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1. 发明申请

WO2009003002A1 MICROFLUIDIC DEVICE AND MICROTUBE THEREFOR 审中-公开
标题翻译：微流控器件及其MICROTUBE
公开(公告)号：WO2009003002A1
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：PCT/US2008/068113
申请日：2008-06-25
申请人： INTEGRATED SENSING SYSTEMS, INC. , SPARKS, Douglas Ray , RILEY, Diane , NAJAFI, Nader
发明人： SPARKS, Douglas Ray , RILEY, Diane , NAJAFI, Nader
IPC分类号： G01F1/84 , G01F1/76 , G01N27/06
CPC分类号： G01F1/8472 , G01F1/8445
摘要： A microfluidic device for assessing properties of a fluid. The device utilizes a microtube (10) capable of different vibration modes for promoting certain performance and/or structural aspects of the device. The microtube (10) is supported by a base (12) so as to be spaced apart from a substrate surface (52). The microtube (10) has a peripheral portion (14) surrounding the base (12), arms (16) supporting the peripheral portion (14) from the base (12), and a continuous internal microchannel (18) having at least first and second microchannel portions (18). Each microchannel portion (18) defines a separate flow route, and each flow route originates at the base (12), continues through a portion of the peripheral portion (14), and returns to the base (12). The first and second microchannel portions (18) are fluidically connected to inlet and outlet ports (26, 32), respectively, within the base (12). Vibration of the microtube (10) is induced and sensed by driving and sensing elements (60A-B, 62A-B). Fluid properties are determined from outputs of the sensing elements (62A-B).
摘要翻译：用于评估流体性质的微流体装置。该装置利用能够具有不同振动模式的微管（10）来促进装置的某些性能和/或结构方面。微管（10）由基部（12）支撑，以便与衬底表面（52）间隔开。微管（10）具有围绕基部（12）的周边部分（14），从基部（12）支撑周边部分（14）的臂（16）和连续的内部微通道（18），其具有至少第一和第二微通道部分（18）。每个微通道部分（18）限定单独的流动路径，并且每个流动路线起始于基部（12），继续通过周边部分（14）的一部分，并返回到基部（12）。第一和第二微通道部分18分别在基部（12）内流体连接到入口端口（26,32）。通过驱动和感测元件（60A-B，62A-B）感应和感测微管（10）的振动。流体性质由感测元件（62A-B）的输出确定。

2. 发明申请

WO2006083386A1 FLUID SENSING DEVICE WITH INTEGRATED BYPASS AND PROCESS THEREFOR 审中-公开
标题翻译：具有集成旁路的流体感应装置及其过程
公开(公告)号：WO2006083386A1
公开(公告)日：2006-08-10
申请号：PCT/US2005/043581
申请日：2005-12-01
申请人： INTEGRATED SENSING SYSTEMS, INC. , SPARKS, Douglas, Ray , NAJAFI, Nader
发明人： SPARKS, Douglas, Ray , NAJAFI, Nader
IPC分类号： G01F1/84
CPC分类号： G01F1/8472 , G01F1/8413 , G01F1/8445 , G01N9/002 , G01N2009/006
摘要： A micromachined fluid sensing device and a method for its fabrication. The sensing device incorporates a bypass passage, preferably an integral bypass passage within the device, that enables a volume of fluid to be delivered to the device, with a limited portion of the fluid passing through a passage within the device in which one or more properties of the fluid are sensed, such as but not limited to density, specific gravity, and chemical concentrations. The device is suitable for monitoring the fuel concentration in a fuel mixture for a fuel cell.
摘要翻译：一种微机械流体感测装置及其制造方法。感测装置包括旁路通道，优选地在装置内的整体旁路通道，其能够将体积的流体输送到装置，其中流体的有限部分通过装置内的通道，其中一个或多个特性的液体，例如但不限于密度，比重和化学浓度。该装置适用于监测用于燃料电池的燃料混合物中的燃料浓度。

