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    • 4. 发明申请
    • 空洞管の研磨用電極とそれを用いた電解研磨方法
    • 用于抛光中空管的电极和使用相同的电解抛光方法
    • WO2014010540A1
    • 2014-01-16
    • PCT/JP2013/068593
    • 2013-07-08
    • マルイ鍍金工業株式会社
    • 井田 義明
    • C25F7/00C25F3/16
    • C25F7/00C25F3/16C25F7/02
    •  内周面の径が変化する空洞管の電解研磨を目的とする。電極軸の軸方向に所定幅で先端が、空洞管の内面形状に対応する単翼を少なくとも1枚、周方向に等間隔に配置した翼電極とする。更に、前記電極軸と同心に、前記各単翼を電極軸に巻回した状態で、翼電極を収納する収納筒を配置する。当該収納筒は、各単翼に対応する位置に、軸方向のスリットを備え、当該スリットに各単翼を挿通した状態で、電極軸と収納筒とを相対的に回転し、各単翼を径方向に拡縮可能な径調整手段を有する。この電極を翼電極収納筒に収納した状態で空洞管に挿入し、翼電極の先端を空洞管の内面と、研磨を行うに適切な距離になるまで収納筒から押し出し、前記空洞管と翼電極の間に研磨に応じた極性の電圧・電流を印加する。これにより、空洞管と電極の距離は空洞管のすべての部分で均一となり、空洞管の全域を短時間で均一な研磨ができる。
    • 提供一种具有可变内径的中空管的电解抛光方法。 至少一个具有对应于中空管的内部形状并且在电极轴的轴向方向上具有预定宽度的尖端的翼部沿圆周方向等间隔地设置以构成翼电极。 此外,容纳翼电极的容纳管与电极轴同心地定位,每个翼缠绕在电极轴上。 壳体管在轴向上配置有与每个翼相对应的位置的狭缝,并且包括直径调节装置,其中电极轴和容纳管彼此相对旋转,其中每个翼穿过狭缝 使得每个翼能够沿径向方向膨胀和收缩。 将该电极插入到中空管中,同时容纳在翼电极壳体管中,并且将翼电极的顶端从壳体管推出,从而从中空管的内表面获得适当的距离以进行抛光,并且 用于抛光的极性电压/电流施加在中空管和翼电极之间。 作为这种构造的结果,中空管和电极之间的距离在整个中空管上均匀,使得可以在短时间内均匀地抛光中空管的所有区域。
    • 7. 发明申请
    • ÄTZVORRICHTUNG ZUM ELEKTROLYTISCHEN ÄTZEN VON KUPFER
    • 酸蚀铜电解蚀刻
    • WO2013050008A1
    • 2013-04-11
    • PCT/DE2011/001810
    • 2011-10-08
    • HERKLE, Christoph
    • HERKLE, Christoph
    • C25F7/02C23F1/46
    • C25F3/02B01F3/04503B01F3/0876B01F5/0212B01F5/0413B01F5/106B01F13/1027B01F2003/04879B01F2003/04886C25F7/02H05K3/068H05K3/07
    • Die Erfindung betrifft eine Ätzvorrichtung zum elektrolytischen Ätzen von Kupfer auf einem Ätzgut, aufweisend: - eine erste Mischvorrichtung, welche eingerichtet ist, einen Kupferionen enthaltenden sauren Elektrolyten und ein Sauerstoffgas oder Ozongas aufzunehmen, um ein erstes Flüssigkeits-Gasgemisch zu bilden, welches aus einem ersten Auslass der ersten Mischvorrichtung in eine daran gekoppelte Verbindungsleitung geleitet werden kann, - einen Behälter, welcher eine Behälterflüssigkeit enthält, eine zweite Mischvorrichtung, welche in dem Behälter angeordnet und von der Behälterflüssigkeit umgeben ist, wobei die zweite Mischvorrichtung eine Saugöffnung aufweist, um die im Bereich der Saugöffnung vorhandene Behälterflüssigkeit anzusaugen, wobei die zweite Mischvorrichtung mit der Verbindungsleitung verbunden und eingerichtet ist, das erste Flüssigkeits-Gasgemisch und die angesaugte Behälterflüssigkeit in eine Verengungszone der zweiten Mischvorrichtung zu leiten, so dass sich die angesaugte Behälterflüssigkeit mit dem ersten Flüssigkeits-Gasgemisch vermischen und somit ein zweites Flüssigkeits-Gasgemisch bilden kann, wobei die zweite Mischvorrichtung einen zweiten Auslass aufweist, aus dem das zweite Flüssigkeits-Gasgemisch ausströmen und sich mit der im Bereich des zweiten Auslasses vorhandenen Behälterflüssigkeit vermischen kann, und eine Behälterausgangsleitung, welche eingerichtet ist, die dort vorhandene Behälterflüssigkeit dem in einem Ätzmodul vorgesehenen Ätzgut zuzuführen.
