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    • 5. 发明申请
    • UV-BESTRAHLUNGSVORRICHTUNG FÜR DEN GETAKTETEN BETRIEB
    • 紫外线辐射装置对于计时操作
    • WO2014063809A1
    • 2014-05-01
    • PCT/EP2013/003176
    • 2013-10-22
    • OERLIKON TRADING AG, TRÜBBACH
    • RIBEIRO, CarlosKARSCH, TassoSCHÄFER, RüdigerKASPAR, Martin
    • B05D3/06F26B3/28B01J19/12
    • B05D3/067F26B3/28G02B5/208G02B5/283
    • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bestrahlungsvorrichtung mit - zumindest einer Strahlungsquelle welche sowohl UV-Strahlung als auch W-Strahlung, das heisst sichtbares Licht und/oder IR-Strahlung aussendet und - mit einer Transportvorrichtung zur Zustellung von zu bestrahlenden Substraten und - zumindest einem unter einem Winkel von 45° die UV-Strahlung reflektierende und W-Strahlung transmittierende wellenlängenselektives Filter - mit Mittel zur Absorption von IR-Strahlung welche in Propagationsrichtung dem optischen Filter nachgeordnet in dem Strahlengang der vom wellenlängenselektiven Filter nicht abgelenkten W-Strahlung angeordnet ist wobei die Mittel zur Absorption von IR-Strahlung auch als Mittel zur Absorption von sichtbarem Licht und von UV-Strahlen ausgebildet sind und die Bestrahlungsvorrichtung Bewegungsmittel umfasst, um das wellenlängenselektive Filter in den Strahlengang der Strahlungsquelle hinein zu führen und aus diesem herauszuführen
    • 本发明涉及一种照射装置,包括: - 至少一个辐射源,其既UV辐射和UV辐射,这是可见光和/或IR辐射发射和 - 一个传送装置用于传送到被照射底物,和 - 至少一个从 设置有用于吸收IR辐射,其在设置在从波长选择滤光器UV辐射不偏转的光束路径中的光学过滤器的下游的传播方向,其中所述装置为 - 45°角,该UV辐射反射和紫外线辐射透射波长选择滤波器 IR辐射的吸收被设计为用于吸收可见光和紫外线的装置和照射装置包括移动装置,以使波长选择滤光器成在辐射源的光束路径和引出的这