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1. 发明申请

WO2011036590A2 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM REINIGEN EINES PUMPENRAUMES EINER VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：装置和方法用于清洁泵房真空泵
公开(公告)号：WO2011036590A2
公开(公告)日：2011-03-31
申请号：PCT/IB2010/054043
申请日：2010-09-08
申请人： ROTH & RAU AG , HEINRICH, Marcel , FALSNER, Martin
发明人： HEINRICH, Marcel , FALSNER, Martin
IPC分类号： F04C29/00
CPC分类号： F04C25/02 , F04C18/123 , F04C29/0092
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Reinigen eines Pumpenraumes einer Vakuumpumpe, mit einem mit dem Pumpenraum koppelbaren Zuführelement zur Leitung eines Spülmittels in den Pumpenraum, sowie ein Verfahren zum Reinigen eines Pumpenraumes einer Vakuumpumpe, wobei durch ein mit dem Pumpenraum gekoppeltes Zuführelement Spülmittel in den Pumpenraum gepumpt wird. Es ist die Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung und ein Verfahren der genannten Gattung mit verbesserter Reinigungswirkung zur Verfügung zu stellen. Die Aufgabe wird durch eine Vorrichtung dadurch gelöst, dass das Zuführelement mehrere Lufteintrittsöffnungen an verschiedenen Seiten des Zuführelements aufweist, in dem Zuführelement eine Spülmitteldüse angeordnet ist und in dem Zuführelement wenigstens eine Strömungsquerschnittsverjüngung vorgesehen ist. Die Aufgabe der Erfindung wird weiterhin durch ein gattungsgemäßes Verfahren gelöst, wobei durch mehrere Lufteintrittsöffnungen des Zuführele¬ ments Luft in das Zuführelement gepumpt wird, das Spülmittel durch eine Spülmitteldüse geleitet und damit ein Spülmittel-Luft-Gemisch erzeugt wird und durch eine Strömungsquerschnittsverjüngung in dem Zuführelement ein Volumenstrom des Spülmittel-Luft-Gemisches begrenzt wird.
摘要翻译：本发明涉及一种装置，用于清洁真空泵的泵室具有可耦合到所述泵腔室供应元件用于进行冲洗剂进入泵腔，以及用于清洁真空泵的泵室，通过一个连接到所述泵室供给洗涤剂到泵室的方法泵。它是提供对本发明的目的是提供上述类型的装置和方法，具有改善的清洁效果。该目的是通过一种装置，其供电部件包括多个在供给部件，在Spülmitteldüse送进构件，并具有在进给部件上设有至少横截面变窄的流的不同侧面的进气口来实现的。本发明的目的是通过一种通用的方法，其中空气是通过多个Zuführele¬发言：的空气入口开口泵入进料构件还解决，通过流动横截面在馈送锥形产生通过Spülmitteldüse和洗涤剂 - 空气混合物通过洗涤剂冲洗剂和空气的混合物的体积流量是有限的。

2. 发明申请

WO2013017971A1 REINIGUNGSMODUL UND REINIGUNGSVERFAHREN FUER SUBSTRATE UND/ODER SUBSTRATTRAEGER 审中-公开
标题翻译：清理模块和清洗过程衬底及/或SUBSTRATTRAEGER
公开(公告)号：WO2013017971A1
公开(公告)日：2013-02-07
申请号：PCT/IB2012/053465
申请日：2012-07-06
申请人： ROTH & RAU AG , FALSNER, Martin , JUNGHANS, Robin , WEISSBACH, Stephan
发明人： FALSNER, Martin , JUNGHANS, Robin , WEISSBACH, Stephan
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67028
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Substrat- und/oder Substratträgerreinigungsmodul mit wenigstens einem Substratträger, welcher einer liegender Aufnahme wenigstens eines flächigen Substrates dient, und betrifft ferner ein entsprechendes Substrat- und/oder Substratträgerreinigungsverfahren. Um eine kostengünstige, häufige und effektive Reinigung von Substrat und Substratträger zu ermöglichen, weist das erfindungsgemäße Substrat- und/oder Substratträgerreinigungsmodul ein Transportsystem für den Substratträger, auf welchem der Substratträger durch das Substrat- und/oder Substratträgerreinigungsmodul in einer horizontalen Transportebene in einer Transportrichtung bewegbar ist, eine ionisierende Luftvorhangserzeugungsvorrichtung, unter welcher der Substratträger mittels des Transportsystems hindurch bewegbar ist, und eine in Transportrichtung des Substratträgers vor der ionisierenden Luftvorhangserzeugungsvorrichtung über dem Substratträger vorgesehene Partikelabsaugvorrichtung auf. Das erfindungsgemäße Substrat- und/oder Substratträgerreinigungsverfahren weist folgende Schritte auf: Bewegen des Substratträgers durch ein Substrat- und/oder Substratträgerreinigungsmodul mittels eines Transportsystems in einer horizontalen Transportebene in einer Transportrichtung, Erzeugen eines ionisierten Luftvorhanges, der auf eine Oberfläche des Substratträgers gerichtet ist, mittels einer ionisierenden Luftvorhangserzeugungsvorrichtung, unter wel- cher der Substratträger mittels des Transportsystems hindurch bewegt wird, und Absaugen von Partikeln von der Oberfläche der Substrate und des Substratträgers mit einer in der Transportrichtung des Substratträgers vor der ionisierenden Luftvorhangserzeugungsvorrichtung, über dem Substratträger vorgesehenen Partikelabsaugvorrichtung.
摘要翻译：本发明涉及一种衬底和/或衬底载体清洁模块与供应躺在容纳至少一个片状基材，并进一步涉及一种相应的底物和/或基片载体清洁过程的至少一个基板承载器。为了使一个成本低，在基板和基板载体的频繁和有效的清洗根据本发明和/或衬底载体清洁模块包括基板，该基板支撑件的输送系统在其上通过在运输方向上的衬底和/或衬底载体清洁模块在水平输送平面基板载体是可移动的是上的电离空气帘形成装置中，在其下通过的输送系统的装置中的基片载体可以通过移动，并且在与电离空气幕生成装置经由所述衬底载体提供Partikelabsaugvorrichtung基板载体的传送方向。根据本发明和/或衬底载体清洁工艺，所述衬底包括下列步骤：用一个衬底和/或衬底载体清洁模块通过传送系统的装置在水平输送平面移动所述基片载体运输的方向，产生由装置引导到衬底载体的表面的离子化空气幕电离空气帘形成装置被下从基片的表面和衬底的载体与在针对电离空气帘形成设置在所述衬底支撑件Partikelabsaugvorrichtung设备中的衬底支架的传输方向什么彻通过经传输系统来颗粒的基片载体，和抽吸移动。

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