专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2013142461A1 DRY GAS THRUST BEARING FOR USE IN ROTATING EQUIPMENT 审中-公开
标题翻译：干燥轴承用于旋转设备
公开(公告)号：WO2013142461A1
公开(公告)日：2013-09-26
申请号：PCT/US2013/032901
申请日：2013-03-19
申请人： FLOWSERVE MANAGEMENT COMPANY , STEINMANN, Detlev , THOM, Jack , CARPENTER, Timothy, D. , BUITER, Chris , BRADSHAW, Bryan , SPAID, Michael
发明人： STEINMANN, Detlev , THOM, Jack , CARPENTER, Timothy, D. , BUITER, Chris , BRADSHAW, Bryan , SPAID, Michael
IPC分类号： F16C17/04 , F16C27/08
CPC分类号： F16C32/0603 , F01D25/168 , F01D25/22 , F16C17/04 , F16C27/08 , F16C2360/42
摘要： and more particularly, this thrust bearing is designed to support compressor/turbine thrust loads in an improved arrangement which does not require oil lubrication and which is designed to support necessary shaft thrust loading by the utilization of a dry gas film. The bearing includes a shaft rotor 23 between two axially movable stators 39 and relies on a dry gas film to separate the rotor 23 and stators 39. The stators 39 are axially loaded by a double spring package 64 arranged in series wherein a lightly loaded spring engages the stator 39 during zero thrust applications, and as the shaft 14 begins to rotate and encounter axial thrust, a heavier stiffer spring, greater than the thrust load, quickly engages.
摘要翻译：并且更具体地，该推力轴承被设计成以改进的布置来支撑压缩机/涡轮机推力载荷，其不需要油润滑并且被设计成通过利用干燥气体膜来支撑必要的轴推力负载。该轴承包括位于两个可轴向移动的定子39之间的轴转子23，并且依靠干燥气体薄膜来分离转子23和定子39.定子39由串联布置的双弹簧组件64轴向加载，其中轻载弹簧与定子39在零推力应用期间，并且当轴14开始旋转并遇到轴向推力时，大于推力载荷的较重的较硬的弹簧快速接合。

2. 发明申请

WO2012105831A1 APPARATUS FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION 审中-公开
标题翻译：用于原子层沉积的装置
公开(公告)号：WO2012105831A1
公开(公告)日：2012-08-09
申请号：PCT/NL2012/050049
申请日：2012-01-30
申请人： NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO , VERMEER, Adrianus Johannes Petrus Maria , DE SWART, Jozef Johannes , WIT, Coen
发明人： VERMEER, Adrianus Johannes Petrus Maria , DE SWART, Jozef Johannes , WIT, Coen
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/54 , C23C16/455 , F16C32/06 , B65G51/03
CPC分类号： C23C16/44 , C23C16/45551 , C23C16/458 , C23C16/4582 , C23C16/4583 , C23C16/54 , F16C32/0603 , F16C32/0685
摘要： Apparatus for atomic layer deposition on a surface of a sheeted substrate, comprising: an injector head comprising a deposition space provided with a precursor supply and a precursor drain; said supply and drain arranged for providing a precursor gas flow from the precursor supply via the deposition space to the precursor drain; the deposition space in use being bounded by the injector head and the substrate surface; a gas bearing comprising a bearing gas injector, arranged for injecting a bearing gas between the injector head and the substrate surface, the bearing gas thus forming a gas-bearing; a conveying system providing relative movement of the substrate and the injector head along a plane of the substrate to form a conveying plane along which the substrate is conveyed. A support part arranged opposite the injector head, the support part constructed to provide a gas bearing pressure arrangement that balances the injector head gas-bearing in the conveying plane, so that the substrate is held supportless by said gas bearing pressure arrangement in between the injector head and the support part.
摘要翻译：用于原子层沉积在片状基底的表面上的装置，包括：注射器头，其包括设置有前体供体和前体排出物的沉积空间; 所述供应和排出设置成用于从所述前体供应源经由所述沉积空间向所述前体排放提供前体气体流; 使用中的沉积空间被注射器头和衬底表面限定; 包括轴承气体注入器的气体轴承，其被布置用于在所述喷射头和所述基板表面之间注入轴承气体，所述轴承气体因此形成气体轴承; 输送系统，其提供所述基底和所述注射器头沿着所述基底的平面的相对运动，以形成所述基底沿着所述输送平面传送的输送平面。支撑部分，布置成与注射器头相对，支撑部分被构造成提供气体支承压力装置，其平衡输送平面中的喷射器头部气体轴承，使得基板由支撑压力排列保持在喷射器之间头部和支撑部分。

