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    • 3. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM VEREINZELN VON SILIZIUM-SOLARZELLEN
    • 方法用于分离硅太阳能电池
    • WO2010133536A1
    • 2010-11-25
    • PCT/EP2010/056708
    • 2010-05-17
    • ROFIN-BAASEL LASERTECH GMBH & CO. KGMAYERHOFER, Roland
    • MAYERHOFER, Roland
    • H01L31/18
    • H01L31/1804B23K26/0622B23K26/364B23K26/40B23K2203/50Y02E10/547Y02P70/521
    • Bei einem Verfahren zum Vereinzeln von Silizium-Solarzellen (4) wird in einem ersten Arbeitsschritt in einen die Silizium- Solarzellen (4) enthaltenden Siliziumwafer (2) mit einem ersten Laserstrahl (L1) entlang einer Trennlinie (5) in eine einem pn-Übergang (16) im Siliziumwafer (2) benachbarte Vorderseite (14) des Siliziumwafers (2) eine Nut (22) eingebracht, die eine zumindest bis zum pn-Übergang (16) reichende Tiefe (t) aufweist und sich bis zu einem seitlichen Rand (24) des Siliziumwafers (2) erstreckt. In einem zweiten Arbeitsschritt wird der Siliziumwafer (2) mit einem in die Nut (22) gerichteten zweiten Laserstrahl (L2) beginnend am seitlichen Rand (24) entlang der Trennlinie (5) geschnitten, wobei das während des Schneidens entstehende Schmelzgut (M) mit einem zumindest annähernd in Richtung des zweiten Laserstrahls (L2) strömenden Schneidgas (G) aus der beim Schneiden entstehenden Schneidfuge (28) ausgetrieben wird.
    • 在用于硅的分离的太阳能电池的方法(4)被包含在一个硅太阳能电池(4)的硅晶片的第一工作步骤(2)沿着在pn结的隔离线(5),具有第一激光束(L1) (16)(2)的前侧相邻的第(14)在硅晶片的硅晶片结合(2)具有一个槽(22)和至少到延伸到侧边缘的pn结(16)到达深度(T)( 硅晶片的24)(2)。 在第二步骤中,在硅晶片(2)涉及一种在开始在沿着分离线(5)的侧缘(24)的槽(22)的第二激光束(L2)被切断,其特征在于,所述熔融材料在切割过程中产生的(M) 一个在从所得到的切割切口的第二激光束(L2)中流动切割气体(G)的方向上至少约(28)被排出。