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    • 1. 发明申请
    • ANLAGE ZUR PLASMAPROZESSIERUNG VON ENDLOSMATERIAL
    • 植物连续材料的等离子体处理
    • WO2007030850A1
    • 2007-03-22
    • PCT/AT2006/000377
    • 2006-09-12
    • ZIGER, PeterEISELT, Primoz
    • ZIGER, PeterEISELT, Primoz
    • H01J37/32
    • H01J37/32018H01J37/32009H01J37/32055H01J37/3266H01J37/3277H01J2237/3325
    • Die Erfindung betrifft eine Anlage zur Plasmaprozessierung eines Endlosmaterials (1) mit zumindest einer evakuierbaren Entladungskammer (3a), durch die hindurch das Endlosmaterial kontinuierlich transportierbar ist, wobei eine Energieversorgungseinrichtung (30) elektrische Entladungsenergie an Entladungsstrecken (G) zwischen einer Außenelektrode (5, 51-57) einer jeweiligen Entladungskammer und dem Endlosmaterial als Innenelektrode abgibt. Die Energieversorgungseinrichtung ist eine zur pulsförmigen Abgabe der Entladungsenergie ausgebildete inhärente Stromquelle, die zumindest eine Induktivität (32) als Energiespeicher aufweist, die mit einer ihr zugeordneten Entladungsstrecke (G) oder sukzessive mit mehreren ihr zugeordneten Entladungsstrecken zusammenschaltbar ist. Dies erhöht stark die Leistungseinkoppelbarkeit und Behandlungsgleichmäßigkeit bzw. ermöglicht sie bei verschmutzten und sehr heißen Endlosmaterialien. Auch wird das Hintereinanderschalten von mehreren Entladungskammern ohne Zwischenkontaktieren des Endlosmaterials möglich, wodurch sensible physikalische Plasmaprozesse durchgeführt werden können. Durch Anlegen eines starken Magnetfeldes (M) um das Endlosmaterial (1) wird die Leistungseinkoppelbarkeit und Behandlungsgleichmäßigkeit weiter gesteigert.
    • 本发明涉及一种系统,用于进行等离子体处理的连续材料(1)与至少一个抽真空的放电室(3a)中,连续材料经过连续地通过输送,其特征在于,电源装置(30)的放电能量进行放电的部分(G)(外电极5,51之间 -57)发射各自的放电室和所述连续的材料作为内电极。 的电力供给装置被构造成用于放电能量固有的电源,其具有至少一个电感(32)作为能量存储,与所分配的放电间隙(G)或相继用多个其放电路径中的一个连接在一起的相关联的脉冲传送。 这大大增加了Leistungseinkoppelbarkeit和治疗均匀或允许他们在肮脏和非常热的连续材料。 此外,若干放电室没有中间接触环形材料级联是可能的,那么敏感物理等离子体处理可以被执行。 通过施加强磁场(M),以连续的材料(1)被进一步增加Leistungseinkoppelbarkeit和治疗的均匀性。