3. 发明申请

WO2008121561A1 STABILIZING A SUBSTRATE USING A VACUUM PRELOAD AIR BEARING CHUCK 审中-公开
标题翻译：使用真空预紧空气轴承座稳定基板
公开(公告)号：WO2008121561A1
公开(公告)日：2008-10-09
申请号：PCT/US2008/057539
申请日：2008-03-19
申请人： KLA-TENCOR CORPORATION , ZHAO, Guoheng , BELYAEV, Alexander , WOLTERS, Christian H. , DOYLE, Paul Andrew , DANDO, Howard W. , VAEZ-IRAVANI, Mehdi
发明人： ZHAO, Guoheng , BELYAEV, Alexander , WOLTERS, Christian H. , DOYLE, Paul Andrew , DANDO, Howard W. , VAEZ-IRAVANI, Mehdi
IPC分类号： F16C32/06 , B21D53/10
CPC分类号： B25B11/005 , F16C29/025 , F16C32/0603 , H01L21/67784 , H01L21/6838
摘要： Substrate processing method and apparatus are disclosed. The apparatus includes a chuck having a surface with one or more gas flow openings configured to provide a flow of gas to the surface. The surface includes one or more vacuum channels distributed across the surface. The vacuum channels permit vacuum to be drawn therethrough. In the method a substrate may be supported proximate the chuck surface with a back surface of the substrate sufficiently close to the chuck surface that a flow of gas and vacuum can maintain the substrate back surface and the chuck surface in a spaced-apart relationship. Gas flow is provided to the chuck surface through the gas flow openings and vacuum is drawn through one or more vacuum channels. The substrate is moved along a direction substantially perpendicular to the surface of the substrate.
摘要翻译：公开了基板处理方法和装置。该装置包括具有一个表面的卡盘，该表面具有一个或多个气体流动开口，该气体流动开口被配置为向表面提供气体流。表面包括分布在表面上的一个或多个真空通道。真空通道允许真空从中抽出。在该方法中，衬底可以靠近卡盘表面支撑，衬底的后表面足够靠近卡盘表面，气体和真空流可以以间隔的关系保持衬底背面和卡盘表面。通过气体流动开口将气流提供给卡盘表面，并通过一个或多个真空通道抽真空。衬底沿着基本上垂直于衬底表面的方向移动。

