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1. 发明申请

WO2010088166A2 THERMO-OPTIC INFRARED PIXEL AND FOCAL PLANE ARRAY 审中-公开
标题翻译：热光红外像素和焦平面阵列
公开(公告)号：WO2010088166A2
公开(公告)日：2010-08-05
申请号：PCT/US2010/021916
申请日：2010-01-25
申请人： MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY , HU, Juejun , FENG, Ning-Ning , AGARWAL, Anuradha , KIMERLING, Lionel, C.
发明人： HU, Juejun , FENG, Ning-Ning , AGARWAL, Anuradha , KIMERLING, Lionel, C.
IPC分类号： H01L31/101
CPC分类号： G01J5/02 , G01J5/024 , G01J5/08 , G01J5/0803 , G01J5/0853 , G01J5/40 , G01J5/58 , G01N21/553 , Y10T29/49002
摘要： A surface plasmon polariton (SPP) pixel structure is provided. The SPP pixel structure includes a coupling structure that couples the probing light into the SPP mode by matching the in-plane wave vector by changing the refractive index of the coupling structure using thermo-optic effects to vary the coupling strength of the probing light into the SPP mode. An absorber layer is positioned on the coupling structure for absorbing incident infrared/thermal radiation being detected.
摘要翻译：提供表面等离子体激元（SPP）像素结构。 SPP像素结构包括耦合结构，其通过使用热光效应改变耦合结构的折射率来匹配面内波矢量来将探测光耦合到SPP模式中，以将探测光的耦合强度改变为 SPP模式。吸收层位于耦合结构上，用于吸收检测到的入射红外/热辐射。

2. 发明申请

WO2007143464A3 MICROMECHANICAL THERMAL SENSOR 审中-公开
标题翻译：微电子传感器
公开(公告)号：WO2007143464A3
公开(公告)日：2008-12-04
申请号：PCT/US2007069939
申请日：2007-05-30
申请人： HONEYWELL INT INC , WOOD ROLAND A , COX JAMES A , HIGASHI ROBERT E , NUSSEIBEH FOUAD A
发明人： WOOD ROLAND A , COX JAMES A , HIGASHI ROBERT E , NUSSEIBEH FOUAD A
IPC分类号： G01J3/42
CPC分类号： G01J5/12 , G01J3/42 , G01J3/4532 , G01J5/02 , G01J5/023 , G01J5/08 , G01J5/0837 , G01J5/40 , G01J2005/0077
摘要： A radiation sensor (200) that can operate in the THz regime comprising: a micro antenna (206), which may comprise a two-dimensional patterned thin-film metallizations on a thin dielectric pellicle fabricated by micro machining. of a silicon wafer; a thermally isolated microstructure (215); a coupling mechanism for coupling the energy from the micro antenna to the microstructure, the coupling mechanism providing high thermal isolation between the micro antenna and the microstructure; a temperature signal detector on the microstructure; and signal processing electronics for receiving the temperature signal and processing it into useful data.
摘要翻译：一种能够以太赫兹状态工作的辐射传感器（200），包括：微天线（206），其可以包括通过微加工制造的薄介电薄膜上的二维图案化薄膜金属化。的硅晶片; 热分离微结构（215）; 用于将来自微天线的能量耦合到微结构的耦合机构，所述耦合机构在微天线和微结构之间提供高热隔离; 微结构的温度信号检测器; 以及用于接收温度信号并将其处理成有用数据的信号处理电子装置。

