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    • 1. 发明申请
    • VAKUUMVENTIL
    • 真空阀
    • WO2016155976A1
    • 2016-10-06
    • PCT/EP2016/054730
    • 2016-03-07
    • VAT HOLDING AG
    • BÖHM, ChristophSTEFFEN, Roman
    • F16K51/02F16K3/02F16K3/18F16K31/04F16K31/528
    • F16K3/184F16K3/0218F16K31/043F16K31/047F16K31/5286F16K51/02
    • Das Vakuumventil umfasst ein Verschlussglied (4), welches zwischen einer Offenstellung, in der es die Ventilöffnung (2) freigibt, und einer Zwischenstellung, in der es die Ventilöffnung (2) überdeckt aber vom Ventilsitz (5) abgehoben ist, parallel zu einer Längs-Verstellrichtung (14) verstellbar ist, und welches zwischen der Zwischenstellung und einer Schließstellung, in der es am Ventilsitz (5) anliegt, parallel zu einer Quer-Verstellrichtung (15) verstellbar ist, eine das Verschlussglied (4) tragende Ventilstange (9), die parallel zur Längs-Verstellrichtung (14) sowie parallel zur Quer-Verstellrichtung (15) verschiebbar gelagert ist, ein mit der Ventilstange (9) starr verbundenes Verschiebeteil (13), und einen Antriebsmotor (25, 26), von welchem zum Verstellen des Verschlussglieds (4) zwischen der Offenstellung, der Zwischenstellung und der Schließstellung eine Antriebswelle (21, 22) um eine parallel zur Längs-Verstellrichtung (14) liegende Drehachse (23) drehbar ist. Die Antriebswelle (21, 22) weist in einem ersten Abschnitt ein Längsverschiebungs-Kurvenglied (31) eines Längsverschiebungs-Kurvengetriebes auf, welches zur Verstellung des Verschlussgliedes zwischen der Offenstellung und der Zwischenstellung mit einem Längsverschiebungs-Eingriffsglied (32) des Längsverschiebungs-Kurvengetriebes zusammenwirkt, und weist in einem zweiten Abschnitt ein Querverschiebungs-Kurvenglied (33, 34, 43) eines Querverschiebungs-Kurvengetriebes auf, welches zur Verstellung des Verschlussgliedes zwischen der Zwischenstellung und der Schließstellung mit einem Querverschiebungs-Eingriffsglied (35, 36, 44) des Querverschiebungs-Kurvengetriebes zusammenwirkt.
    • 所述真空阀包括封闭构件(4),其连接在它打开阀口(2)在其覆盖的阀口(2),但在打开位置和中间位置之间的阀座(5)平行的被抬离的纵向 -Verstellrichtung(14)是可调节的,并且其是在中间位置和关闭位置,其中它靠在所述阀座(5)之间移动,以横向调整方向平行(15)一,(4)支撑所述阀杆一个所述闭合件(9) 其被安装平行于纵向调节方向(14)且平行于调整的横向方向(15)移动,一个与阀杆(9)刚性地连接的滑动元件(13),和驱动马达(25,26),从该调整 旋转的打开位置,中间位置和驱动轴(21,22)的闭合位置之间的封闭构件(4)围绕平行的轴线的纵向调节方向(14)轴(23)是可旋转的。 驱动轴(21,22)具有在第一部分中,纵向位移凸轮齿轮的纵向位移曲线构件(31),其上用于在打开位置与所述中间位置之间的关闭构件的调节配合与纵向位移凸轮齿轮的纵向位移接合构件(32), 且在第二部分具有在横向位移曲线传输的横位移曲线构件(33,34,43),其用于在中间位置和与该横向位移凸轮齿轮的横向位移的接合构件(35,36,44)的关闭位置之间的封闭构件的调整 交互。
    • 2. 发明申请
    • PNEUMATISCHER VENTILANTRIEB
    • 气动阀驱动器
    • WO2017025302A1
    • 2017-02-16
    • PCT/EP2016/067629
    • 2016-07-25
    • VAT HOLDING AG
    • BÖHM, ChristophESCHENMOSER, Adrian
    • F15B11/046F15B15/20F15B15/28
    • F15B15/2815F15B11/046F15B11/10F15B15/04F15B15/202F15B2211/27F15B2211/329F15B2211/7053