4. 发明申请

WO2003104660A1 空気圧シリンダ审中-公开
标题翻译：气动缸
公开(公告)号：WO2003104660A1
公开(公告)日：2003-12-18
申请号：PCT/JP2003/006661
申请日：2003-05-28
申请人：株式会社コガネイ , 内野誠
发明人：内野誠
IPC分类号： F15B15/14
CPC分类号： F15B15/1433 , F15B15/1447 , F16C29/025 , F16C32/0603 , F16C32/0618 , Y10S92/01 , Y10S92/02
摘要：相互に軸方向に結合したピストン（１１）とピストンロッド（３）とを備えた軸部材（１４）と、ピストンロッド（３）を外部に突出させて軸部材（１４）を直線往復動自在に支持するシリンダ本体（２）と、シリンダ本体（２）に組み込まれてピストン（１１）およびピストンロッド（３）をそれぞれ摺動自在に支持する多孔質性のエアベアリング（９），（１２）とを有する。軸部材（１４）、シリンダ本体（２）およびエアベアリング（９），（１２）のそれぞれの材料にほぼ同等の熱膨張係数のものを使用する。温度変化に関係なく軸部材（１４）とエアベアリング（９），（１２）との間の隙間を一定に維持してその間に形成する空気層の性能、すなわち摺動性能およびシール性能を温度変化に関係なく安定して維持できる。
摘要翻译：一种气缸，包括具有活塞（11）的轴构件（14）和彼此轴向连接的活塞杆（3），缸体（2）允许活塞杆向外突出以线性往复运动支撑轴构件（14）和组装在缸体（2）中的多孔空气轴承（9）和（12），以可滑动地支撑活塞（11）和活塞杆（3），其中材料具有大致相等的系数热膨胀用于轴构件（14），气缸体（2）和空气轴承（9）和（12），由此形成在轴构件（14）和空气轴承（9）之间的空气层的性能）和（12），即通过保持轴构件（14）和空气轴承（9）和（12）之间的间隙恒定，而不管温度变化如何，可以稳定地保持滑动性能和密封性能，而不管温度变化。

5. 发明申请

WO2003054909A1 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE ASSEMBLY AND METHOD FOR USING SAME 审中-公开
标题翻译：扫描电子显微镜组件及其使用方法
公开(公告)号：WO2003054909A1
公开(公告)日：2003-07-03
申请号：PCT/IB2002/005458
申请日：2002-12-16
申请人： FEI COMPANY , DONA, Marinus, J., J. , KRANS, Jan, M. , MENTINK, Sjoerd, A., M. , SOMEREN, Bob , STEFFEN, Thomas , DE JONGE, Niels , BUIJSSE, Bart
发明人： DONA, Marinus, J., J. , KRANS, Jan, M. , MENTINK, Sjoerd, A., M. , SOMEREN, Bob , STEFFEN, Thomas , DE JONGE, Niels , BUIJSSE, Bart
IPC分类号： H01J37/28
CPC分类号： H01J37/18 , F16C32/06 , F16C32/0603 , F16C2300/62 , H01J2237/162 , H01J2237/2005 , H01J2237/20221
摘要： An assembly of a scanning electron microscope and an air bearing (8), comprising a compact scanning electron microscope provided with a manipulation arm (9) having a flexible connection (10) the said air bearing. The air bearing is provided with vacuum pumping ducts (13) for maintaining the vacuum between the air bearing and the sample (7) to be inspected or treated. The assembly may be used in conjunction with an e-beam recording machine, a sample preparation station, or a polishing machine, for the inspection of metallic surface integrity or small cracks in coatings and the like and; also in the study of biological specimens.
摘要翻译：一种扫描电子显微镜和空气轴承（8）的组件，包括具有操纵臂（9）的紧凑型扫描电子显微镜，所述操纵臂具有所述空气轴承的柔性连接（10）。空气轴承设有用于维持空气轴承和样品（7）之间的真空的真空泵送管道（13）以进行检查或处理。组合件可以与电子束记录机，样品制备站或抛光机结合使用，用于检查金属表面完整性或涂层等中的小裂纹; 也在生物标本的研究中。

6. 发明申请

WO03036071A2 POROUS RESTRICTOR FOR GAS BEARING 审中-公开
标题翻译：用于气体轴承的多孔限制器
公开(公告)号：WO03036071A2
公开(公告)日：2003-05-01
申请号：PCT/US0233291
申请日：2002-10-18
申请人： GLOBAL COOLING BV , KIIKKA DALE E
发明人： KIIKKA DALE E
IPC分类号： F01B31/00 , F01B31/10 , F02G1/043 , F16C29/02 , F16C32/06 , F02G
CPC分类号： F02G1/0535 , F02G1/0435 , F16C29/025 , F16C32/0603 , F16C32/0618 , F16C32/0622
摘要： A gas restrictor particularly useful for application in gas bearings as used, for example, in free-piston Stirling cycle machinery. Porous strip material (52) together with a backing plate (60) and orifice (32) is used to provide the restriction to the flow of gas into an annular gap (22) between a piston (16) and a cylinder (12).
摘要翻译：气体限流器特别适用于气体轴承，例如用于自由活塞式斯特林循环机械。多孔条带材料（52）与背板（60）和孔口（32）一起用于限制气体流入活塞（16）和气缸（12）之间的环形间隙（22）。