3. 发明申请

WO2007137995B1 A THERMAL DETECTOR 审中-公开
标题翻译：一个热探测器
公开(公告)号：WO2007137995B1
公开(公告)日：2008-03-20
申请号：PCT/EP2007055068
申请日：2007-05-24
申请人： UNIV LIEGE , FLEURY-FRENETTE KARL , HABRAKEN SERGE , RENOTTE YVON , HASTANIN JURIY
发明人： FLEURY-FRENETTE KARL , HABRAKEN SERGE , RENOTTE YVON , HASTANIN JURIY
IPC分类号： G01J5/58 , G01J5/40
CPC分类号： G01J5/58 , G01J5/40
摘要： A first object of the invention is a radiation detector comprising an energy absorber (203), for absorbing incident radiation (RAD) and thus undergoing a temperature increase; and optical readout means, for detecting said temperature increase; wherein said optical readout means comprises input coupling means (202) for coupling a light beam (2011) to said energy absorber (203) by exciting surface plasmons resonance, a surface plasmons resonance condition being dependent on the energy absorber (203) temperature, and wherein said energy absorber (203) is separated from said input coupling means (202) by a dielectric layer (2032). A second object of the invention is a micromechanical sensor comprising: a micromechanical oscillator and optical readout means (202) for detecting a displacement of said micromechanical oscillator; wherein said optical readout means comprise input coupling means (202) for coupling a light beam (2011) to a conductive surface (2031) by exciting surface plasmons resonance, a surface plasmons resonance condition being dependent on the displacement of said micromechanical oscillator.
摘要翻译：本发明的第一个目的是一种辐射探测器，其包括用于吸收入射辐射（RAD）并因此经历温度增加的能量吸收器（203）和光学读出装置，用于检测所述温度升高; 其中所述光学读出装置包括用于通过激励表面等离子体激元共振（表面等离子体激元共振条件取决于能量吸收器（203）温度）将光束（2011）耦合到所述能量吸收器（203）的输入耦合装置（202）其中所述能量吸收器（203）通过介电层（2032）与所述输入耦合装置（202）分离。本发明的第二个目的是一种微机械传感器，包括：微机械振荡器和光学读出装置（202），用于检测所述微机械振荡器的位移; 其中所述光学读出装置包括用于通过激励表面等离子体激元共振而将光束（2011）耦合到导电表面（2031）的输入耦合装置（202），表面等离子体激元共振条件取决于所述微机械振荡器的位移。

4. 发明申请

WO2007143464A2 MICROMECHANICAL THERMAL SENSOR 审中-公开
标题翻译：微电子传感器
公开(公告)号：WO2007143464A2
公开(公告)日：2007-12-13
申请号：PCT/US2007/069939
申请日：2007-05-30
申请人： HONEYWELL INTERNATIONAL INC. , WOOD, Roland A. , COX, James A. , HIGASHI, Robert E. , NUSSEIBEH, Fouad A.
发明人： WOOD, Roland A. , COX, James A. , HIGASHI, Robert E. , NUSSEIBEH, Fouad A.
CPC分类号： G01J5/12 , G01J3/42 , G01J3/4532 , G01J5/02 , G01J5/023 , G01J5/08 , G01J5/0837 , G01J5/40 , G01J2005/0077
摘要： A radiation sensor that can operate in the THz regime comprising: a micro antenna, which may comprise a two-dimensional patterned thin-film metallizations on a thin dielectric pellicle fabricated by micro machining of a silicon wafer; a thermally isolated microstructure; a coupling mechanism for coupling the energy from the micro antenna to the microstructure, the coupling mechanism providing high thermal isolation between the micro antenna and the microstructure; a temperature signal detector on the microstructure; and signal processing electronics for receiving the temperature signal and processing it into useful data.
摘要翻译：一种能够以太赫兹方式操作的辐射传感器，包括：微天线，其可以包括通过硅晶片的微加工制造的薄介电薄膜上的二维图案化薄膜金属化; 热隔离微结构; 用于将来自微天线的能量耦合到微结构的耦合机构，所述耦合机构在微天线和微结构之间提供高热隔离; 微结构的温度信号检测器; 以及用于接收温度信号并将其处理成有用数据的信号处理电子装置。