    • Pneumatischer Ventilantrieb (1) für ein Ventil (2), insbesondere ein Vakuumventil, welcher zumindest einen Pneumatikzylinder (3) mit zumindest einem im Pneumatikzylinder (3) verschiebbar gelagerten Kolben (4) und mit zumindest zwei, auf einander gegenüberliegenden Seiten des Kolbens (4) angeordneten Zylinderhohlräumen (5, 6) aufweist, wobei jeder der Zylinderhohlräume (5, 6) jeweils mit zumindest einer Druckquelle zur Druckbeaufschlagung des jeweiligen Zylinderhohlraums (5, 6) verbunden ist, wobei eine der Druckquellen eine Konstantdruckquelle (7) zur Beaufschlagung des auf einer der Seiten des Kolbens angeordneten Zylinderhohlraums (5) mit einem konstanten Druck ist und eine andere der Druckquellen eine geregelte Druckquelle (8) zur Beaufschlagung des auf der gegenüberliegenden Seite des Kolbens (4) angeordneten Zylinderhohlraums (6) mit einem variabel regelbaren Druck ist.
    • 气动阀促动器(1)一种用于阀(2),尤其是真空阀,其包括至少一个气动汽缸(3)与至少一个气缸(3)中可移动地支承活塞(4)和具有至少两个(在活塞4的相对侧 有)布置气缸腔(5,6),每个所述气缸腔体(5,6)各具有至少一个压力源用于加压相应的气缸腔体(5,6)连接,其中一个所述的压力源,用于作用在上一个恒定的压力源(7) 是一个具有恒定压力和另一个的压力源,用于作用在所述活塞(4)的相对侧上的调节的压力源(8),设置在活塞气缸腔体(5)的侧面设置气缸腔体(6)与可变地可调节的压力。
    • 3. 发明申请
    • VAKUUMVENTILSYSTEM ZUM GEREGELTEN BETRIEB EINES VAKUUMPROZESSES
    • 用于真空过程受控操作的真空阀系统
    • WO2018083176A1
    • 2018-05-11
    • PCT/EP2017/078051
    • 2017-11-02
    • VAT HOLDING AG
    • BÖHM, ChristophSEITZ, Daniel
    • F16K51/02F16K37/00
    • Ventilsystem aus einem Vakuumventil und einer Regeleinheit, wobei das Vakuumventil einen Ventilsitz aufweist, der eine Ventilöffnung und eine die Ventilöffnung umlaufende erste Dichtfläche aufweist, und über einen Ventilverschluss zum im Wesentlichen gasdichten Verschliessen der Ventilöffnung mit einer zweiten zu der ersten Dichtfläche korrespondierenden Dichtfläche verfügt. Eine mit dem Ventilverschluss gekoppelte Antriebseinheit ist derart ausgebildet, dass der Ventilverschluss zur Bereitstellung von jeweiligen Ventilöffnungszuständen, die von jeweiligen Zuständen des Ventilverschlusses abhängen, definiert variierbar und einstellbar ist. Die Regeleinheit ist ausgebildet zur Ausführung eines eine gezielte Variation bzw. Einstellung des Ventilöffnungszustands bereitstellenden Regelprozesses durch Ansteuerung der Antriebseinheit basierend auf einer aktuell bestimmten Regelgrösse für einen Prozessparameter und einer Zielgrösse. Die Regeleinheit weist eine Überprüfungsfunktionalität zur Überwachung des Regelprozesses auf, die derart konfiguriert ist, dass bei Ausführung der Überprüfungsfunktionalität im Rahmen der Ausführung des Regelprozesses eine Serie von Zuständen des Ventilverschlusses über zumindest einen Zeitabschnitt des Regelprozesses erfasst wird und diese als aktuelle Regeldaten (21a) gespeichert werden, die aktuellen Regeldaten (21a) mit bestimmten Sollregeldaten (20,20a) verglichen werden und basierend auf dem Vergleich der aktuellen Regeldaten (21a) mit den Sollregeldaten (20,20a) eine Prozessinformation erzeugt wird.
