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1. 发明申请

WO2015039741A1 VERFAHREN ZUM MESSEN DER EINDRINGTIEFE EINES LASERSTRAHLS IN EIN WERKSTÜCK SOWIE LASERBEARBEITUNGSVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：方法用于测量激光束穿透深度工件与激光处理装置
公开(公告)号：WO2015039741A1
公开(公告)日：2015-03-26
申请号：PCT/EP2014/002483
申请日：2014-09-13
申请人： PRECITEC OPTRONIK GMBH
发明人： SCHÖNLEBER, Martin , KOGEL-HOLLACHER, Markus , BAUTZE, Thibault , FRAAS, Christian
IPC分类号： G01B9/02 , B23K26/02
CPC分类号： G01B11/22 , B23K26/03 , B23K26/046 , B23K26/048 , G01B9/02019 , G01B9/02044 , G01B9/02091
摘要： Bei einem Verfahren zum Messen der Eindringtiefe eines Laserstrahls (19) in ein Werkstück (24, 26) wird der Laserstrahl mit Hilfe einer in einem Bearbeitungskopf angeordneten Fokussieroptik (14) in einem Brennfleck (22) fokussiert. Der Brennfleck erzeugt dabei in dem Werkstück eine Dampfkapillare (88). Ein optischer Kohärenztomograph (40) erzeugt einen ersten Messstrahl (70a) und einen zweiten Messstrahl (70b). Der erste Messstrahl (70a) wird auf einen ersten Messpunkt (MPa) am Grund der Dampfkapillare (88) gerichtet, um dadurch einen ersten Abstand (a1) zwischen einem Referenzpunkt und dem ersten Messpunkt (MPa) zu messen. Gleichzeitig wird der zweite Messstrahl (70b) auf einen zweiten Messpunkt (MPb) auf einer zum Bearbeitungskopf (14) weisenden Oberfläche (92) des Werkstücks (24) außerhalb der Dampfkapillare (88) gerichtet, um dadurch einen zweiten Abstand (a2) zwischen dem Referenzpunkt und dem zweiten Messpunkt (MPb) zu messen. Die Eindringtiefe (d) des Laserstrahls ergibt sich dann als Differenz zwischen dem zweiten Abstand (a2) und dem ersten Abstand (a1).
摘要翻译：在通过设置在聚焦透镜的加工头的装置测量激光束（19）的穿透深度在激光束的工件（24,26）的方法（14）被聚焦在焦点（22）。在工件的蒸气的毛细管（88）由此产生的焦斑。一种光学相干层析成像（40），产生第一测量光束（70A）和第二测量光束（70B）。第一测量光束（70a）上被引导到在所述蒸气的毛细管（88）的基极的第一测量点（兆帕），从而来测量的基准点和第一个测量点（兆帕）之间的第一距离（a1）中。涉及同时第二测量光束（70B）的上一个设置为第二测量点（MPB）的蒸气的毛细管（88）的外侧的工件（24）的加工头（14）的面对表面（92），从而形成之间的第二距离（a2）的参考点与第二测量点（MPB），以进行测量。激光束的穿透深度（d），然后为第二距离（a2）和所述第一间隔（A1）之间的差值获得。

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