5. 发明申请

WO02021086A1 THERMAL DISPLACEMENT ELEMENT AND RADIATION DETECTOR USING THE ELEMENT 审中-公开
标题翻译：热位移元件和辐射探测器使用元件
公开(公告)号：WO02021086A1
公开(公告)日：2002-03-14
申请号：PCT/JP2001/007608
申请日：2001-09-03
IPC分类号： G01J1/02 , B81B3/00 , G01J5/40 , G01J5/48 , H01L27/148
CPC分类号： B81B3/0081 , B81B2201/0278 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , G01J5/40 , H01L27/14812 , H01L27/14818 , H01L27/14875
摘要： A thermal displacement element, comprising a base and a supported part supported on the base, the supported part further comprising first and second displacement parts, a thermal separation part with high thermal resistance, and a radiation absorbing part receiving a radiation and converting the radiation into a heat, the first and second displacement parts each further comprising at least two layers of different types of substances with different coefficients of expansion overlapped with each other, wherein the first displacement part is mechanically continued to the base without passing the thermal separation part, the radiation absorbing part and the second displacement part is mechanically continued to the base through the thermal separation part and the first displacement part, the second displacement part is thermally connected to the radiation absorbing part, and a thermal radiation detector comprises the thermal displacement element and a displacement reading member fixed to the second displacement part of the thermal displacement element and used to obtain a specified variation produced in the second displacement part.
摘要翻译：一种热位移元件，包括基座和支撑在基座上的支撑部分，所述被支撑部分还包括第一和第二位移部分，具有高热阻的热分离部分，以及接收辐射并将辐射转换成辐射的辐射吸收部分第一和第二位移部分每个还包括至少两层具有不同膨胀系数的不同类型的物质彼此重叠，其中第一位移部分机械地连续到基部而不通过热分离部分，辐射吸收部分和第二位移部分通过热分离部分和第一位移部分机械地连接到基部，第二位移部分热连接到辐射吸收部分，并且热辐射检测器包括热位移元件和位移读取构件固定到 e是热位移元件的第二位移部分，并用于获得在第二位移部分中产生的特定变化。

6. 发明申请

WO01020346A2 APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING ELECTROMAGNETIC RADIATION USING ELECTRON PHOTOEMISSION IN A MICROMECHANICAL SENSOR 审中-公开
标题翻译：微机电传感器中利用电子光度法检测电磁辐射的装置和方法
公开(公告)号：WO01020346A2
公开(公告)日：2001-03-22
申请号：PCT/US2000/025406
申请日：2000-09-15
IPC分类号： G01J5/40 , H04N5/33 , G01R
CPC分类号： G01J5/40 , H04N5/33
摘要： A micromechanical sensor and method for detecting electromagnetic radiation involve producing photoelectrons from a metal surface in contact with a semiconductor. The photoelectrons are extracted into the semiconductor, which causes photo-induced bending. The resulting bending is measured, and a signal corresponding to the measured bending is generated and processed. A plurality of individual micromechanical sensors can be arranged in a two-dimensional matrix for imaging applications.
摘要翻译：本发明涉及一种微机械传感器和检测涉及从与半导体接触的金属表面产生光电子的电磁辐射的方法。这些光电子到达半导体引起光致弯曲效应。测量得到的弯曲，并产生和处理与该测量相对应的信号。几个单独的微机械传感器可以以用于成像应用的二维阵列布置来布置。