    • 阀系统包括一个真空阀和一个控制单元,其中,所述真空阀包括:一个阀座,阀&OUML的;开口和阀Ö开口环绕第一DichtflÄ枝,和在OVER阀关闭用于基本上 提供了具有对应于第一密封表面的第二密封表面的气门开口的气密封闭。 装置,耦合到所述阀关闭驱动单元被设计成使得所述阀闭合,用于提供相应的阀与OUML;从定义的变量和可调节的阀闭合依赖BEAR NTS的各个状态HANDS ffnungszust HANDS。 所述控制单元被配置为将目标变化或阀&OUML的调整的示例性导航使用指南;通过驱动基于当前确定Regelgr&OUML驱动单元ffnungszustands-提供控制过程; SSE˚F导航用途R A处理参数和ZielgrÖ SSE。 所述控制单元具有一个导航用途DaytonaPlease导航用途fungsfunktionalitÄ吨为导航利用监测控制过程中,这是在导航用途DaytonaPlease导航用途fungsfunktionalit&AUML的示例性导航用途导向构造成使得;吨在控制过程中,一系列的状态&AUML的的示例性导航使用指南的上下文; 阀门关闭在至少一个周期的控制处理的结束被检测,并且它作为电流控制数据(21A)被存储,则当前规则数据(21A)与所确定的目标控制数据(20,20A)进行比较,并基于(在当前规则数据21的比较 )与设定值控制数据(20,20a)一起生成过程信息。

    • 5. 发明申请
    • VAKUUMVENTIL ZUM SCHLIESSEN EINES FLIESSWEGS MIT ZWEITEILIGEM VENTILTELLER
    • 真空阀用于封闭带有二级阀板的流道
    • WO2017144574A1
    • 2017-08-31
    • PCT/EP2017/054144
    • 2017-02-23
    • VAT HOLDING AG
    • BÖHM, ChristophTRONCA, MicheleWEISS, Wolfgang
    • F16K51/02F16K3/10F16K3/314F16K31/04
    • F16K51/02F16K3/10F16K3/314F16K31/041
    • Die Erfindung betrifft ein Vakuumventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs, mit einem Ventilgehäuse (1) mit einer ersten Öffnung (3) mit einer Öffnungsachse (4) und einem die erste Öffnung (3) umschliessenden Ventilsitz (5). Ferner ist ein Ventilteller (8) vorgesehen mit einem ersten Tellerabschnitt (9) mit einer äusseren Begrenzung (9a) und einem zweiten Tellerabschnitt (11), der innerhalb der äusseren Begrenzung (9a) in Richtung parallel zur Öffnungsachse (3) linear bewegbar auf dichte Weise gelagert ist. Ein Antrieb, der mit dem ersten Tellerabschnitt (9) verbunden ist, stellt eine gesteuerte Beweglichkeit des Ventiltellers (8) bereit. Der Ventilsitz (5) weist eine axial in Richtung des Ventiltellers weisende Dichtfläche (14) auf. Der erste Tellerabschnitt (9) weist eine axial in Richtung des Ventilsitzes (5) weisende erste Auflagefläche (15) auf, die derart ausgebildet ist, dass in der Geschlossenstellung (C) in einem ersten Kontaktbereich ein axial dichtender Kontakt mit der Dichtfläche (14) besteht. Die äussere Begrenzung (9a) weist eine radial nach innen weisende Innenfläche (16) auf. Der zweite Tellerabschnitt (11) hat eine radial nach aussen weisende Aussenfläche (17), die derart ausgebildet ist, dass ein radial dichtender Kontakt mit der Innenfläche (16) über einen zweiten Kontaktbereich besteht. Zumindest für bestimmte radiale Winkel um ein Zentrum des Ventiltellers (8) ist ein erster radialer Abstand von dem Zentrum bis zur ersten Auflagefläche kleiner als ein zweiter radialer Abstand von dem Zentrum bis zum zweiten Kontaktbereich.
