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    • 5. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VIELZAHL VON HALBLEITERCHIPS UND HALBLEITERCHIP
    • 用于生产半导体芯片和半导体芯片的各种
    • WO2016050432A1
    • 2016-04-07
    • PCT/EP2015/069958
    • 2015-09-01
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
    • GOTSCHKE, TobiasOFF, JürgenPERZLMAIER, Korbinian
    • H01L33/00
    • H01L21/02639C30B25/04C30B25/18C30B29/406H01L21/0242H01L21/0254H01L21/78H01L33/0066H01L33/007H01L33/0095H01L33/22H01L33/32
    • Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von Halbleiterchips (10) angegeben, mit den folgenden Schritten: - Bereitstellen eines Aufwachssubstrats (1), das eine Aufwachsfläche (1a) aufweist, die mit Saphir gebildet ist, - Aufbringen eines Maskenmaterials (2) auf die Aufwachsfläche (1a) des Aufwachssubstrats (1), - Strukturieren des Maskenmaterials (2) zu einer mehrfach zusammenhängenden Maskenschicht (21) durch Einbringen von Öffnungen (22) in das Maskenmaterial (2), wobei am Boden (23) zumindest mancher der Öffnungen (22) die Aufwachsfläche (1a) freigelegt wird, - Aufbringen einer Halbleiterschichtenfolge (3) in die Öffnungen (22) und auf die Maskenschicht (21), - Vereinzeln zumindest der Halbleiterschichtenfolge (3) zu einer Vielzahl von Halbleiterchips (10), wobei jeder Halbleiterchip (10) laterale Abmessungen (L) aufweist und die lateralen Abmessungen (L) groß sind gegen einen mittleren Abstand (A) der Öffnungen (22) zur nächstliegenden Öffnung.
    • 提供了一种制造多个半导体芯片(10),其包括以下步骤的方法: - 提供其与蓝宝石形成在生长衬底(1),具有生长面(1a)中, - 将掩模材料(2)至 生长基底的生长表面(1A)(1), - 通过在掩模材料(2)提供的开口(22),图案化所述掩模材料(2)多连通掩模层(21),其中,至少一些所述开口的底部(23) (22)生长表面(1A)被暴露, - (3)在开口(22)和所述掩模层(21)上施加半导体层序列, - 分离出至少半导体层序列(3)的多个半导体芯片(10),其中 每一个半导体芯片(10)具有相对于所述开口(22)到最近的开口的平均距离(a)的横向尺寸(L)和横向尺寸(L)都大。