7. 发明申请

WO2015200796A1 APPARATUS AND METHOD FOR ELECTROMAGNETIC RADIATION SENSING 审中-公开
标题翻译：电磁辐射感测装置及方法
公开(公告)号：WO2015200796A1
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：PCT/US2015/037981
申请日：2015-06-26
申请人： MP HIGH TECH SOLUTIONS PTY LTD , BEN, Lyon
发明人： STEFFANSON, Marek , BONE, Donald James
IPC分类号： G01J5/08
CPC分类号： G01J5/10 , G01J5/0803 , G01J5/0806 , G01J5/0831 , G01J5/0896 , G01J5/40 , G01J2005/0077 , G02B26/085
摘要： Systems, methods, and apparatus for providing electromagnetic radiation sensing. The apparatus includes a radiation detection sensor including a plurality of micromechanical radiation sensing pixels having a reflecting top surface and configured to deflect light incident on the reflective surface as a function of an intensity of sensed radiation. In some implementations, the apparatus has equal sensitivities for at least some of the sensing pixels. In some implementations, the apparatus can provide adjustable sensitivity and measurement range. The apparatus can be utilized for human detection, fire detection, gas detection, temperature measurements, environmental monitoring, energy saving, behavior analysis, surveillance, information gathering and for human-machine interfaces.
摘要翻译：用于提供电磁辐射感测的系统，方法和装置。该装置包括辐射检测传感器，其包括多个具有反射顶表面的微机械辐射感测像素，并且被配置为根据感测辐射的强度偏转入射在反射表面上的光。在一些实现中，该装置对于至少一些感测像素具有相同的灵敏度。在一些实施方案中，该装置可以提供可调的灵敏度和测量范围。该装置可用于人体检测，火灾探测，气体检测，温度测量，环境监测，节能，行为分析，监视，信息收集和人机界面。

8. 发明申请

WO2007137995A2 A SENSOR BASED ON SURFACE PLASMON RESONANCE 审中-公开
标题翻译：基于表面等离子体共振的传感器
公开(公告)号：WO2007137995A2
公开(公告)日：2007-12-06
申请号：PCT/EP2007/055068
申请日：2007-05-24
申请人： UNIVERSITE DE LIEGE , FLEURY-FRENETTE, Karl , HABRAKEN, Serge , RENOTTE, Yvon , HASTANIN, Juriy
发明人： FLEURY-FRENETTE, Karl , HABRAKEN, Serge , RENOTTE, Yvon , HASTANIN, Juriy
IPC分类号： G01J5/58 , G01J5/40
CPC分类号： G01J5/58 , G01J5/40
摘要： A first object of the invention is a radiation detector comprising an energy absorber (203), for absorbing incident radiation (RAD) and thus undergoing a temperature increase; and optical readout means, for detecting said temperature increase; wherein said optical readout means comprises input coupling means (202) for coupling a light beam (2011) to said energy absorber (203) by exciting surface plasmons resonance, a surface plasmons resonance condition being dependent on the energy absorber (203) temperature, and wherein said energy absorber (203) is separated from said input coupling means (202) by a dielectric layer (2032). A second object of the invention is a micromechanical sensor comprising: a micromechanical oscillator and optical readout means (202) for detecting a displacement of said micromechanical oscillator; wherein said optical readout means comprise input coupling means (202) for coupling a light beam (2011) to a conductive surface (2031) by exciting surface plasmons resonance, a surface plasmons resonance condition being dependent on the displacement of said micromechanical oscillator.
摘要翻译：本发明的第一个目的是一种辐射检测器，其包括用于吸收入射辐射（RAD）并因此经历升温的能量吸收器（203）; 以及用于检测所述温度升高的光学读出装置; 其中所述光学读出装置包括通过激发表面等离子体共振，依赖于能量吸收器（203）温度的表面等离子体共振条件将光束（2011）耦合到所述能量吸收器（203）的输入耦合装置（202）其中所述能量吸收器（203）通过电介质层（2032）与所述输入耦合装置（202）分离。本发明的第二个目的是一种微机械传感器，包括：微机械振荡器和用于检测所述微机械振荡器位移的光学读出装置（202）; 其中所述光读出装置包括用于通过激发表面等离子体共振将光束（2011）耦合到导电表面（2031）的输入耦合装置（202），表面等离子体共振条件取决于所述微机械振荡器的位移。