7. 发明申请

WO99005573A1 SUPPORTING DEVICE WITH GAS BEARING 审中-公开
标题翻译：支撑装置与气体轴承
公开(公告)号：WO99005573A1
公开(公告)日：1999-02-04
申请号：PCT/IB1998/001024
申请日：1998-07-02
IPC分类号： F16C32/06 , F16F15/023 , F16F15/04 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： F16C32/06 , F16C32/0603 , F16F15/022 , F16F15/0232 , G03F7/70691 , G03F7/70825
摘要： A supporting device (53) provided with a first part (69), a second part (71), and a gas spring (73) for supporting the second part relative to the first part parallel to a support direction (Z). The gas spring (73) comprises a pressure chamber (75) which is provided in an intermediate part (79) and is bounded by a piston (81) which is displaceable in the intermediate part (79) parallel to the support direction and is supported perpendicularly to the support direction by means of a static gas bearing (85). A stiffness of the supporting device parallel to the support direction is thus substantially entirely determined by a stiffness of the gas spring, and a low stiffness can be achieved through a suitable design of the gas spring. A transmission of vibrations directed parallel to the support direction from the first part to the second part is substantially prevented. In a special embodiment, the intermediate part is displaceable perpendicularly to the support direction over a support surface (105) of the first part (69) by means of a further static gas bearing (103). As a result, the supporting device has a stiffness which is substantially zero perpendicular to the support direction, so that a transmission of vibrations directed perpendicularly to the support direction from the first part to the second part is substantially fully prevented. The supporting device is used in a lithographic device for supporting a frame (39) relative to a base (37), which frame (39) supports a focusing unit (5).
摘要翻译：具有第一部分（69），第二部分（71）和用于相对于第一部分平行于支撑方向（Z）支撑第二部分的气体弹簧（73）的支撑装置（53）。气弹簧（73）包括设置在中间部分（79）中且由中间部分（79）平行于支撑方向移动的活塞（81）限定的压力室（75），并被支撑通过静态气体轴承（85）垂直于支撑方向。因此，平行于支撑方向的支撑装置的刚度基本上完全由气弹簧的刚度决定，并且可以通过气弹簧的适当设计来实现低刚度。基本上防止了从第一部分到第二部分平行于支撑方向引导的振动传递。在一个特殊的实施例中，中间部分通过另外的静态气体轴承（103）在第一部分（69）的支撑表面（105）上垂直于支撑方向移位。结果，支撑装置具有垂直于支撑方向基本上为零的刚度，从而基本上完全防止了从第一部分到第二部分垂直于支撑方向指向的振动的传播。支撑装置用于平版印刷装置，用于相对于底座（37）支撑框架（39），所述框架（39）支撑聚焦单元（5）。

8. 发明申请

WO1989003488A1 GAS BEARING FOR GUIDING RELATIVE MOVEMENT OF PRECISION MACHINE PARTS 审中-公开
标题翻译：气体轴承用于指导精密机械部件的相对运动
公开(公告)号：WO1989003488A1
公开(公告)日：1989-04-20
申请号：PCT/US1988003378
申请日：1988-09-30
申请人： BROWN & SHARPE MANUFACTURING COMPANY
发明人： BROWN & SHARPE MANUFACTURING COMPANY , PESIKOV, Vitaly, I.
IPC分类号： F16C32/06
CPC分类号： F16C32/0666 , F16C29/025 , F16C32/0603 , F16C32/0674 , F16C2370/00
摘要： In a precision machine, such as a coordinate measuring machine or a machine tool in which a carriage (14) rides along a rail (12), a gas bearing (10) for applying a constant preload force to a bearing shoe (46) over a range of relative movement between said bearing shoe (46) and the carriage (14) to accommodate imperfections and non-parallelism in the rail. The constant preload force is provided by a disc spring (52), which may be a Belleville spring. A preferred spring (52) has a free height to thickness ratio in the range of from about 1.35:1 to about 1.6:1. The gas bearing (18) of this invention is used in opposed relation with another gas bearing (16).

