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    • 1. 发明申请
    • MIKROELEKTRONISCHE ELEKTRODENANORDNUNG
    • 微电子电极阵列
    • WO2017137269A1
    • 2017-08-17
    • PCT/EP2017/051837
    • 2017-01-27
    • TECHNISCHE UNIVERSITÄT DARMSTADT
    • RADETINAC, AldinMANI, ArzhangKOMISSINSKIY, PhilippALFF, LambertNIKFALAZAR, Mohammad
    • H01G7/06H01G4/12H01L49/02
    • H01G4/008H01G4/1227H01G4/33H01G7/06H01L28/57H01L28/75
    • Bei einer mikroelektronischen Elektrodenanordnung (1) mit einer auf einem Substrat (2) angeordneten ersten Elektrode (3), wobei die erste Elektrode (3) eine dünne Schicht aus einem ersten Elektrodenmaterial mit einem Festkörpergitter aufweist, wobei das erste Elektrodenmaterial bei Kontakt mit sauerstoffhaltigen Verbindungen oxidiert und eine perowskitische oder von einem Perowskit abgeleitete Kristallstruktur aufweist, und wobei die Elektrode (3) eine von dem Substrat (2) abgewandte funktionale Oberfläche (4) aufweist, ist auf der funktionalen Oberfläche (4) der Elektrode (3) eine Trennschicht (5) angeordnet, die eine die Eigenschaften der Elektrode (3) verändernde Oxidation des Elektrodenmaterials im Bereich der funktionalen Oberfläche (4) verhindert. Auf der Trennschicht (5) ist eine elektrisch isolierende Funktionsschicht (6) angeordnet und auf der elektrisch isolierenden Funktionsschicht (6) eine zweite Elektrode (7) angeordnet. In vorteilhafter Weise ist vorgesehen, dass das erste Elektrodenmaterial eine der Verbindungen SrMoO 3 , SrMoO 3-a N a BaMoO 3 , SrVO 3 , oder Sr 2 MoO 4 aufweist und dass die Trennschicht (5) eine der Verbindungen SrTiO 3 , DyScO 3 , GdScO 3 oder SrHfO 3 aufweist. Die Funktionsschicht (6) ist eine Verbindung mit der Summenformel Ba x Sr 1-x Ti 1±y O 3±z , vorzugsweise Ba 0,5 Sr 0,5 TiO 3 . Die Elektrodenanordnung (1) bildet einen Varaktor.
    • 在(1)设置以与一个在衬底(2)的第一电极(3),其中,所述第一电极(3),其具有的固体&ouml的第一电极材料的d导航用途NNE层的微电子电极组件; 具有rpergitter,其中在接触的第一电极材料与含有含氧化合物氧化并具有钙钛矿或从钙钛矿晶体结构衍生的,并且其中,所述电极(3)(2)的面向从功能面BEAR表面离开基板(4),它是上 设置的表面(4)的电极(3)的剥离层(5),该电极的特性(3)版本BEAR;功能面&AUML防止枝(4);在所述功能表面&AUML的区域中的电极材料的ndernde氧化。 在隔离层(5)上布置电绝缘功能层(6),并且在电绝缘功能层(6)上布置第二电极(7)。 有利的是,它提供的是,第一电极材料化合物SrMoO <子> 3 ,SrMoO <子> 3-A 名词<子>一 bamoo <子> 3 ,SRVO <子> 3 或Sr <子> 2 的MoO <子> 4 和隔离层(5)的化合物的SrTiO <子之一> 3 ,DyScO <子> 3 ,GdScO <子> 3 或SrHfO <子> 3 了。 功能层(6)是与式巴<子>化合物X SR <子> 1-x 钛<子> 1个±y的 0 <子> 3±ž< 优选Ba 0.5 Sr 0.5 0.5 TiO 3。优选Ba 0.5 Sr 0.5 0.5 TiO 3。 电极组件(1)构成变容二极管。