3. 发明申请

WO2009140340A1 PROCESS OF FABRICATING MICROFLUIDIC DEVICE CHIPS AND CHIPS FORMED THEREBY 审中-公开
标题翻译：制造微流化器件的方法及其形成的CHIP
公开(公告)号：WO2009140340A1
公开(公告)日：2009-11-19
申请号：PCT/US2009/043720
申请日：2009-05-13
申请人： INTEGRATED SENSING SYSTEMS, INC. , SPARKS, Douglas, Ray
发明人： SPARKS, Douglas, Ray
IPC分类号： B81C1/00 , H01L23/12 , H01L21/02
CPC分类号： B81C1/00119 , B01L3/502707 , B81B2201/0214 , B81B2201/0278 , B81B2201/058 , G01F1/8445 , H01L24/94 , H01L2224/48091 , H01L2924/01322 , H01L2924/09701 , H01L2924/10253 , H01L2924/1433 , H01L2924/1461 , H01L2924/16152 , H01L2924/3025 , Y10T137/2191 , Y10T137/2224 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： A process for fabricating multiple microfluidic device chips (50). The process includes fabricating multiple micromachined tubes (52) in a semiconductor device wafer (12). The tubes (52) are fabricated so that each tube (52) has an internal fluidic passage (16) and an inlet and outlet (18) thereto defined in a surface of the device wafer (12). The device wafer (12) is then bonded to a glass wafer (14) to form a device wafer stack (10), and so that through-holes (24) in the glass wafer (14) are individually fluidically coupled with the inlets and outlets (18) of the tubes (52). The glass wafer (14) is then bonded to a metallic wafer (26) to form a package wafer stack, so that through-holes (30) in the metallic wafer (26) are individually fluidically coupled with the through-holes (24) of the glass wafer (14). Multiple microfluidic device chips (50) are then singulated from the package wafer stack. Each device chip (50) has a continuous flow path for a fluid therethrough that is preferably free of organic materials.
摘要翻译：一种用于制造多个微流体装置芯片（50）的方法。该方法包括在半导体器件晶片（12）中制造多个微加工管（52）。管（52）被制造成使得每个管（52）具有内部流体通道（16）以及限定在器件晶片（12）的表面中的入口和出口（18）。然后将器件晶片（12）接合到玻璃晶片（14）以形成器件晶片堆叠（10），并且使得玻璃晶片（14）中的通孔（24）与入口单独地流体耦合，并且管（52）的出口（18）。然后将玻璃晶片（14）接合到金属晶片（26）以形成封装晶片叠层，使得金属晶片（26）中的通孔（30）与通孔（24）分别流体耦合，的玻璃晶片（14）。然后，多个微流体装置芯片（50）从封装晶片叠层分离。每个设备芯片（50）具有用于流过其中的流体的连续流动路径，其优选地不含有机材料。