9. 发明申请

WO2007098134A1 THERMO-OPTIC SYSTEM EMPLOYING SELF REFERENCE 审中-公开
标题翻译：使用自动参考的热电子系统
公开(公告)号：WO2007098134A1
公开(公告)日：2007-08-30
申请号：PCT/US2007/004323
申请日：2007-02-21
申请人： REDSHIFT SYSTEMS CORPORATION , WAGNER, Matthias , RADL, Bruce M. , HORWITZ, Bruce A.
发明人： WAGNER, Matthias , RADL, Bruce M. , HORWITZ, Bruce A.
IPC分类号： H04N5/217 , H04N5/33
CPC分类号： H04N5/33 , G01J5/00 , G01J5/40 , G01J5/54 , G01J2005/0048 , G01J2005/0077 , G01J2005/583 , H04N5/3655
摘要： A thermo-optic system, which may be used for example in thermal imaging, includes an array of optical elements each having a thermally responsive optical property, the optical elements including signal elements and reference elements configured to provide (1) a common-mode response of the optical property to ambient temperature and (2) a differential-mode response of the optical property to a thermal signal appearing across the array of optical elements. The system also includes an optical readout subsystem configured to (1) illuminate the array of optical elements with optical energy at a readout wavelength corresponding to the optical property so as to generate a composite optical signal having common-mode and differential-mode signal components corresponding to the common-mode and differential-mode responses respectively of the signal and reference elements, and (2) filter the composite optical signal to generate a filtered optical signal being substantially the differential-mode image component.
摘要翻译：可以用于例如热成像的热光学系统包括各自具有热响应光学特性的光学元件阵列，所述光学元件包括信号元件和参考元件，其被配置为提供（1）共模响应的光学特性与（2）光学特性对出现在光学元件阵列上的热信号的差分模式响应。该系统还包括光学读出子系统，其配置为（1）以对应于光学特性的读出波长的光能照射光学元件阵列，以便产生具有对应于共模和差模信号分量的复合光信号分别耦合到信号和参考元件的共模和差分模式响应，以及（2）对复合光信号进行滤波以产生基本上是差分模式图像分量的滤波光信号。

10. 发明申请

WO2006072237A1 MIKROSYSTEMTECHNISCHES BAUELEMENT MIT EINER UNTER DEM EINFLUSS VON TEMPERATURÄNDERUNGEN VERFORMBAREN EINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：技术成分MICROSYSTEMS WITH A在温度的影响下改变可变形DEVICE
公开(公告)号：WO2006072237A1
公开(公告)日：2006-07-13
申请号：PCT/DE2006/000016
申请日：2006-01-04
申请人： UNIVERSITÄT KASSEL , RANGELOW, Ivo , IVANOV, Tzvetan , IVANOVA, Katerina
发明人： RANGELOW, Ivo , IVANOV, Tzvetan , IVANOVA, Katerina
IPC分类号： G01J5/40
CPC分类号： G01J5/40 , B81B3/0018 , B81B2201/0278 , G01J5/44
摘要： Es wird ein mikrosystemtechnisches Bauelement mit einer unter dem Einfluss von Temperaturänderungen verformbaren Einrichtung (3) beschrieben. Die Einrichtung weist wenigstens je ein erstes (4, 5) und zweites (8) Element mit unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten und unterschiedlichen Wärmeleitfähigkeiten auf. Die Elemente (4, 5; 8) sind räumlich voneinander getrennt und so angeordnet und miteinander verbunden, dass die Einrichtung (3) von der Temperatur abhängige Biegezustände einnimmt.
摘要翻译：我们将描述具有温度变化装置（3）的作用下可变形的微系统部件。该装置包括至少一个相应的第一（4，5）和第二（8），其具有的热膨胀和不同热导率的系数不同的元件。元件（4,5; 8）在空间上彼此分离并布置并结合在一起，使得所述装置（3）的依赖于温度的弯曲状态的占据。

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