专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2013017971A1 REINIGUNGSMODUL UND REINIGUNGSVERFAHREN FUER SUBSTRATE UND/ODER SUBSTRATTRAEGER 审中-公开
标题翻译：清理模块和清洗过程衬底及/或SUBSTRATTRAEGER
公开(公告)号：WO2013017971A1
公开(公告)日：2013-02-07
申请号：PCT/IB2012/053465
申请日：2012-07-06
申请人： ROTH & RAU AG , FALSNER, Martin , JUNGHANS, Robin , WEISSBACH, Stephan
发明人： FALSNER, Martin , JUNGHANS, Robin , WEISSBACH, Stephan
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67028
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Substrat- und/oder Substratträgerreinigungsmodul mit wenigstens einem Substratträger, welcher einer liegender Aufnahme wenigstens eines flächigen Substrates dient, und betrifft ferner ein entsprechendes Substrat- und/oder Substratträgerreinigungsverfahren. Um eine kostengünstige, häufige und effektive Reinigung von Substrat und Substratträger zu ermöglichen, weist das erfindungsgemäße Substrat- und/oder Substratträgerreinigungsmodul ein Transportsystem für den Substratträger, auf welchem der Substratträger durch das Substrat- und/oder Substratträgerreinigungsmodul in einer horizontalen Transportebene in einer Transportrichtung bewegbar ist, eine ionisierende Luftvorhangserzeugungsvorrichtung, unter welcher der Substratträger mittels des Transportsystems hindurch bewegbar ist, und eine in Transportrichtung des Substratträgers vor der ionisierenden Luftvorhangserzeugungsvorrichtung über dem Substratträger vorgesehene Partikelabsaugvorrichtung auf. Das erfindungsgemäße Substrat- und/oder Substratträgerreinigungsverfahren weist folgende Schritte auf: Bewegen des Substratträgers durch ein Substrat- und/oder Substratträgerreinigungsmodul mittels eines Transportsystems in einer horizontalen Transportebene in einer Transportrichtung, Erzeugen eines ionisierten Luftvorhanges, der auf eine Oberfläche des Substratträgers gerichtet ist, mittels einer ionisierenden Luftvorhangserzeugungsvorrichtung, unter wel- cher der Substratträger mittels des Transportsystems hindurch bewegt wird, und Absaugen von Partikeln von der Oberfläche der Substrate und des Substratträgers mit einer in der Transportrichtung des Substratträgers vor der ionisierenden Luftvorhangserzeugungsvorrichtung, über dem Substratträger vorgesehenen Partikelabsaugvorrichtung.
摘要翻译：本发明涉及一种衬底和/或衬底载体清洁模块与供应躺在容纳至少一个片状基材，并进一步涉及一种相应的底物和/或基片载体清洁过程的至少一个基板承载器。为了使一个成本低，在基板和基板载体的频繁和有效的清洗根据本发明和/或衬底载体清洁模块包括基板，该基板支撑件的输送系统在其上通过在运输方向上的衬底和/或衬底载体清洁模块在水平输送平面基板载体是可移动的是上的电离空气帘形成装置中，在其下通过的输送系统的装置中的基片载体可以通过移动，并且在与电离空气幕生成装置经由所述衬底载体提供Partikelabsaugvorrichtung基板载体的传送方向。根据本发明和/或衬底载体清洁工艺，所述衬底包括下列步骤：用一个衬底和/或衬底载体清洁模块通过传送系统的装置在水平输送平面移动所述基片载体运输的方向，产生由装置引导到衬底载体的表面的离子化空气幕电离空气帘形成装置被下从基片的表面和衬底的载体与在针对电离空气帘形成设置在所述衬底支撑件Partikelabsaugvorrichtung设备中的衬底支架的传输方向什么彻通过经传输系统来颗粒的基片载体，和抽吸移动。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式