4. 发明申请

WO2009076287A3 SYSTEM AND METHOD OF ASSESSING A PROPERTY OF A FLOWING FLUID 审中-公开
标题翻译：流动流体性质的评估系统及方法
公开(公告)号：WO2009076287A3
公开(公告)日：2009-08-13
申请号：PCT/US2008085866
申请日：2008-12-08
申请人： INTEGRATED SENSING SYSTEMS INC , SPARKS DOUGLAS RAY , SMITH RICHARD THAYRE , NAJAFI NADER
发明人： SPARKS DOUGLAS RAY , SMITH RICHARD THAYRE , NAJAFI NADER
IPC分类号： G01N33/00 , B81B7/00 , G01D21/02 , G01F17/00 , G01N27/00
CPC分类号： G01F1/8445 , G01N9/002
摘要： A fluid sensing system and method for sensing properties of a flowing fluid. The system and method entail a microfluidic device (10) having a micromachined tube (14) supported above a substrate (12), a tube passage (20) within a freestanding portion (16) of the tube (14), an inlet (36a) and outlet (36b) in fluidic communication with the tube passage (20) and an exterior of the microfluidic device (10), elements (22) for vibrating the freestanding portion (16) of the tube (14), and elements (24) for sensing movement of the freestanding portion (16) of the tube (14) so as to measure the vibration frequency and/or deflection of the freestanding portion (16) and produce therefrom at least one output corresponding to a property of a fluid flowing through the tube passage (20). The system and method further entail placing the microfluidic device (10) in a flowing fluid so that a fraction of the fluid enters the tube passage (20), and processing the output of the device (10) to compute a property of the fluid.
摘要翻译：一种用于感测流动流体的性质的流体感测系统和方法。该系统和方法需要一个微流体装置（10），该微流体装置（10）具有支撑在衬底（12）上方的微加工管（14），管（14）的独立部分（16）内的管通道（20），入口）和出口（36b）与管通道（20）和微流体装置（10）的外部流体连通，用于振动管（14）的独立部分（16）的元件（22）和元件（24 ），用于感测所述管（14）的所述独立部分（16）的运动，以测量所述独立部分（16）的振动频率和/或偏转，并从其产生至少一个对应于流体流动性质的输出通过管道（20）。该系统和方法还需要将微流体装置（10）放置在流动的流体中，使得流体的一部分进入管通道（20），并且处理装置（10）的输出以计算流体的性质。

5. 发明申请

WO0034748A3 CORIOLIS MASS FLOW CONTROLLER 审中-公开
标题翻译： CORIOLIS质量流量控制器
公开(公告)号：WO0034748A3
公开(公告)日：2000-11-16
申请号：PCT/US9929072
申请日：1999-12-07
申请人： EMERSON ELECTRIC CO
发明人： BARGER MICHAEL J , DILLE JOSEPH C , WHITELEY JEFFREY L , SCOTT TIMOTHY W
IPC分类号： G01F1/84 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/8404 , G01F1/8422 , G01F1/8427 , G01F1/8436 , G01F1/8445 , G01F1/8472
摘要： A Coriolis mass flow sensor includes a flow sensor tube, a drive device situated relative to the flow sensor tube so as to cause the flow sensor tube to vibrate, and pick off sensors situated relative to the flow sensor tube so as to measure the twist in the flow sensor tube due to Coriolis force. A capacitive pick off sensor is disclosed that includes at least one conductive plate connectable to a first voltage potential and adapted to be situated adjacent the flow sensor tube which is connected to a second voltage potential. The conductive plate is positioned relative to the flow sensor tube so as to define a gap therebetween. The capacitance between the conductive plate and the flow sensor tube varies due to the relative motion of the conductive plate and the flow sensor tube when the flow sensor tube is vibrated. Electromagnetic, electrostatic, acoustic, and/or piezoelectric drives may be used to vibrate the flow sensor tube. The Coriolis mass flow controller may further include an integrated flow control device adapted to receive fluid from the flow sensor tube and provide flow control.
摘要翻译：科里奥利质量流量传感器包括流量传感器管，相对于流量传感器管定位的驱动装置，以使流量传感器管振动，并且拾取相对于流量传感器管定位的传感器，以测量由于科里奥利力的流量传感器管。公开了一种电容式检测传感器，其包括至少一个导电板，该导电板可连接至第一电压电势并适于位于连接至第二电压电势的流量传感器管附近。导电板相对于流量传感器管定位以在其间限定间隙。当流量传感器管振动时，导电板和流量传感器管之间的电容由于导电板和流量传感器管的相对运动而变化。可以使用电磁，静电，声学和/或压电驱动来振动流量传感器管。科里奥利质量流量控制器可进一步包括集成流量控制装置，其适于接收来自流量传感器管的流体并提供流量控制。

