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1. 发明申请

WO2003033603A1 LEVELLING AGENT AND ANTI-CRATERING AGENT 审中-公开
标题翻译：分级代理和抗磨损代理
公开(公告)号：WO2003033603A1
公开(公告)日：2003-04-24
申请号：PCT/EP2002/011237
申请日：2002-10-08
申请人： EFKA ADDITIVES B.V. , PIRRUNG, Frank, Oliver, Heinrich , LOEN, Elizabeth, Maaike , ENGELBRECHT, Lothar, Alexander , NOORDAM, Arend
发明人： PIRRUNG, Frank, Oliver, Heinrich , LOEN, Elizabeth, Maaike , ENGELBRECHT, Lothar, Alexander , NOORDAM, Arend
IPC分类号： C09D7/06
CPC分类号： C09D11/03 , C08F22/18 , C08F22/20 , C09D7/47 , C09D7/65
摘要： Use of a polymer as a levelling agent or anti-cratering agent, said polymer comprising at least one fluorinated unit represented by formula l,(Formula 1) wherein R?1¿ is a moiety represented by C¿n?F¿2n+l?-(CH¿2?)¿m?-, AC¿n?F¿2n?-(CH¿2?)¿m?-, C¿n?F¿2n+l?-(CH¿2?)¿m?-(OCH¿2?CHR?5¿)¿p?-, AC¿n?F¿2n?-(CH¿2?)¿m?-(OCH¿2?CHR?5¿)¿p'? C¿n?F¿2n+1?-(CH¿2?)¿m?-X-, AC¿n?F¿2n?-(CH¿2?)¿m?-X- AC¿n?F¿2n?-(CH¿2?)¿m?-(OCH¿2?CHR?5¿)¿p?-X or C¿n?F¿2n+l?-(CH¿2?)¿m?-(OCH¿2?CHR?5¿)¿p?-X-; wherein A = H, Cl, Br, I, a C¿l-12? alkyl or a OC¿1-12 ?alkyl, wherein 4 ≤ n ≤ 20,0 ≤ m ∼≤ 4 and 0 ≤ p ≤ 20, wherein X is a spacer moiety selected from the group consisting of esters, amides, sulphoamides, mercapto groups, polyurethane groups and alkyl groups, wherein R?2¿ is H, a metal moiety, an (alkyl)ammonium moiety or an alkyl group, C¿n?F¿2n+l?-(CH¿2?)¿m?-, AC¿n?F¿2n?-(CH¿2?)¿m?-, C¿n?F¿2n+1?-(CH¿2?)¿m?-(OCH¿2?CHR?5¿)¿p?-, AC¿n?F¿2n?-(CH¿2?)¿m?-(OCH¿2?CHR?5¿)¿p'? C¿n?F¿2n+l?-(CH¿2?)¿m?-X-, AC¿n?F¿2n?-(CH¿2?)¿m?-X-, AC¿n?F¿2n?-(CH¿2?)¿m?-(OCH¿2?CHR?5¿)¿p?-X or C¿n?F¿2n+l?-(CH¿2?)¿m?-(OCH¿2?CHR?5¿)¿p?-X-; wherein A = H, Cl, Br, I, C¿1-12? alkyl or OC 1-12 alkyl, wherein 4 ≤ n ≤ 20, 0 ≤ m ≤ 4 and 0 ≤ p ≤ 20, wherein X is a spacer moiety selected from the group consisting of esters, amides, sulphoamides, mercapto groups, polyurethane groups and alkyl groups, wherein R?3¿ and R?4¿ are independently selected from the group consisting of H, alkyl-groups and phenyl-groups and wherein R?5¿ is H and/or methyl group..
摘要翻译：使用聚合物作为流平剂或抗塌陷剂，所述聚合物包含至少一个由式1表示的氟化单元（式1），其中R 1是由C 1 -C 6烷基 - （CH）2 - （CH）2 - （CH 3） - （CH 2）（OCH 2，CHR 5和我的任务）¿p？ - ， - - - （CH 2 2＆ CHR？5？）¿p'？C？¿n n n n¿¿¿¿¿¿¿，，，ar ar ar ar ar ar ar ar ar （CH 2）2 - （OCH 2 CH 2 CH 2） - （OCH 2 CHR 5）n - 或C≡nF 其中A = H，Cl，Br，I，C 1〜C 2 - （CH 2） 12烷基或OC 1-12烷基，其中4≤n≤20,0≤m≤≤4且0≤p≤20，其中X是选自酯，酰胺，磺酰胺的间隔基，巯基，聚氨酯基和烷基，其中R 2是H，金属部分，（烷基）铵部分或烷基，C 1 -C 6烷基 + CH 2 - （CH 2 2）2 - （CH 2 2＆CH 3）2，其中，（OCH 2 CHR 5＆I quest;）¿¿？，¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿¿ 2？CHR？5？）？（CH 2）2 - （CH 2）n - （CH 2）n - （CH 2）n - （CH 2）2（CH 2）n（CH 2）n（CH 3）（OCH 2 CHR 5）其中A = H，Cl，Br，I，C 1-12烷基或OC 1， -12烷基，其中4≤n≤20,0≤m≤4,0≤p≤2

