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1. 发明申请

WO2021185618A1 VERBINDUNG VON BAUTEILEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2021185618A1
公开(公告)日：2021-09-23
申请号：PCT/EP2021/055802
申请日：2021-03-08
申请人： NANOWIRED GMBH
发明人： BIRLEM, Olav , DASSINGER, Florian , QUEDNAU, Sebastian , ROUSTAIE, Farough
IPC分类号： H01L23/13 , H01L23/14 , H01L23/367 , H01L23/373 , H01L23/488 , H01L21/58 , H01L21/60 , H01L21/603 , H01L21/607 , H01L23/538 , H01L23/522 , B23K35/02
摘要： Ein Verbindungselement (6) zum Verbinden eines ersten Bauteils (2) mit einem zweiten Bauteil (3) weist auf einer ersten Verbindungsfläche (7) an einer ersten Seite (10) des Verbindungselements (6) und auf einer zweiten Verbindungsfläche (8) an einer der ersten Seite (10) gegenüberliegenden zweiten Seite (11) des Verbindungselements (6) jeweils eine Vielzahl von Nanodrähten (1) auf, wobei die erste Verbindungsfläche (7) und die zweite Verbindungsfläche (8) elektrisch voneinander isoliert sind. Ein Verfahren zum Verbinden eines ersten Bauteils (2) mit einem zweiten Bauteil (3) umfasst: a) Bereitstellen des Verbindungselements (6), b) Zusammenführen einer Kontaktfläche (4) des ersten Bauteils (2) mit der ersten Verbindungsfläche (7) des Verbindungselements (6), und c) Zusammenführen einer Kontaktfläche (5) des zweiten Bauteils (3) mit der zweiten Verbindungsfläche (8) des Verbindungselements (6). Schritt b) und/oder Schritt c) können bei Raumtemperatur durchgeführt werden. Das Verfahren kann weiterhin umfassen: d) Erwärmen zumindest der Kontaktflächen (4, 5) auf eine Temperatur von mindestens 90°C. In Schritt b) und/oder c) kann mit Ultraschall auf das Verbindungselement (6), auf das erste Bauteil (2) und/oder auf das zweite Bauteil (3) eingewirkt werden. Das Verbindungselement (6) kann weiterhin eine jeweilige Vielzahl von Nanodrähten (1) auf einer dritten Verbindungsfläche (20) an der ersten Seite (10) des Verbindungselements (6) und auf einer vierten Verbindungsfläche (21) an der zweiten Seite (11) des Verbindungselements (6) haben, wobei die dritte Verbindungsfläche (20) und die vierte Verbindungsfläche (21) elektrisch leitend miteinander verbunden sind, und wobei das Verfahren weiterhin die folgenden Schritte umfasst: b') Zusammenführen einer Kontaktfläche (18) eines dritten Bauteils (16) mit der dritten Verbindungsfläche (20) des Verbindungselements (6), und c') Zusammenführen einer Kontaktfläche (19) eines vierten Bauteils (17) mit der vierten Verbindungsfläche (21) des Verbindungselements (6). Das Verbindungselement (6) kann folienartig ausgebildet sein. Das Verbindungselement (6) kann im Bereich zwischen der ersten Verbindungsfläche (7) und der zweiten Verbindungsfläche (8) aus einem Keramikmaterial gebildet sein. Eine Anordnung (12) kann umfassen: ein erstes Bauteil (2), ein erstes Verbindungselement (6), ein Funktionselement (13), ein zweites Verbindungselement (14) und ein zweites Bauteil (3), wobei das Funktionselement (13) einer oder mehrerer der folgenden Funktionen: Ableitung von Wärme, Dämmung von Vibrationen, mechanisches Stabilisieren dient. Alternativ umfasst ein Verfahren zum Verbinden einer ersten Kontaktfläche (2) mit einer zweiten Kontaktfläche (3): a) Bereitstellen eines Verbindungselements (6) mit einer Vielzahl von Nanodrähten (1) auf einer ersten Verbindungsfläche (7) und auf einer zweiten Verbindungsfläche (8), wobei die erste Verbindungsfläche (7) und die zweite Verbindungsfläche (8) auf der gleichen Seite des Verbindungselements (6) angeordnet sind, b) Zusammenführen der ersten Kontaktfläche (2) mit der ersten Verbindungsfläche (7) des Verbindungselements (6), und c) Zusammenführen der zweiten Kontaktfläche (3) mit der zweiten Verbindungsfläche (8) des Verbindungselements (6). Die Nanodrähte (1) können vermittels einer Schicht (11) mit dem Verbindungselement (6) in Verbindung stehen, wobei die Schicht (11) durchgehend zwischen der ersten Verbindungsfläche (7) und der zweiten Verbindungsfläche (8) ausgebildet ist und elektrisch und thermisch leitfähig ist. Die Breite der Schicht (11) kann sich kontinuierlich verringern. Das Verbindungselement (6) kann auch vier Streifen der Schicht (11) umfassen, die unterschiedliche Längen haben. Das Verbindungselement (6) kann in Schritt a) durch Abtrennen von einem Ausgangskörper (12) gebildet werden. Die erste Verbindungsfläche (7) kann von der zweiten Verbindungsfläche (8) beabstandet angeordnet sein. Die erste Kontaktfläche (2) und die zweite Kontaktfläche (3) können durch das Verbindungselement (6) elektrisch leitend, thermisch leitend und/oder mechanisch miteinander verbunden sein. Die erste Kontaktfläche (2) und die zweite Kontaktfläche (3) können am gleichen Bauteil (10) oder an verschiedenen Bauteilen (10, 13) angeordnet sein, wobei die beiden Bauteile (10, 13) können nicht parallel zueinander angeordnet sein, beispielhaft können die beiden Bauteile einen Winkel von 90° miteinander einschließen. Bei den zwei Bauteilen (2, 3, 10, 13) kann es sich um ein elektronisches Bauteil bzw. um zwei elektronische Bauteile wie beispielsweise Halbleiterbauelemente, Computerchips, Mikroprozessoren oder Platinen handeln. Es ist auch möglich, ein Bauteil wie einen Sensor (als das erste Bauteil (2)) an einer Wand oder Halterung (als dem zweiten Bauteil (3)) zu montieren.