    • 本发明涉及一种真空阀,用于基本上气密的中断与一个Ventilgeh BEAR第一ffnungsachse(4)和模头的流动路径;使用(1)与第一及Ouml;开口(3)配有一个与Ouml 打开(3)封闭阀座(5)。 此外,阀盘(8)上设置有第一板部分(9)AUML与&;在平行于&Ouml方向设置在BEAR(9a)的内OUTER限制器(9a)和第二板部分(11)外部限制(ffnungsachse 3)以密封的方式可线性移动地安装。 连接到第一板部分(9)的驱动器提供了阀盘(8)的受控移动性。 阀座(5)具有沿阀盘的方向轴向指向的密封表面(14)。 第一板部(9)具有轴向朝向阀座(5)的面向第一Auflagefl BEAR表面(15),其被设计为使得在在第一接触区域中的关闭位置(C),与Dichtfl&AUML轴向密封接触; che(14)。 外边界(9a)具有径向朝内的内表面(16)。 第二杯形部分(11)具有径向朝外的外表面(17),其形成为使得与内表面(16)的径向密封接触经由第二接触区域。 至少围绕所述阀盘的中心导航用途ř一定的径向的角度(8)是从中心到第一Auflagefl&AUML第一径向距离;比从中心到所述第二接触区域的第二径向距离更小的枝。

    • 6. 发明申请
    • VAKUUMVENTIL
    • 真空阀
    • WO2016074758A1
    • 2016-05-19
    • PCT/EP2015/002036
    • 2015-10-15
    • VAT HOLDING AG
    • BÖHM, Christoph
    • F16K31/08F16K3/20
    • F16K31/08F16K3/20
    • Ein Vakuumventil umfasst einen Ventilkörper (1), welcher eine von einem Ventilsitz umgebene Ventilöffnung (2), ein Verschlussglied (5) und eine verformbare Dichtung (7) aufweist, die am Verschlussglied (5) angeordnet ist und in einem geschlossenen Zustand des Vakuumventils mit einer Dichtfläche (8) des Ventilsitzes des Ventilkörpers (1) zusammenwirkt oder am Ventilsitz des Ventilkörpers (1) angeordnet ist und im geschlossenen Zustand des Vakuumventils mit einer Dichtfläche des Verschlussgliedes (5) zusammenwirkt, wobei die Dichtung (7) in einem geöffneten Zustand des Vakuumventils von der Dichtfläche (8) beabstandet ist. Das Vakuumventil umfasst weiters mindestens ein Magnetelement (10), welches zwischen einem inaktiven Zustand und einem aktiven Zustand verstellbar oder umschaltbar ist. Die Dichtung (7) weist ein magnetisierbares Material auf. Im geschlossenen Zustand des Vakuumventils befindet sich das mindestens eine Magnetelement (10) in seinem aktiven Zustand und ruft ein auf das magnetisierbare Material der Dichtung (7) wirkendes Magnetfeld hervor, welches eine die Dichtung (7) verformende und an die Dichtfläche (8) andrückende Kraft bewirkt.
    • 一种真空阀包括:阀本体(1),它是由阀座阀开口包围的区域(2),包括一个闭合部件(5)和可变形密封件(7),其被布置在所述封闭构件(5)上,并在真空阀的闭合状态 的密封表面(8)的阀体的阀座的(1)配合或在阀体上的阀座(1),并在真空阀的与封闭部件(5),该密封件的密封表面的关闭状态相配合(7)的打开状态 从密封表面(8)真空阀隔开。 真空阀还包括至少一个磁体元件(10),其是不活动状态和活动状态之间的可调节的或可切换的。 所述垫圈(7)包括可磁化材料。 在真空阀的闭合状态是处于其工作状态,所述至少一个磁性元件(10),并调用一个在垫圈的可磁化材料(7)作用的磁场产生的,其变形的垫圈(7)和所述密封表面(8)andrückende 力引起。