2. 发明申请

WO2011145703A1 感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体及び化合物审中-公开
标题翻译：辐射敏感性树脂组合物，形成耐火图案的方法，聚合物和化合物
公开(公告)号：WO2011145703A1
公开(公告)日：2011-11-24
申请号：PCT/JP2011/061588
申请日：2011-05-19
申请人： JSR株式会社 , 大▲崎▼ 仁視 , 浅野裕介 , 佐藤光央 , 永井智樹
发明人：大▲崎▼　仁視 , 浅野　裕介 , 佐藤　光央 , 永井　智樹
IPC分类号： G03F7/039 , C08F20/30 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/004 , C07C69/653 , C07C69/753 , C07D307/93 , C08F22/18 , C08F24/00 , C08F220/24 , C08F220/26 , G03F7/0046 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , G03F7/2041
摘要：　本発明は、液浸露光プロセスにおいて、露光時には高い動的接触角を示すことにより、レジスト被膜表面が優れた水切れ性を示し、現像時には動的接触角が大きく低下することにより、現像欠陥の発生が抑制されるレジスト被膜を与え、さらに動的接触角の変化に要する時間を短縮できる感放射線性樹脂組成物を提供することを目的とする。本発明は［Ａ］下記式（１）で表される基を含む構造単位（Ｉ）を有する含フッ素重合体、及び［Ｂ］感放射線性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物である。
摘要翻译：公开了一种辐射敏感性树脂组合物，其能够提供在液浸光刻工艺中在曝光期间具有高动态接触角而在表面上具有优异排水性的抗蚀剂涂膜，同时通过大大地抑制显影缺陷的发生在开发过程中动态接触角下降。辐射敏感性树脂组合物还能够减少动态接触角变化所需的时间。具体公开的是含有（A）具有含有式（1）所示基团的结构单元（I）和（B）辐射敏感性酸发生剂的含氟聚合物的辐射敏感性树脂组合物。

3. 发明申请

WO02051927A2 LOW OPTICAL LOSS POLYMERS 审中-公开
标题翻译：低光损失聚合物
公开(公告)号：WO02051927A2
公开(公告)日：2002-07-04
申请号：PCT/US2001/046054
申请日：2001-10-31
IPC分类号： G02B6/12 , C08F22/10 , C08F22/18 , C08F22/20 , C08G65/00 , C08G65/332 , C08L
CPC分类号： C08G65/3322 , C08F22/105 , C08F22/18 , C08F22/20 , C08G65/007 , C08G65/3326
摘要： A fluorinated polymerizable compound useful for fabricating planar optical devices includes at least one fluorinated alkylene or alkylene ether moiety and at least two terminal acrylate moieties, each terminal acrylate moiety being connected to one of the fluorinated alkylene or fluorinated alklene eher moieties by an ester linking group. The fluorinated polymerizable compounds, or macromers, of this invention are useful for forming optical components exhibiting a refractive index comparable to that of glass fiber waveguides, while also exhibiting very low absorption losses. Polymerizable compositions suitable for preparing optical components can be prepared by combining the macromers of the invention with a photoinitiator. Conventional optical monomers may also be employed, if desired.
摘要翻译：用于制造平面光学器件的含氟可聚合化合物包括至少一个氟化亚烷基或亚烷基醚部分和至少两个末端丙烯酸酯部分，每个末端丙烯酸酯部分通过酯连接基团连接到一个氟化亚烷基或氟化烷基酯部分。本发明的氟化可聚合化合物或大分子单体可用于形成具有与玻璃纤维波导相当的折射率的光学组分，同时也显示出非常低的吸收损失。适用于制备光学组分的可聚合组合物可以通过将本发明的大分子单体与光引发剂组合来制备。如果需要，也可以使用常规的光学单体。

