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    • 2. 发明申请
    • テトラアルキルアンモニウム塩水溶液の製造方法
    • 水杨酸钠盐溶液的制备方法
    • WO2015016230A1
    • 2015-02-05
    • PCT/JP2014/069973
    • 2014-07-29
    • 株式会社トクヤマ
    • 渡邉 淳梅津 直幸山下 喜文
    • C02F1/42B01J49/00C07C209/84C07C211/63
    • B01J39/04B01J47/02B01J49/06B01J49/60
    •  フォトレジスト現像廃液からテトラアルキルアンモニウム塩水溶液を製造する方法であって、水素イオン型の陽イオン交換樹脂が充填された充填塔に、テトラアルキルアンモニウム水酸化物を含有するフォトレジスト現像廃液を通液することにより、陽イオン交換樹脂にテトラアルキルアンモニウムイオンを吸着させる吸着工程と、吸着工程において吸着されたテトラアルキルアンモニウムイオンをテトラアルキルアンモニウム塩の水溶液として溶離する溶離工程とを含み、吸着工程において、充填塔から排出される排出液の物性値を測定するとともに、該物性値が所定の閾値以上に変化した時点で、フォトレジスト現像廃液の通液を一旦中断し、充填塔中の陽イオン交換樹脂を逆洗する逆洗工程を行い、その後充填塔へのフォトレジスト現像廃液の通液を再開する、テトラアルキルアンモニウム塩水溶液の製造方法。
    • 从光致抗蚀剂显影废液制备四烷基铵盐水溶液的方法包括通过使含有四烷基氢氧化铵的光致抗蚀剂显影废液通过填充有氢离子的填充柱而使阳离子交换树脂中的四烷基铵离子吸附的吸附步骤 型阳离子交换树脂,以及作为四烷基铵盐的水溶液洗脱吸附步骤中吸附的四烷基铵离子的洗脱步骤。 在吸附工序中,测定从填充塔排出的流出物的物性值,当物性值变为规定阈值以上时,临时中断光致抗蚀剂废液的流动,进行回洗工序 其中填充塔中的阳离子交换树脂被反冲洗,然后重新开始将光致抗蚀剂显影废液通过到填充柱。
    • 5. 发明申请
    • DEVICE AND METHOD FOR RECOVERING A RECOVERING MATERIAL FROM A RECOVERING FLUID CONTAINING THE RECOVERING MATERIAL
    • 用于从包含回收材料的回收流体中回收回收材料的装置和方法
    • WO2012168091A1
    • 2012-12-13
    • PCT/EP2012/059773
    • 2012-05-24
    • ATOTECH DEUTSCHLAND GMBHHEYDECKE, JensKÜHNE, Sebastian
    • HEYDECKE, JensKÜHNE, Sebastian
    • C22B3/02C22B3/24C22B3/42C22B23/00C02F1/42C23C18/16C23C18/32B01D61/44B01D61/52
    • B01D15/203B01D15/206B01J39/07B01J47/022B01J47/026B01J49/06B01J49/53C02F1/42C02F2001/422C02F2001/425C02F2101/20C02F2103/16C02F2303/16C22B3/02C22B3/24C22B3/42C22B23/0461C23C18/1617C23C18/32C23C18/36C25D5/12C25D21/22Y02P10/234
    • To achieve high efficiency in regeneration of waste fluid from metal plating electrolytes for example, a device and a method for recovering a recovering material from a recovering fluid containing the recovering material are provided, wherein the device comprises at least one container C, the at least one container C comprising at least one sorption material, the at least one sorption material forming at least one sorption bed SB in the at least one container C and the sorption bed SB allows the fluid to flow there through. The at least one container C comprises at least one means for fixing ML, EP, FM, MO the at least one sorption bed SB to compensate for a volume change VC thereof. The method comprises a) loading the recovering material, in a loading step, to at least one sorption material forming at least one sorption bed S which is comprised in at least one container C by bringing a recovering fluid containing the recovering material into contact with the at least one sorption material; b) unloading the recovering material, in a regenerating step, from the at least one sorption material by bringing a regenerant fluid into contact with the at least one sorption material which is loaded with the recovering material and loading the recovering material to the regenerant fluid, and c) fixing the at least one sorption bed (SB) to compensate for a volume change (VC) thereof.
    • 为了实现例如从金属电镀电解质的废液再生的高效率,提供了一种用于从包含回收材料的回收流体中回收回收材料的装置和方法,其中该装置包括至少一个容器C,至少 包括至少一种吸附材料的一个容器C,在至少一个容器C中形成至少一个吸附床SB的吸附材料SB和吸附床SB允许流体在那里流过。 至少一个容器C包括用于固定ML,EP,FM,MO至少一个吸附床SB的至少一个装置,以补偿其体积变化VC。 该方法包括:a)在装载步骤中将回收材料装载到形成至少一个吸附床S的至少一种吸附材料,所述吸附床S包含在至少一个容器C中,使含有回收材料的回收流体与 至少一种吸附材料; b)在再生步骤中,通过使再生剂流体与载有回收材料并将回收材料装载到再生剂流体的至少一种吸附材料接触而在再生步骤中卸载回收材料, 以及c)固定所述至少一个吸附床(SB)以补偿其体积变化(VC)。