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    • 1. 发明申请
    • HALL-SENSORELEMENT UND VERFAHREN ZUR MESSUNG EINES MAGNETFELDS
    • 霍尔传感器元件和方法用于测量磁场
    • WO2011000601A1
    • 2011-01-06
    • PCT/EP2010/055904
    • 2010-04-30
    • ROBERT BOSCH GMBHHELLWIG, WolfgangTILS, ValentinEBERHARDT, FriedemannRUEBENACKE, Stefan
    • HELLWIG, WolfgangTILS, ValentinEBERHARDT, FriedemannRUEBENACKE, Stefan
    • G01R33/07H01L43/04H01L43/06H01L43/14
    • G01R33/07G01R33/075H01L43/065
    • Die vorliegende Erfindung schafft ein Hall-Sensorelement mit einem Substrat, das eine Hauptoberfläche aufweist, mit einem elektrisch leitfähigen aktiven Gebiet, das sich von der Hauptoberfläche in das Substrat erstreckt, und mit einer elektrisch leitfähigen ersten vergrabenen Schicht im Substrat, die das aktive Gebiet an einer ersten unteren Kontaktfläche kontaktiert. Unter einem weiteren Gesichtspunkt schafft die Erfindung ein Verfahren zur Messung eines Magnetfeldes mittels eines derartigen Hall-Sensorelements, bei dem ein elektrischer Messstromes zwischen einer ersten oberen Kontaktelektrode an der Hauptoberfläche und der ersten unteren Kontaktfläche durch das aktive Gebiet geleitet wird. Am aktiven Gebiet wird entlang einer Strecke, die geneigt zu einer Verbindungslinie zwischen der ersten unteren Kontaktfläche und der ersten oberen Kontaktelektrode verläuft, eine Hall-Spannung abgegriffen. Alternativ wird ein Messstrom über eine solche Strecke durch das aktive Gebiet geleitet und eine Hall-Spannung zwischen der ersten oberen Kontaktelektrode und der ersten unteren Kontaktfläche abgegriffen.
    • 本发明提供了一种霍尔传感器元件,其包括具有与从主表面延伸到衬底的导电有源区的主表面和在所述衬底具有导电的第一掩埋层的衬底,所述有源区 由第一下接触表面接触。 在另一个方面,本发明提供由这样的霍尔传感器元件,其中,第一上接触电极的主表面上,并通过有源区域中的第一下接触表面之间的电测量电流被传导的装置测量磁场的方法。 在有源区上,一个霍尔电压沿着倾斜于所述第一下接触表面和所述第一上接触电极之间的连接线的路径测量。 可替换地,感测电流通过有源区经过这样的距离和攻丝的第一上接触电极和第一下接触表面之间的霍尔电压。