4. 发明申请

WO2011145702A1 感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体及び化合物审中-公开
标题翻译：辐射敏感性树脂组合物，形成耐火图案的方法，聚合物和化合物
公开(公告)号：WO2011145702A1
公开(公告)日：2011-11-24
申请号：PCT/JP2011/061587
申请日：2011-05-19
申请人： JSR株式会社 , 浅野裕介 , 大泉芳史 , 征矢野晃雅 , 石井岳史
发明人：浅野　裕介 , 大泉　芳史 , 征矢野　晃雅 , 石井　岳史
IPC分类号： G03F7/039 , C08F20/26 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/004 , C07C69/653 , C07C69/753 , C07D307/93 , C08F22/18 , C08F24/00 , C08F220/24 , C08F220/26 , G03F7/0046 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , G03F7/2041
摘要：　本発明は、液浸露光プロセスにおいて、露光時には高い動的接触角を示すことによりレジスト被膜表面が優れた水切れ性を示し、現像時には動的接触角が大きく低下することにより現像欠陥の発生が抑制されるレジスト被膜を与え、さらに動的接触角の変化に要する時間を短縮できる感放射線性樹脂組成物を提供することを目的とする。本発明は［Ａ］下記式（１）で表される構造単位（Ｉ）を有する重合体、及び［Ｂ］感放射線性酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物である。
摘要翻译：公开了一种辐射敏感性树脂组合物，其能够提供在液浸光刻工艺中在曝光期间具有高动态接触角而在表面上具有优异排水性的抗蚀剂涂膜，同时通过以下方式抑制显影缺陷的发生：在开发过程中动态接触角大大降低。辐射敏感性树脂组合物还能够减少动态接触角变化所需的时间。具体公开的是含有（A）具有由式（1）表示的结构单元（I）的聚合物和（B）辐射敏感性酸产生剂的辐射敏感性树脂组合物。

5. 发明申请

WO00078819A1 OPTICAL DEVICES MADE FROM RADIATION CURABLE FLUORINATED COMPOSITIONS 审中-公开
标题翻译：从辐射可固化氟化组合物制成的光学器件
公开(公告)号：WO00078819A1
公开(公告)日：2000-12-28
申请号：PCT/US2000/016997
申请日：2000-06-21
IPC分类号： G03F7/038 , C08F2/46 , C08F22/18 , C08F22/20 , C08F299/00 , C08G65/00 , G02B1/04 , G02B6/10 , G02B6/12 , G02B6/122 , G02B6/124 , G02B6/13 , G02F1/00 , C08J3/28 , G02B6/16 , G02F3/00 , G03C1/73 , G03C5/00
CPC分类号： C08F22/20 , C08F22/18 , C08G65/007 , G02B1/045 , G02B6/02057 , G02B6/105 , G02B6/1221 , G02B6/124 , G02B6/13 , G02B2006/12107 , G02F1/0009 , G02F2202/023
摘要： The invention provides organic optical waveguide devices which employ perfluoropolymeric materials having low optical loss and low birefringence. An optical element has a substrate; a patterned, light transmissive perfluoropolymer core composition; and a light reflecting cladding composition on the pattern of the core. Writing of high-efficiency waveguide gratings is also disclosed.
摘要翻译：本发明提供使用具有低光损耗和低双折射的全氟聚合物材料的有机光波导器件。光学元件具有基板; 图案化的，透光的全氟聚合物芯组合物; 以及在芯的图案上的光反射包层组合物。还公开了高效波导光栅的写入。

6. 发明申请

WO2010104188A1 CURABLE COMPOSITION FOR IMPRINT,PATTERNING METHOD AND PATTERN 审中-公开
标题翻译：用于印刷，绘图方法和图案的可固化组合物
公开(公告)号：WO2010104188A1
公开(公告)日：2010-09-16
申请号：PCT/JP2010/054270
申请日：2010-03-08
申请人： FUJIFILM CORPORATION , KODAMA, Kunihiko
发明人： KODAMA, Kunihiko
IPC分类号： C08F20/22 , B29C59/02 , H01L21/027
CPC分类号： C08F20/22 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08F20/38 , C08F22/105 , C08F22/18 , C08F22/24 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/027 , Y10T428/24479 , Y10T428/24802 , Y10T428/3154
摘要： A curable composition for imprints, which is excellent in patternability and in line edge roughness, is provided. The curable composition for imprints comprises at least one kind of polymerizable monomer (A) and at least one kind of photopolymerization initiator (B). The polymerizable monomer (A) comprises at least two fluorine-containing groups selected from a fluoroalkyl group and a fluoroalkylether group and each of two of the fluorine-containing groups is connected with each other through a linking group having at least two carbon atoms.
摘要翻译：提供了一种用于印刷的可固化组合物，其图案性和线边缘粗糙度优异。用于印记的可固化组合物包含至少一种可聚合单体（A）和至少一种光聚合引发剂（B）。可聚合单体（A）包含至少两个选自氟代烷基和氟代烷基醚的含氟基团，并且两个含氟基团中的每一个通过具有至少两个碳原子的连接基彼此连接。