9. 发明申请

WO2014156911A1 気体軸受スピンドル审中-公开
标题翻译：气体轴承主轴
公开(公告)号：WO2014156911A1
公开(公告)日：2014-10-02
申请号：PCT/JP2014/057638
申请日：2014-03-13
申请人： ABB株式会社
发明人：原　正雄 , 松本　知博 , 太田　昇
IPC分类号： F16C32/06
CPC分类号： F16C32/0603
摘要：気体軸受スピンドル１が、回転軸１１、ラジアル／スラスト軸受４０、羽根車１２、羽根１２ａにあたり排出された排気を直接受ける羽根車排気路２２、ハウジング２０、羽根車１２のラジアル／スラスト軸受４０と向かい合う対向面１２ｂに向かって気体を供給する対向面給気路を備える。対向面給気路は、ハウジング２０において、羽根車排気路２２よりも外周側に設けられた外周側給気路２１と、外周側給気路２１およびラジアル／スラスト軸受４０に接続し、ハウジング２０において、羽根車１２から見て羽根車排気路２２よりも遠方に設けられた遠方給気路２１ｂと、遠方給気路２１ｂおよび対向面１２ｂに向かい合う絞り４４ｃに接続し、ラジアル／スラスト軸受４０に設けられたラジアル軸受内給気路４２ａとを有する。
摘要翻译：气体轴承转轴（1）设有：旋转轴（11）; 径向/推力轴承（40）; 叶轮（12）; 叶轮排气通道（22），其直接接收撞击叶轮叶片（12a）并排出的排气; 一个房屋（20）; 以及向面向径向/推力轴承（40）的叶轮（12）的面对面（12b）供给气体的面对表面气体供给路径。面对面气体供给路径包括：外壳侧气体供给路径（21），其设置在壳体（20）的外周侧，而不是叶轮排出路径（22）的外周侧。连接到外周侧气体供给路径（21）和径向/推力轴承（40）的远距离供气路径（21b），并且设置在壳体内比叶轮排气更远的位置从叶轮（12）观察的路径（22）; 以及径向轴承内部气体供给路径（42a），其设置在所述径向/推力轴承（40）上并且连接到所述远距离气体供给路径（21b）和面向所述远距离气体供给路径的扼流圈（44） 21B）。

10. 发明申请

WO2013150958A1 ラジアルフォイル軸受审中-公开
标题翻译：径向轴承
公开(公告)号：WO2013150958A1
公开(公告)日：2013-10-10
申请号：PCT/JP2013/059292
申请日：2013-03-28
申请人：株式会社IHI
发明人：大森　直陸
IPC分类号： F16C27/02
CPC分类号： F16C17/024 , F16C32/0603 , F16C43/02 , F16C2226/50 , F16C2226/76
摘要：　回転軸（１）を支持するラジアルフォイル軸受（３）である。このラジアルフォイル軸受（３）は、トップフォイル（１０）と、バックフォイル（１１）と、これらを収容する軸受ハウジング（１２）とを備える。軸受ハウジング（１２）の内周面には通し溝（１３）が形成され、通し溝（１３）には固定具（１６）によって係合溝（２０）が形成されている。
摘要翻译：径向箔片轴承（3）支撑旋转轴（1）。径向箔片轴承（3）设置有顶部箔（10），背面箔（11）和容纳顶部箔（10）和背面箔（11）的轴承壳体（12）。在轴承箱（12）的内周面上形成有贯通槽（13），通过固定部件（16）在贯通槽（13）上形成有卡合槽（20）。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式