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    • 5. 发明申请
    • VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR MIKROSTRUKTURIERUNG EINES SPEICHERMEDIUMS SOWIE SPEICHERMEDIUM MIT EINEM MIKROSTRUKTURIERTEN BEREICH
    • DEVICE AND METHOD FOR MICRO存储介质和存储设备与微区
    • WO2007116000A2
    • 2007-10-18
    • PCT/EP2007/053328
    • 2007-04-04
    • TESA SCRIBOS GMBHNOEHTE, SteffenTHOMANN, Robert
    • NOEHTE, SteffenTHOMANN, Robert
    • G03F7/20G03H1/08
    • G03F7/70291G02B19/0014G02B19/0052G02B21/08G02B21/245G02B27/0081G02B27/0955G03H1/0891G03H2001/0224G03H2001/048
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Mikrostrukturierung eines Speichermediums (2), mit einer Strahlungsquelle (4) zum Erzeugen eines zumindest teilweise kohärenten Strahls aus elektromagnetischer Strahlung, mit einem Modulator (6) mit einer Mehrzahl von einzeln schaltbaren Modulatorelementen, mit einer Strahlformungsoptik (8) zum Ausleuchten des Modulators (6), mit einer Verkleinerungsoptik (10) zum Verkleinern des vom Modulator (6) abgestrahlten Strahls und mit einem Transporttisch (12) zum Bewegen des Speichermediums (2) relativ zur Verkleinerungsoptik (10), bei der das technische Problem, Mikrostrukturierungen und individuelle dif fraktive optische Elemente (DOE), insbesondere computergenerierte Hologramme mit hoher Geschwindigkeit und mit hoher Schreibenergie schreiben zu können, dadurch gelöst ist, dass die Verkleinerungsoptik (10) beugungsbegrenzt ausgebildet ist und dass die Verkleinerungsoptik (10) ausgehend von der Fläche der einzelnen Modulatorelemente eine Flächenverkleinerung von mindestens 25 erzeugt. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Steuerung der Vorrichtung und ein damit beschriebenes Speichermedium.
    • 本发明涉及一种用于微结构的存储介质(2)中,用一个辐射源(4),用于产生电磁辐射的至少部分相干的光束,具有调制器(6),其具有多个可单独切换的调制器元件,具有光束整形光学器件(8) 用于照明调制器(6),以用于通过调制器减少了(2)相对于上述缩小光学系统(10),移动存储介质中的缩小光学系统(10)辐射(6)光束,并用输送台(12),在该技术问题 写,微结构和个别DIF fraktive光学元件(DOE),特别是计算机生成的全息图具有高的速度和高的写功率,是这样实现的缩小光学系统的限制(10)形成衍射并且该缩小光学系统(10)从表面开始 各个调制器元件PL 至少25的产生enverkleinerung 本发明还涉及一种用于控制所述设备和这样写入存储介质的方法。
    • 7. 发明申请
    • LITHOGRAPH MIT BEWEGTER LINSE UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DIGITALER HOLOGRAMME IN EINEM SPEICHERMEDIUM
    • 凭借对存储设备生产数全息图,活动透镜和方法版画
    • WO2002079881A2
    • 2002-10-10
    • PCT/EP2002/003517
    • 2002-03-28
    • TESA SCRIBOS GMBHNOEHTE, SteffenDIETRICH, ChristophTHOMANN, RobertSTADLER, StefanLEIBER, Jörn
    • NOEHTE, SteffenDIETRICH, ChristophTHOMANN, RobertSTADLER, StefanLEIBER, Jörn
    • G03F7/20
    • G03H1/08G03F7/70383G03H1/0891
    • Die Erfindung betrifft einen Lithographen zum Herstellen digitaler Hologramme in einem Speichermedium (4), mit einer Lichtquelle (6, 10) zum Erzeugen eines Schreibstrahls (12) mit einem vorgegebenen Strahlquerschnitt, mit einer Schreiblinse (14) zum Fokussieren des Schreibstrahls (12) auf das zu beschreibende Speichermedium (4), wobei die Schreiblinse (14) in einer Linsenhalterung (16) angeordnet ist, und mit Antriebsmitteln zum zweidimensionalen Bewegen des Schreibstrahls relativ zum Speichermedium. Das technische Problem, mittels optischer Lithographie computergenerierte Hologramme möglichst schnell und mit geringem Aufwand zu schreiben, wird dadurch gelöst, dass eine erste Antriebsvorrichtung (18) zum Bewegen der Linsenhalterung (16) im wesentlichen senkrecht zum Schreibstrahl (12) vorgesehen ist und dass die Apertur der Schreiblinse (14) kleiner als der Strahlquerschnitt des Schreibstrahls (12) ist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum lithographischen Erzeugen eines Hologramms in einem Speichermedium.
    • 本发明涉及一种光刻用于在存储介质(4)产生的数字全息图,具有光源(6,10),用于产生与预定义的光束横截面的写光束(12),具有用于聚焦写光束(12)在书写透镜(14) 将要描述的,存储介质(4),其中,在透镜保持架(16)的写入透镜(14)被布置,并与驱动器装置,用于相对于所述存储介质的写光束二维地移动。 尽可能快速且毫不费力地写入光学光刻计算机生成的全息图的装置的技术问题,是这样实现的用于基本上移动透镜保持器(16)垂直于所述写光束的第一驱动装置(18)(12)设置,并且所述孔 写入透镜(14)比所述写光束(12)的光束横截面。 本发明还涉及一种用于平版印刷的制造在存储介质中的全息图的方法。