6. 发明申请

WO1995016897A2 SINGLE PATH RADIAL MODE CORIOLIS MASS FLOW RATE METER 审中-公开
标题翻译：单路径径向流量计流量计
公开(公告)号：WO1995016897A2
公开(公告)日：1995-06-22
申请号：PCT/US1994014569
申请日：1994-12-14
申请人： DIRECT MEASUREMENT CORP.
发明人： DIRECT MEASUREMENT CORP. , CAGE, Donald
IPC分类号： G01F01/84
CPC分类号： G01F15/024 , G01F1/8409 , G01F1/8413 , G01F1/8418 , G01F1/8431 , G01F1/8445 , G01F1/8463 , G01F1/849 , G01L9/0008 , G01N9/002 , G01N2009/006
摘要： A flow meter apparatus for measuring the mass flow rate of a fluid using the Coriolis principle. A single straight flow conduit is employed which is vibrated in a radial mode of vibration. Coriolis forces are thereby produced along the walls of the flow conduit which deform the conduit's cross-sectional shape as a function of mass flow rate. Additional embodiments are disclosed employing vibration of selected portions of the flow conduit walls. In addition, a method is described to determine the pressure and the density of a fluid by simultaneously vibrating a flow conduit in two modes of vibration and thereby determining pressure and density based on changes in each frequency.
摘要翻译：一种用于使用科里奥利原理测量流体质量流量的流量计装置。采用单个直流导管，其以径向振动模式振动。因此，沿流动管道的壁产生科里奥利力，其作为质量流量的函数使导管的横截面形状变形。公开了采用流动导管壁的选定部分的振动的另外的实施例。此外，描述了通过以两种振动模式同时振动流动管道来确定流体的压力和密度的方法，从而基于每个频率的变化来确定压力和密度。

7. 发明申请

WO2017142403A1 SU-8 MICRO CORIOLIS MASS FLOW SENSOR 审中-公开
标题翻译： SU-8微型科里奥利质量流量传感器
公开(公告)号：WO2017142403A1
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：PCT/NL2017/050090
申请日：2017-02-15
申请人： UNIVERSITEIT TWENTE , UNIVERSIDAD DE ZARAGOZA
发明人： WIEGERINK, Remco John , GROENESTEIJN, Jarno , LEDESMA, Luis José Fernandez , PRIETO, Rosa Monge , GARRIDO, Ignacio Ochoa
IPC分类号： G01F1/84 , G01F15/00
CPC分类号： G01F15/006 , G01F1/8422 , G01F1/8445 , G01F1/8481
摘要： The invention relates to a channel comprising device (1) comprising a channel (10) with a channel wall (15), a channel inlet (11) and a channel outlet (12), wherein the channel wall comprises a polymer (150),wherein the polymer (150) comprises an epoxy-based polymer. The invention further relates to a system (1000) comprising a Coriolis-type flow measuring device(50) comprising the channel comprising device (1) according to the invention and an actuation system (450) configured to let at least part of the channel (10) vibrate thereby causing temporary displacements. The invention, further relates a method for measuring a property of a fluid, wherein the property of the fluid is a property selected form the group consisting of a mass flow rate of the fluid and a density of the fluid.
摘要翻译：本发明涉及一种包括装置（1）的通道，该装置包括具有通道壁（15），通道入口（11）和通道出口（12）的通道（10），其中通道壁包含聚合物（150），其中聚合物（150）包含环氧基聚合物。本发明还涉及一种包括科里奥利型流量测量装置（50）的系统（1000），所述科里奥利型流量测量装置（50）包括根据本发明的包括装置（1）的通道和致动系统（450），所述致动系统被构造成使得通道 10）振动从而导致临时位移。本发明还涉及一种用于测量流体性质的方法，其中流体的性质是选自由流体的质量流率和流体的密度组成的组中的性质。