2. 发明申请

WO2023061759A1 WACHSTUM VON NANODRÄHTEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2023061759A1
公开(公告)日：2023-04-20
申请号：PCT/EP2022/077019
申请日：2022-09-28
申请人： NANOWIRED GMBH
发明人： BIRLEM, Olav , DASSINGER, Florian , QUEDNAU, Sebastian , ROUSTAIE, Farough
IPC分类号： C25D1/00 , C25D1/04
摘要： Anordnung (1) zur Erzeugung einer Vielzahl von Nanodrähten (2), umfassend die folgenden Elemente, welche in der angegebenen Reihenfolge angeordnet sind: - eine elektrisch leitende Oberfläche (3), - eine Folie (4) mit einer Vielzahl von Kanälen (5), welche sich von einer ersten Seite (6) der Folie (4) bis zu einer der ersten Seite (6) gegenüberliegenden zweiten Seite (7) der Folie (4) erstrecken, - eine erste elektrolytdurchlässige Schicht (8), - eine zweite elektrolytdurchlässige Schicht (9), welche kompressibler ist als die erste elektrolytdurchlässige Schicht (8), wobei die Anordnung (1) weiterhin eine Elektrode (10) aufweist, und wobei die Anordnung (1) so eingerichtet ist, dass die Nanodrähte (2) durch Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen der elektrisch leitenden Oberfläche (3) und der Elektrode (10) galvanisch aus einem Elektrolyten in die Kanäle (5) der Folie (4) auf die elektrisch leitende Oberfläche (3) gewachsen werden können.

3. 发明申请

WO2022184501A1 BESCHICHTEN VON NANODRÄHTEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2022184501A1
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：PCT/EP2022/054379
申请日：2022-02-22
申请人： NANOWIRED GMBH
发明人： BIRLEM, Olav , DASSINGER, Florian , QUEDNAU, Sebastian , ROUSTAIE, Farough
IPC分类号： B22F7/06 , B81C3/00 , B81C1/00
摘要： Verfahren zum Aufbringen einer Beschichtung (2) auf eine Vielzahl von Nanodrähten (1) auf einem Bauteil (4, 5), wobei das Verfahren umfasst: a) Behandeln der Nanodrähte (1) mit einer reduzierenden Substanz, b) Eintauchen der Nanodrähte (1) in eine Schutzsubstanz, c) Trocknen der Nanodrähte (1), so dass die Beschichtung (2) aus der Schutzsubstanz erhalten wird.

