
    • 压力传感器(1)具有压力接收凹部(213)和保护膜(230)。 受压凹部是通过朝向厚度方向的检测方向开口而构成检测空间的凹部。 容纳凹部包括设置在隔膜(218)的外边缘平行于有关的平面方向(214)平面的平面方向的外侧的底面,从该底面的外边缘朝向所述检测方向突出 和侧壁表面(215)。 覆盖底表面和侧壁表面保护膜具有形成在其内拐角部分是所述底表面和所述压力接收凹部的侧壁面(216)和(232)之间的连接部的圆角。 圆角部分设置在膜片的面内方向外侧。