8. 发明申请

WO2017071864A1 MEMS SENSOR ZU MESSUNG MINDESTENS EINER MESSGRÖSSE EINES FLUIDS 审中-公开
标题翻译：用于测量流体的至少一个测量尺寸的MEMS传感器
公开(公告)号：WO2017071864A1
公开(公告)日：2017-05-04
申请号：PCT/EP2016/071397
申请日：2016-09-12
申请人： TRUEDYNE SENSORS AG , ENDRESS+HAUSER FLOWTEC AG
发明人： REITH, Patrick , HUBER, Christof , FETH, Hagen
IPC分类号： G01F1/84
CPC分类号： G01F1/8445 , G01F1/8404 , G01F1/849 , G01F1/8495
摘要： Es ist ein MEMS-Sensor zur Messung mindestens einer Messgröße, insb. einer Dichte, eines Durchflusses und/oder einer Viskosität, eines strömenden Fluids, beschrieben, der mindestens einem mikrofluidischen Kanal (1, 21) mit mindestens einem zu Schwingungen anregbaren Kanalabschnitt (7, 7a, 27) aufweist, und eine Erregereinrichtung (E) zur Anregung einer Nutzschwingungsmode, bei der der Kanalabschnitt (7, 7a, 27) Schwingungen in einer vorgegebenen Schwingungsebene (x-y) ausführt, umfasst, der verbesserte Schwingungseigenschaften aufweist, die dadurch erzielt werden, dass der Kanalabschnitt (7, 7a, 27) aus einem anisotropen Werkstoff mit richtungsabhängiger Elastizität besteht, der räumlich derart ausgerichtet ist, dass ein für eine Steifigkeit des Kanalabschnitts (7, 7a, 27) gegenüber senkrecht zur Schwingungsebene (x-y) verlaufenden Auslenkungen des Kanalabschnitts (7, 7a, 27) maßgebliches Elastizitätsmodul des Werkstoffs größer als ein für eine Steifigkeit des Kanalabschnitts (7, 7a, 27) gegenüber in der Schwingungsebene (x-y) verlaufenden Auslenkungen des Kanalabschnitts (7, 7a, 27) maßgebliches Elastizitätsmodul ist.
摘要翻译：
它是用于测量至少一个被测＆OUML MEMS传感器;道路，尤其是一个流量和/或粘度BEAR T，A ST＆OUML的密度;门登流体，如上所述，所述至少一个微流体通道（1,21）配有用于激发Nutzschwingungsmode至少一个振动通道部分（7,7A，27），和激励装置（e）中，其中，所述通道部分（7,7A，27）以预定的振动水平的振动（XY）执行导航使用HRT，其包括具有被这样实现在改善振动性质具有方向BEAR ngiger弹性＆AUML各向异性材料的通道部分（7,7A，27）; T存在时，R＆AUML;在空间上被定向成该A F导航用途r为信道部分的刚性（7,7A，27）防止过垂直于振动平面（XY）的信道部的延伸偏转（7,7A，27）马道gebliches弹性BEAR tsmodul的材料GR＆ouml;道路它作为延伸的通道段的偏转振荡平面（xy）A F OVER（7,7A，27）毫安道路R针对导航用途gebliches沟道部（7,7A，27）弹性BEAR是tsmodul的刚性。