4. 发明申请

WO2022207307A1 VERBINDUNG ZWEIER BAUTEILE MIT EINEM VERBINDUNGSELEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2022207307A1
公开(公告)日：2022-10-06
申请号：PCT/EP2022/056695
申请日：2022-03-15
申请人： NANOWIRED GMBH
发明人： BIRLEM, Olav , DASSINGER, Florian , QUEDNAU, Sebastian , ROUSTAIE, Farough
IPC分类号： H01L23/36 , H01L23/40 , H01L23/538 , H05K1/02 , B82Y10/00 , H01L21/48 , H01L23/373 , H01L23/42
摘要： Verbindungselements (1) mit einer jeweiligen Vielzahl von Nanodrähten (2) auf einer ersten Verbindungsfläche (3) und/oder auf einer der ersten Verbindungsfläche (3) gegenüberliegenden zweiten Verbindungsfläche (4), wobei ein Abstand (d) zwischen der ersten Verbindungsfläche (3) und der zweiten Verbindungsfläche (4) über das Verbindungselement (1) variiert.

5. 发明申请

WO2022184504A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BENUTZERFREUNDLICHEN UND ZUVERLÄSSIGEN GALVANISCHEN WACHSEN EINER VIELZAHL VON NANODRÄHTEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2022184504A1
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：PCT/EP2022/054382
申请日：2022-02-22
申请人： NANOWIRED GMBH
发明人： BIRLEM, Olav , DASSINGER, Florian , QUEDNAU, Sebastian , ROUSTAIE, Farough
IPC分类号： C25D1/00
摘要： Vorrichtung (1) zum galvanischen Wachsen einer Vielzahl von Nanodrähten (2) auf einem Substrat (3), umfassend einen Substrathalter (4) und ein Gehäuse (34), in welchem eine Kammer (18), eine Steuerungseinheit (8) und ein Vorratsbehälter (35) für einen Elektrolyten angeordnet sind, wobei die Vorrichtung (1) dazu eingerichtet ist, die Vielzahl von Nanodrähten (2) aus dem Elektrolyten auf das Substrat (3) zu wachsen, wenn der Substrathalter (4) mit dem Substrat (3) in die Kammer (18) eingesetzt ist.

6. 发明申请

WO2022184502A1 GALVANISCHES WACHSEN VON NANODRÄHTEN AUF EINEM SUBSTRAT 审中-公开
公开(公告)号：WO2022184502A1
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：PCT/EP2022/054380
申请日：2022-02-22
申请人： NANOWIRED GMBH
发明人： BIRLEM, Olav , DASSINGER, Florian , QUEDNAU, Sebastian , ROUSTAIE, Farough
IPC分类号： C25D1/00
摘要： Vorrichtung (1) zum galvanischen Wachsen einer Vielzahl von Nanodrähten (2) auf einem Substrat (3), umfassend einen Substrathalter (4) und eine Aufnahme (5) für den Substrathalter (4), wobei die Vorrichtung (1) dazu eingerichtet ist, die Vielzahl von Nanodrähten (2) auf dem Substrat (3) zu wachsen, wenn der Substrathalter (4) mit dem Substrat (3) in der Aufnahme (5) aufgenommen ist, wobei der Substrathalter (4) eine Elektronik (6) aufweist, welche dazu eingerichtet ist, das Wachstum der Nanodrähte (2) zu beeinflussen.

