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1. 发明申请

WO2014140298A3 POSITION SENSOR, SENSOR ARRANGEMENT AND LITHOGRAPHY APPARATUS COMPRISING POSITION SENSOR 审中-公开
标题翻译：位置传感器，传感器布置和包含位置传感器的平面设备
公开(公告)号：WO2014140298A3
公开(公告)日：2014-12-18
申请号：PCT/EP2014055138
申请日：2014-03-14
申请人： ZEISS CARL SMT GMBH
发明人： MONTAGNE ANTON
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G01D5/2275 , G01D5/225 , G03F7/70141 , G03F7/70258 , G03F7/7085
摘要： A position sensor for detecting a position of a measurement object (150), in particular of an optical element of a lithography apparatus is suggested, which includes a transmission coil (104; 204; 304; 404; 504; 604), a reception coil (106; 206; 306; 406; 506; 606), which is arranged in such a way that when a transmission signal (Vt, It) is applied to the transmission coil, a reception voltage (Vz, Vx) is generated at the reception coil, and an evaluation device (108; 208; 308; 408; 508; 608), which links a transmission voltage signal generated in a manner dependent on the transmission signal with a reception voltage signal generated in a manner dependent on the reception voltage and generates a sensor output signal containing information about the relative position of the measurement object with respect to the coils of the position sensor.
摘要翻译：提出了一种用于检测测量对象（150）的位置的位置传感器，特别是光刻设备的光学元件的位置传感器，其包括传输线圈（104; 204; 304; 404; 504; 604），接收线圈（106; 206; 306; 406; 506; 606），其布置成使得当发送信号（Vt，It）被施加到发送线圈时，在该发送线圈处产生接收电压（Vz，Vx）接收线圈和评估装置（108; 208; 308; 408; 508; 608），其以取决于所述发送信号的方式生成的发送电压信号与以取决于所述接收电压的方式生成的接收电压信号并且生成包含关于测量对象相对于位置传感器的线圈的相对位置的信息的传感器输出信号。

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