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    • 1. 发明申请
    • SENSORANORDNUNG ZUR MESSUNG VON PARAMETERN IN SCHMELZEN
    • 传感器用于测量熔化参数
    • WO2012113498A1
    • 2012-08-30
    • PCT/EP2012/000303
    • 2012-01-24
    • HERAEUS ELECTRO-NITE INTERNATIONAL N.V.CUYPERS, JanINDEHERBERGE, Valère
    • CUYPERS, JanINDEHERBERGE, Valère
    • G01J5/04B22D2/00
    • G01K13/00B22D2/006G01J5/004G01J5/0255G01J5/042G01J5/0818G01J5/0821G01J5/0887
    • Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung zur Messung von Parametern in Schmelzen, insbesondere zur Messung der Temperatur, insbesondere in Metall- oder Kryolithschmelzen mit einem Schmelzpunkt oberhalb 500°C, mit einem Oberteil und einem an dem Oberteil lösbar angeordneten Unterteil. Sie ist dadurch gekennzeichnet, dass an einem dem Oberteil abgewandten Eintauchende des Unterteils ein koaxial zu einer Längsachse des Unterteils verlaufendes Rohr angeordnet ist, das an seinem dem Oberteil abgewandten Ende geschlossen und an dem anderen Ende offen ist, dass in dem Oberteil ein koaxial zu einer Längsachse des Oberteils verlaufendes, beidseitig offenes Führungsrohr in einer Führungshülse beweglich angeordnet ist, dass das Führungsrohr mittels eines elastischen Körpers mit einem in Richtung des Unterteils wirkenden Drucks beaufschlagt ist und an dem Unterteil anliegt und dass eine Öffnung des Führungsrohrs und das offene Ende des Rohrs des Unterteils zueinander benachbart koaxial zur Längsachse des Unterteils angeordnet sind.
    • 本发明涉及一种用于在熔体测量参数,特别是用于在金属或具有高于500℃的熔点冰晶石熔体测量温度,特别地,具有顶部部分和可拆卸地布置在下部的顶部上的传感器布置。 它的特征在于,延伸的管配置在从下部的浸入端同轴地与下部件的纵向轴线的上部远端的一侧在其端部从顶端封闭远端和在另一端打开,即在其上部同轴地一个 延伸的上部分的纵向轴线,开放的两侧导向管被可移动地布置在导向套,该导向管是在由弹性体作用具有在所述基础压力的方向的作用,并抵靠下部和所述导向管的开口和的所述管的开口端 彼此相邻的下部同轴地布置到所述基部的纵向轴线。
    • 5. 发明申请
    • TEMPERATURE MEASUREMENT SYSTEM
    • 温度测量系统
    • WO00058701A1
    • 2000-10-05
    • PCT/JP2000/002005
    • 2000-03-30
    • G01J5/02G01J5/08
    • G01J5/0003G01J5/0007G01J5/04G01J5/046G01J5/08G01J5/0818G01J5/0862G01J5/0875G01J5/0887
    • A simplified system is provided in which the temperature of an object to be processed, such as a wafer, is measured by a noncontact thermometer while removing the effects of stray light from a heating lamp. A window material (6) of a chamber (2) is made of fused silica containing hydroxyl groups. The fused silica containing hydroxyl groups is capable of strongly absorbing light in a wavelength range near 2700 nm. A photodetector element (18) and an optical filter (19) on a photodetector (16) are properly selected so that the photodetector (16) may detect only the light at wavelength near 2700 nm, resulting in the elimination of the effects of stray light from the lamp. Since the window material (6) itself functions as a filter, no other filters are required between the lamp (22) and the object to be heated.
    • 提供了一种简化的系统,其中待处理物体(例如晶片)的温度由非接触式温度计测量,同时消除来自加热灯的杂散光的影响。 室(2)的窗口材料(6)由含有羟基的熔融二氧化硅制成。 含有羟基的熔融二氧化硅能够强烈吸收波长在2700nm附近的光。 适当地选择光电检测器(16)上的光电检测器元件(18)和滤光器(19),使得光电检测器(16)可以仅检测波长在2700nm附近的光,从而消除杂散光的影响 从灯。 由于窗口材料(6)本身用作过滤器,所以在灯(22)和待加热物体之间不需要其它过滤器。
    • 6. 发明申请
    • NON-CONTACT TEMPERATURE MEASUREMENT IN MOLTEN METAL APPLICATIONS
    • 非接触式温度测量在金属应用中的应用
    • WO2015069977A1
    • 2015-05-14
    • PCT/US2014/064478
    • 2014-11-07
    • CCPI INC.
    • HALLUM, Gary W.
    • G01J5/00G01J5/04G01J5/08
    • G01J5/0875B22D41/00F27D21/0014G01J5/004G01J5/046G01J5/048G01J5/08G01J5/0818G01J5/0887G01K13/02G01K2013/026
    • A device (100) to measure a temperature of molten metal may include an infrared sensor (102) effective to measure the temperature of the molten metal, a sheath (104) having an open end (110), a sealed end (108), and a channel (112) extending from the open end to the sealed end, and an infrared-transparent window (114) disposed between the infrared sensor and the channel of the sheath. The open end of the sheath is disposed near the infrared sensor and the sealed end of the sheath extends into the molten metal. The infrared- transparent window or rod is disposed between the infrared sensor and the channel of the sheath such that the infrared sensor can measure the temperature through the infrared-transparent window or rod, the channel, and the sealed end. The infrared-transparent window or rod seals the infrared sensor from the channel in the sheath.
    • 用于测量熔融金属的温度的装置(100)可以包括有效测量熔融金属的温度的红外传感器(102),具有开口端(110)的护套(104),密封端(108), 以及从所述开口端延伸到所述密封端的通道(112)以及设置在所述红外线传感器与所述护套的通道之间的红外线透明窗口(114)。 护套的开口端设置在红外传感器附近,护套的密封端延伸到熔融金属中。 红外线透明窗或杆设置在红外传感器和护套的通道之间,使得红外传感器可以通过红外透明窗或杆,通道和密封端测量温度。 红外透明窗或杆将红外传感器与护套中的通道密封。
    • 9. 发明申请
    • TEMPERATURE MEASURING SYSTEM
    • 温度测量系统
    • WO00058700A1
    • 2000-10-05
    • PCT/JP2000/002004
    • 2000-03-30
    • G01J5/02G01J5/06
    • G01J5/0003G01J5/0007G01J5/04G01J5/046G01J5/08G01J5/0818G01J5/0862G01J5/0875G01J5/0887G01J2005/0048
    • The temperature of an object to be processed such as a wafer is measured with a radiation thermometer without being influenced by stray light from a heating lamp. The relationship between the electric power W fed from an output control unit (28) to a lamp (22) and the light energy radiated from the lamp (22) is used. The influence of the light radiated from the lamp (22) on the output voltage of a photodiode (18) is experimentally determined as a function of the power W and stored in an arithmetic unit (26). The arithmetic unit (26) subtracts the value corresponding to the influence of the stray light on the output voltage from the output voltage on the basis of the power W to determine the temperature of a susceptor (8).
    • 用辐射温度计测量被处理物体如晶片的温度,而不受来自加热灯的杂散光的影响。 使用从输出控制单元(28)馈送到灯(22)的电力W与从灯(22)辐射的光能之间的关系。 由光(22)辐射的光对光电二极管(18)的输出电压的影响被实验地确定为功率W的函数并存储在运算单元(26)中。 运算单元(26)基于功率W从输出电压中减去与杂散光对输出电压的影响相对应的值,以确定感受体(8)的温度。