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    • 10. 发明申请
    • VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR DETEKTION EINER SUBSTANZ
    • 设备和检测方法的物质
    • WO2004017063A2
    • 2004-02-26
    • PCT/DE2003/002226
    • 2003-07-03
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFTGABL, ReinhardWERSING, WolframFEUCHT, Hans-DieterZEININGER, Heinrich
    • GABL, ReinhardWERSING, WolframFEUCHT, Hans-DieterZEININGER, Heinrich
    • G01N29/02
    • G01N33/54373G01N29/022G01N29/036G01N2291/0255G01N2291/0256G01N2291/02809G01N2291/0422G01N2291/0426G01N2291/045
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Detektion mindestens einer Substanz eines Fluids (9). Die Vorrichtung weist mindestens einen piezoakustischen Resonator (2) mit mindestens einer piezoelektrischen Schicht (4), einer an der piezoelektrischen Schicht angeordneten Elektrode (5), mindestens einer an der piezoelektrischen Schicht angeordneten weiteren Elektrode (6) und einem Oberflächenabschnitt (8) zur Sorption der Substanz des Fluids auf, wobei die piezoelektrische Schicht, die Elektroden und der Oberflächenabschnitt derart aneinander angeordnet sind, dass eine elektrische Ansteuerung der Elektroden zu einer Schwingung (51, 52) des Resonators mit einer Resonanzfrequenz führt und die Resonanzfrequenz abhängig ist von einer am Oberflächenabschnitt sorbierten Menge der Substanz. Die Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Schichtdicke (7) der piezoelektrischen Schicht aus dem Bereich von einschliesslich 0,5 µm bis einschliesslich 20 µm und die Resonanzfrequenz der Schwingung aus dem Bereich von einschliesslich 500 MHz bis einschliesslich 2 GHz ausgewählt ist. Die Vorrichtung ist ein Massensensor mit einem piezoakustischen Hochfrequenz-Dünnfilmresonator. Die Vorrichtung zeichnet sich durch eine hohe Massensensitivität im Bereich von wenigen Hz×pg -1 ×cm 2 aus und eine kleine laterale Ausdehnung. Die Vorrichtung wird als Bio- oder als Gassensor eingesetzt.
    • 本发明涉及一种装置(1),用于检测流体(9)中的至少一种物质。 该装置具有用于吸附至少一种压电声波谐振器(2)具有至少一个压电层(4),设置在压电层的电极的电极(5),至少一个设置在压电层另一电极(6)和一个表面部分(8) 的物质的流体的,压电层,所述电极和所述表面部分被布置成彼此,使得电极的与谐振频率引线和谐振频率的谐振器的振荡(51,52)的电控制是依赖于最表面部 该物质的吸附量。 该装置的特征在于:从所述范围内的压电体层的层厚度(7)和包括0.5微米至20微米以下,并且从所述范围内的振动的共振频率,并且包括500 MHz至2 GHz的包括选定的。 该装置是具有压电声学高频薄膜谐振器的质量传感器。 该装置的特征在于在几个Hzxpg <-1> XCM <2>和一个小的横向范围的范围内的高的质量灵敏度。 该装置被用作生物或作为气体传感器。