9. 发明申请

WO2009102796A1 MICROFLUIDIC DEVICE AND METHODS OF OPERATION AND MAKING 审中-公开
标题翻译：微流体装置及其操作和制造方法
公开(公告)号：WO2009102796A1
公开(公告)日：2009-08-20
申请号：PCT/US2009/033805
申请日：2009-02-11
申请人： INTEGRATED SENSING SYSTEMS, INC. , SPARKS, Douglas, Ray , PUTTY, Michael, W. , NAJAFI, Nader , SMITH, Richard, Thayre
发明人： SPARKS, Douglas, Ray , PUTTY, Michael, W. , NAJAFI, Nader , SMITH, Richard, Thayre
IPC分类号： B81B1/00 , B81B7/00 , F15C1/04 , G01N27/00 , H01L21/44
CPC分类号： G01F1/8477 , B01L3/5027 , G01F1/8409 , G01F1/8427 , G01F1/8445 , G01F1/8472 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N2291/02818 , G01N2291/02836 , G01N2291/0422 , G01N2291/0426 , Y10T29/49002
摘要： A microelectromechanical system (MEMS) device and a method for operating the device to determine at least one property of a fluid. The device includes a base on a substrate and a tube structure extending from the base and spaced apart from a surface of the substrate. The tube structure includes at least one tube portion and more preferably at least a pair of parallel tube portions substantially lying in a plane, at least one continuous internal passage defined at least in part within the parallel tube portions, and an inlet and outlet of the internal passage fluidically connected to the base. A drive element is operable to induce vibrational movement in the tube structure in a plane of the tube structure and induce resonant vibrational movements in the tube portions. A sensing element senses the deflections of the tube portions when the tube structure is vibrated with the drive element.
摘要翻译：一种微机电系统（MEMS）装置和用于操作该装置以确定流体的至少一个性质的方法。该装置包括在基底上的基底和从基底延伸并与基底的表面间隔开的管结构。管结构包括至少一个管部分，更优选地至少一对基本上位于平面中的平行管部分，至少一个连续内部通道至少部分地限定在平行管部分内，以及入口和出口内部通道流体连接到基座。驱动元件可操作以在管结构的平面中引导管结构中的振动运动并且引起管部分中的共振振动运动。当管结构与驱动元件振动时，感测元件感测管部分的偏转。

10. 发明申请

WO0034748A9 CORIOLIS MASS FLOW CONTROLLER 审中-公开
标题翻译： CORIOLIS质量流量控制器
公开(公告)号：WO0034748A9
公开(公告)日：2001-05-25
申请号：PCT/US9929072
申请日：1999-12-07
申请人： EMERSON ELECTRIC CO
发明人： BARGER MICHAEL J , DILLE JOSEPH C , WHITELEY JEFFREY L , SCOTT TIMOTHY W
IPC分类号： G01F1/84 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/8404 , G01F1/8422 , G01F1/8427 , G01F1/8436 , G01F1/8445 , G01F1/8472
摘要： A Coriolis mass flow sensor includes a flow sensor tube, a drive device situated relative to the flow sensor tube so as to cause the flow sensor tube to vibrate, and pick off sensors situated relative to the flow sensor tube so as to measure the twist in the flow sensor tube due to Coriolis force. A capacitive pick off sensor is disclosed that includes at least one conductive plate connectable to a first voltage potential and adapted to be situated adjacent the flow sensor tube which is connected to a second voltage potential. The conductive plate is positioned relative to the flow sensor tube so as to define a gap therebetween. The capacitance between the conductive plate and the flow sensor tube varies due to the relative motion of the conductive plate and the flow sensor tube when the flow sensor tube is vibrated. Electromagnetic, electrostatic, acoustic, and/or piezoelectric drives may be used to vibrate the flow sensor tube. The Coriolis mass flow controller may further include an integrated flow control device adapted to receive fluid from the flow sensor tube and provide flow control.
摘要翻译：科里奥利质量流量传感器包括流量传感器管，相对于流量传感器管定位的驱动装置，以使流量传感器管振动，并且拾取相对于流量传感器管定位的传感器，以便测量扭转流量传感器管由于科里奥利力。公开了一种电容式拾取传感器，其包括可连接到第一电压电位的至少一个导电板，并且适于邻近连接到第二电压电位的流量传感器管。导电板相对于流量传感器管定位，以便在它们之间形成间隙。导电板和流量传感器管之间的电容由于当流量传感器管振动时导电板和流量传感器管的相对运动而变化。可以使用电磁，静电，声学和/或压电驱动来振动流量传感器管。科里奥利质量流量控制器还可以包括适于从流量传感器管接收流体并提供流量控制的集成流量控制装置。

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