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1. 发明申请

WO2016051283A3 INTERFEROMETRIC SYSTEM WITH VARIABLE OPTICS FOR NON-COHERENT LIGHT SOURCE AND METHOD OF INTERFEROMETRIC SYSTEM ALIGNMENT 审中-公开
标题翻译：用于非相干光源的可变光学的干涉系统和干涉系统对准方法
公开(公告)号：WO2016051283A3
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：PCT/IB2015002350
申请日：2015-08-12
申请人： VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ , TESCAN ORSAY HOLDING A S
发明人： CHMELIK RADIM , DOSTÁL ZBYNĚK , KOLMAN PAVEL , SLABÝ TOMÁŠ , LOŠTÁK MARTIN
IPC分类号： G01B9/02 , G01B9/023 , G02B21/00 , G03H1/00 , G03H1/04
CPC分类号： G01B9/02024 , G01B9/02032 , G01B9/02047 , G01B9/0209 , G02B21/0052 , G03H1/0443 , G03H2001/005 , G03H2001/0456 , G03H2222/24 , G03H2223/23
摘要： Interferometric system with variable optics for non-coherent source of radiation and method of interferometric system alignment The invention relates to the interferometric system for creation of hologram with spatial carrier frequency comprising a source of radiation (1) with low coherence, behind which a field plane (2) optically conjugated with an output image plane (10) is arranged, a beam splitter (4) for splitting the beam of radiation into two separate branches of interferometer, an object branch with plurality of optical elements, a reference branch with plurality of optical elements, a diffraction grating (7), an extender (12), a transmission system of reflectors and a detector arranged in the output image plane (10), wherein the plurality of optical elements in the object branch includes a objective lens (5.12), wherein the objective lens used in the reference branch is not identical with the one used in the object branch, which means a significant financial saving. The system comprises object and reference input imaging systems (5.1) and (5.2) and object and reference output imaging systems (8.1) and (8.2) wherein one of them includes an optical element with variable focal length.
摘要翻译：具有用于非相干辐射源的可变光学器件的干涉测量系统和干涉系统对准方法本发明涉及用于创建具有空间载波频率的全息图的干涉测量系统，其包括具有低相干性的辐射源（1）（2）与输出图像平面（10）光学共轭;分束器（4），用于将辐射束分成干涉仪的两个独立分支，具有多个光学元件的物体分支，具有多个光学元件的参考分支光学元件，衍射光栅（7），扩展器（12），布置在输出图像平面（10）中的反射器的传输系统和检测器，其中物体分支中的多个光学元件包括物镜（5.12 ），其中在参考分支中使用的物镜与物体分支中使用的物镜不相同，这意味着显着的财政储蓄。该系统包括对象和参考输入成像系统（5.1）和（5.2）以及对象和参考输出成像系统（8.1）和（8.2），其中一个包括具有可变焦距的光学元件。

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