    • 本发明涉及用于铜的上的蚀刻材料的电解蚀刻的蚀刻装置,包括: - 适于接收一个含离子铜酸性电解质中和氧气或臭氧气体,以形成第一液 - 气混合物,它由一个第一的第一混合装置 第一混合装置的出口可以被传递到连接到其上的连接线, - 包含储层流体,其被置于所述容器和由所述容器内的液体包围的第二混合装置的容器中,所述第二混合装置包括在该区域的吸入口 吸入吸入口,其中,所述第二混合装置被连接到连接线和布置成引导所述第一液 - 气混合物,并在第二混合装置的缢缩区的吸入液体容器的现有液体容器,所以ð AS的拉制容器液体混合物与所述第一液体 - 气体混合物,从而形成第二液 - 气混合物,其特征在于,具有第二出口的第二混合装置从其中流出第二液 - 气混合物,并与存在于第二出口箱液体的区域中 可以混合和容器出口管线,其被设置成将液体供给到容器存在于蚀刻模块蚀刻材料那里提供。
    • 8. 发明申请
    • 電解再生処理装置
    • 电解循环装置
    • WO2003066939A1
    • 2003-08-14
    • PCT/JP2003/001187
    • 2003-02-05
    • 新光電気工業株式会社
    • 竹前 孝博宮崎 郁雄宮沢 賢二
    • C25F7/02
    • C23F1/46C25F7/02
    • An electrolytic recycling device capable of minimizing insoluble sludge produced when etching fluid containing metal ions is recycled in a recycling tank having electrodes therein and eliminating the need of specially installing a sludge removal means such as a sludge removal tank, characterized in that the inside of the recycling tank (12) is divided into a plurality of compartments (12a to 12h) so that the etching fluid supplied from the supply side of the recycling tank sequentially flows in an outlet direction while alternately changing a flowing direction to upper side and lower side, the electrodes (16, 16, 16) are disposed in the compartments (12b, 12d, 12f) where the etching fluid flows upward among the plurality of compartments, and agitating means for agitating the etching fluid are installed at the portions in the compartments (12a to 12h) where the flow of the etching fluid stagnates.
    • 当在含有金属离子的流体腐蚀的回收罐中循环使用能够最小化在含有金属离子的流体中产生的不溶性污泥的电解回收装置,并且不需要特别安装诸如污泥清除罐的污泥去除装置,其特征在于, 回收罐(12)被分成多个隔室(12a〜12h),使得从再循环罐的供给侧供给的蚀刻流体顺序地沿出口方向流动,同时交替地将流动方向改变到上侧和下侧, 电极(16,16,16)设置在隔室(12b,12d,12f)中,其中蚀刻流体在多个隔室中向上流动,并且用于搅拌蚀刻流体的搅拌装置安装在隔室 12a至12h),其中蚀刻流体的流动停滞。
    • 9. 发明申请
    • ELECTRODIALYTIC CONVERSION OF COMPLEXES AND SALTS OF METAL CATIONS
    • 复合材料的电化学转化和金属的制备
    • WO1995007752A1
    • 1995-03-23
    • PCT/US1993008846
    • 1993-09-16
    • VAUGHAN, Daniel, J.
    • B01D61/44
    • C01B7/195B01D61/44C01B7/0706C23G1/36C25F7/02
    • Complexes and salts of metal cations in aqueous solutions are electrodialytically converted into a solution of acids substantially free of metal cations and insoluble metal hydroxides. Metal cations are insolubilized by hydroxyl ions formed in a catholyte while anions are electrotransported from the catholyte and converted into a solution of acids by hydrogen ions formed in an anolyte of an electrodialytic process. The conversion process is carried out electrically without the electrotransport of metal cations and is especially useful for reforming solutions of acids that form complexes when etching and finishing metal surfaces.
    • 水溶液中金属阳离子的络合物和盐被电渗析转化为基本上不含金属阳离子和不溶性金属氢氧化物的酸的溶液。 金属阳离子在阴极电解液中形成的羟基离子不溶解,而阴离子从阴极电解液中运输,并通过在电渗析过程的阳极电解液中形成的氢离子转化为酸的溶液。 转化过程在没有金属阳离子的电转移的情况下进行,并且特别可用于在蚀刻和整理金属表面时形成络合物的酸的重整溶液。
    • 10. 发明申请
    • 空洞管の研磨用ロータ
    • 用于抛光中空管的转子
    • WO2016056620A1
    • 2016-04-14
    • PCT/JP2015/078581
    • 2015-10-08
    • マルイ鍍金工業株式会社
    • 井田 義明
    • C25F3/16C25F7/00H05H7/20
    • C25F3/16C25D7/04C25D17/007C25F3/26C25F7/00C25F7/02H05H7/20H05H7/22
    •  内管に対して摺動自在に外管が嵌挿され、外管の周壁には少なくとも1つの窓を設ける。当該窓に対応する位置の内管には、板羽根の基端部が、主軸に直角な方向の副軸に回動自在に固定される。リンクバーを主軸方向に前記外管と前記板羽根に渡って配設し、前記外管に対して主軸方向に相対的に内管を移動させることによって、前記板羽根を閉じた状態(収納状態)と、開いた状態(稼動状態)との間で遷移が可能な構成とした空洞管の研磨用ロータ。羽根の先端には電解研磨用の電極、または機械研磨用のバフが固定され、これによって、板羽根の位置を調節でき研磨状態のコントロールができる。
    • 外管可滑动地插入在内管上并且在周壁中设置有至少一个窗口。 在与内管上的窗口相对应的位置处,将板叶片的根部固定在与主轴垂直设置的辅助轴上,以便能够旋转移动。 连杆在主轴方向上布置成在外管和板叶之间延伸。 用于抛光中空管的转子被构造成能够在板状叶片闭合(储存状态)的状态与通过内管相对于外管相对移动的板状叶片打开的状态(操作状态)之间转变 主轴方向。 用于电抛光的电极或用于机械抛光的抛光机固定到板片的顶端。 这允许调节板片的位置并控制抛光状态。