7. 发明申请

WO2021185619A1 GALVANISCHES WACHSTUM VON NANODRÄHTEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2021185619A1
公开(公告)日：2021-09-23
申请号：PCT/EP2021/055803
申请日：2021-03-08
申请人： NANOWIRED GMBH
发明人： BIRLEM, Olav , DASSINGER, Florian , QUEDNAU, Sebastian , ROUSTAIE, Farough
IPC分类号： C25D1/00 , C25D1/04
摘要： Verfahren zum Bereitstellen einer Vielzahl von Nanodrähten (14) auf einer Oberfläche (15), umfassend: a) Bereitstellen eines Elektrolytverteilers (1), b) Bereitstellen einer Folie (16) mit einer Vielzahl von durchgehenden Poren (17), c) Anordnen der Folie (16) zwischen der Oberfläche (15) und einer Auslassseite (4) des Elektrolytverteilers (1), d) Einleiten eines flüssigen Elektrolyten in den Elektrolytverteiler (1), so dass der flüssige Elektrolyt an der Auslassseite (4) des Elektrolytverteilers (1) an die Folie (16) abgegeben wird, und e) Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen dem flüssigen Elektrolyten und der Oberfläche (15), so dass die Nanodrähte (14) in den Poren (17) der Folie (16) aus dem flüssigen Elektrolyten auf die Oberfläche (15) gewachsen werden.

8. 发明申请

WO2021185616A1 MULTIMETALL KLETTWELDING 审中-公开
公开(公告)号：WO2021185616A1
公开(公告)日：2021-09-23
申请号：PCT/EP2021/055800
申请日：2021-03-08
申请人： NANOWIRED GMBH
发明人： BIRLEM, Olav , DASSINGER, Florian , QUEDNAU, Sebastian , ROUSTAIE, Farough
IPC分类号： H01L23/488 , H01L23/367 , H01L23/373 , H01L23/13 , H01L23/14 , H01L21/60 , H01L21/603 , H01L21/58 , H01L25/065 , B23K35/02
摘要： Ein Verbindungselement (6) zum Verbinden eines ersten Bauteils (2) mit einem zweiten Bauteil (3) weist auf einer ersten Verbindungsfläche (7) an einer ersten Seite (10) des Verbindungselements (6) und auf einer zweiten Verbindungsfläche (8) an einer der ersten Seite (10) gegenüberliegenden zweiten Seite (11) des Verbindungselements (6) jeweils eine Vielzahl von Nanodrähten (1) auf, wobei die Nanodrähte (1) auf der ersten Verbindungsfläche (7) und die Nanodrähte (1) auf der zweiten Verbindungsfläche (8) aus unterschiedlichen Materialien gebildet sind. Ein Verfahren zum Verbinden eines ersten Bauteils (2) mit einem zweiten Bauteil (3) umfasst: a) Bereitstellen des Verbindungselements (6), b) Zusammenführen einer Kontaktfläche (4) des ersten Bauteils (2) mit der ersten Verbindungsfläche (7) des Verbindungselements (6), und c) Zusammenführen einer Kontaktfläche (5) des zweiten Bauteils (3) mit der zweiten Verbindungsfläche (8) des Verbindungselements (6). Die Nanodrähte (1) auf der ersten Verbindungsfläche (7) und/oder die Nanodrähte (1) auf der zweiten Verbindungsfläche (8) können aus einem jeweiligen Metall gebildet sein. Die Nanodrähte (1) auf der ersten Verbindungsfläche (7) können aus dem Material der Kontaktfläche (4) des ersten Bauteils (2) gebildet sein und/oder die Nanodrähte (1) auf der zweiten Verbindungsfläche (8) können aus dem Material der Kontaktfläche (5) des zweiten Bauteils (3) gebildet sein. Das erste Bauteil (2) kann eine Platine sein, wobei die Kontaktfläche (4) des ersten Bauteils (2) aus Kupfer gebildet ist. Das zweite Bauteil (3) kann eine elektronische Komponente sein, wobei die Kontaktfläche (5) des zweiten Bauteils (3) aus Silber, Nickel und/oder Gold gebildet ist. Das erste Bauteil (2) und das zweite Bauteil (3) können Halbleiterbauelemente sein, die aufeinander befestigt werden. Es ist auch möglich, ein Bauteil wie einen Sensor (als das erste Bauteil (2)) an einer Wand oder Halterung (als dem zweiten Bauteil (3)) zu montieren. Das Verfahren kann weiterhin einen Schritt d) Erwärmen zumindest der Kontaktflächen (4, 5) auf eine Temperatur von mindestens 90°C umfassen, wobei die Erwärmung erst nach Ausbilden der Verbindung gemäß der Schritte b) und c) stattfinden kann oder alternativ wobei die Schritte b) und c) sowie der Schritt d) zumindest teilweise zeitlich überlappend durchgeführt werden können. Das Verbindungselement (6) kann folienartig ausgebildet sein.