7. 发明申请

WO02051927A3 LOW OPTICAL LOSS POLYMERS 审中-公开
标题翻译：低光损失聚合物
公开(公告)号：WO02051927A3
公开(公告)日：2003-01-23
申请号：PCT/US0146054
申请日：2001-10-31
申请人： CORNING INC
发明人： BLOMQUIST ROBERT , DENG JIAN MING STEVEN , MAXFIELD MACRAE , SHACKLETTE LAWRENCE W
IPC分类号： G02B6/12 , C08F22/10 , C08F22/18 , C08F22/20 , C08G65/00 , C08G65/332 , C09D4/00
CPC分类号： C08G65/3322 , C08F22/105 , C08F22/18 , C08F22/20 , C08G65/007 , C08G65/3326
摘要： A fluorinated polymerizable compound useful for fabricating planar optical devices includes at least one fluorinated alkylene or alkylene ether moiety and at least two terminal acrylate moieties, each terminal acrylate moiety being connected to one of the fluorinated alkylene or fluorinated alklene eher moieties by an ester linking group. The fluorinated polymerizable compounds, or macromers, of this invention are useful for forming optical components exhibiting a refractive index comparable to that of glass fiber waveguides, while also exhibiting very low absorption losses. Polymerizable compositions suitable for preparing optical components can be prepared by combining the macromers of the invention with a photoinitiator. Conventional optical monomers may also be employed, if desired.
摘要翻译：用于制造平面光学器件的含氟可聚合化合物包括至少一个氟化亚烷基或亚烷基醚部分和至少两个末端丙烯酸酯部分，每个末端丙烯酸酯部分通过酯连接基团连接到一个氟化亚烷基或氟化烷基酯部分。本发明的氟化可聚合化合物或大分子单体可用于形成具有与玻璃纤维波导相当的折射率的光学组分，同时也显示出非常低的吸收损失。适用于制备光学组分的可聚合组合物可以通过将本发明的大分子单体与光引发剂组合来制备。如果需要，也可以使用常规的光学单体。

8. 发明申请

WO0250583A2 OPTICAL DEVICES MADE FROM RADIATION CURABLE FLUORINATED COMPOSITIONS 审中-公开
标题翻译：从辐射可固化氟化组合物制成的光学器件
公开(公告)号：WO0250583A2
公开(公告)日：2002-06-27
申请号：PCT/US0148213
申请日：2001-12-13
申请人： CORNING INC
发明人： BLOMQUIST ROBERT , ELDADA LOUAY , NORWOOD ROBERT , XU BAOPEI
IPC分类号： G02B6/13 , C08F2/46 , C08F2/48 , C08F22/18 , C08F22/20 , C08F299/00 , C08G65/00 , G02B1/04 , G02B5/18 , G02B6/10 , G02B6/12 , G02B6/122 , G02B6/124 , G02F1/00 , G03F7/038 , G02B6/00
CPC分类号： C08F22/18 , C08F22/20 , C08G65/007 , G02B1/045 , G02B6/02057 , G02B6/105 , G02B6/1221 , G02B6/124 , G02B6/13 , G02B2006/12107 , G02F1/0009 , G02F2202/023 , Y10S430/108
摘要： The invention provides organic optical waveguide devices which employ perfluoropolymeric materials having low optical loss and low birefringence. An optical element has a substrate; a patterned, light transmissive perfluoropolymer core composition; and a light reflecting cladding composition on the pattern of the core. Writing of high-efficiency waveguide gratings is also disclosed.
摘要翻译：本发明提供使用具有低光损耗和低双折射的全氟聚合物材料的有机光波导器件。光学元件具有基板; 图案化的，透光的全氟聚合物芯组合物; 以及在芯的图案上的光反射包层组合物。还公开了高效波导光栅的写入。

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