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    • 1. 发明申请
    • VORRICHTUNG ZUR PLASMA-BEHANDLUNG VON HOHLKÖRPERN
    • 设备技术空心体等离子体处理
    • WO2012097987A1
    • 2012-07-26
    • PCT/EP2012/000225
    • 2012-01-19
    • SCHOTT AGBICKER, MatthiasLOHMEYER, ManfredBAUCH, Hartmut
    • BICKER, MatthiasLOHMEYER, ManfredBAUCH, Hartmut
    • C23C16/04B65D23/02H01J37/32
    • C23C16/045H01J37/32394H01J37/3244H01J37/32568H01J37/32596H01J37/32715
    • Es wird eine Vorrichtung zur Plasma-Behandlung von Werkstücken, insbesondere Hohlkörpern, mit einer Behandlungszone (19), in der das Werkstück (7) mittels einer Haltevorrichtung (6) aufgenommen wird und eine an ein elektromagnetisches Feld angeschlossene Elektrodenanordnung (11) zur Erzeugung eines Plasmas und mit einer Einrichtung zur Einleitung eines Prozessgases in einen Plasmabereich innerhalb der Behandlungszone beschrieben. Die Elektrodenanordnung (11) weist zumindest an ihrer dem Plasmabereich zugewandten Oberfläche ein dielektrisches Schutzelement (41) zur Vermeidung von Oberflächenbeeinträchtigungen des zu behandelnden Werkstücks (7) bei dessen Einführung, Lagerung während der Behandlung und Entnahme auf. Die Vorrichtung zeichnet sich durch wenigstens ein aus einem dielektrischen Kunststoff gebildetes, an der Haltevorrichtung vorgesehenes Fixierelement zur Festlegung des Werkstücks darin aus.
    • 提供了一种用于工件的等离子体处理的装置,特别是中空体,具有处理区域(19)中,通过保持装置(6)的装置接收在所述工件(7)和连接到电磁场电极装置(11),用于产生一个 描述血浆,并具有用于将处理气体成等离子体区域中的处理区域内的装置。 所述电极组件(11)具有至少在其表面面向所述等离子体区域中的电介质保护元件(41),以避免在表面上产生不利影响待治疗工件(7)其引入期间,存储处理和戒断期间。 该装置的特征在于,由塑料材料形成的至少一个电介质,设置在保持装置用于固定工件由固定构件上。