9. 发明申请

WO2022184503A1 WACHSTUM VON NANODRÄHTEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2022184503A1
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：PCT/EP2022/054381
申请日：2022-02-22
申请人： NANOWIRED GMBH
发明人： BIRLEM, Olav , DASSINGER, Florian , QUEDNAU, Sebastian , ROUSTAIE, Farough
IPC分类号： C25D1/00
摘要： Verfahren zum galvanischen Wachsen einer Vielzahl von Nanodrähten (1) auf eine Oberfläche (2), umfassend: a) Auflegen einer Folie (3) auf die Oberfläche (2), wobei die Folie (3) eine Vielzahl von durchgehenden Poren (4) aufweist, in denen die Nanodrähte (1) aus einem Elektrolyten gewachsen werden können, b) Auflegen eines für den Elektrolyten durchlässigen elastischen Elements (5) auf die Folie (3), wobei der Elektrolyt über das elastische Element (5) mit der Folie (3) in Kontakt gebracht wird, c) für einen ersten Wachstumszeitraum, galvanisches Wachsen der Vielzahl von Nanodrähten (1), d) Entfernen des elastischen Elements (5), und e) für einen zweiten Wachstumszeitraum, Fortsetzen des galvanischen Wachsens der Vielzahl von Nanodrähten (1).

10. 发明申请

WO2022012903A1 VERBINDUNGSELEMENT, VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES VERBINDUNGSELEMENTS, ANORDNUNG UMFASSEND EIN VERBINDUNGSELEMENT UND ZWEI DAMIT VERBUNDENE BAUTEILE SOWIE VERFAHREN ZUM VERBINDEN ZWEIER BAUTEILE MIT EINEM VERBINDUNGSELEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2022012903A1
公开(公告)日：2022-01-20
申请号：PCT/EP2021/067495
申请日：2021-06-25
申请人： NANOWIRED GMBH
发明人： BIRLEM, Olav
IPC分类号： H01L23/488 , H01L21/60 , H01L21/603 , H01L23/13 , H01L23/367 , B23K35/02 , B23K35/40 , C25D1/04
摘要： Ein Verbindungselement (1) umfasst eine Mehrzahl von Abschnitten (2), die entlang einer Achse (x) des Verbindungselements (1) aufeinander folgend angeordnet sind, wobei die Abschnitte (2) jeweils eine Vielzahl von Nanodrähten (3) aufweisen, wobei benachbarte der Abschnitte (2) innerhalb einer jeweiligen Zwischenschicht (4) aneinandergrenzen, wobei die Nanodrähte (3) der beiden jeweiligen an eine Zwischenschicht (4) angrenzenden Abschnitte (2) an der entsprechenden Zwischenschicht (4) gehalten sind. Ein Verfahren zum Herstellen des Verbindungselements (1) umfasst folgende Schritte, durch die jeweils die Abschnitte (2) nacheinander erzeugt werden: a) Bereitstellen einer Ausgangsschicht (8), b) Auflegen einer Folie (9) auf die Ausgangsschicht (8), wobei die Folie (9) eine Vielzahl von Poren (10) aufweist, c) Abscheiden (insbesondere galvanisches Wachstum) von Material auf die Ausgangsschicht (8) und in die Poren (10), so dass die Nanodrähte (3) in den Poren (10) aus dem Material gebildet werden, d) außer bei dem letzten Abschnitt (2) Erzeugen einer von der Ausgangsschicht (8) entlang der Achse (x) des Verbindungselements (1) beabstandeten Abschlussschicht (12) an einer Folienoberfläche (11), wobei ab dem zweiten Abschnitt (2) in Schritt a) die Abschlussschicht (12) des jeweils vorhergehenden Abschnitts (2) als die Ausgangsschicht (8) verwendet wird. Alle Folien (9) können gemeinsam entfernt werden, nachdem der letzte Abschnitt (2) erzeugt worden ist. Eine Anordnung (5) umfasst zwei Bauteile (6, 13) mit einer jeweiligen Kontaktfläche (7) (insbesondere zwei elektronische Bauteile, zwei elektrische Leiter, zwei thermische Leiter, Magnet und Grundbauteil bei der Herstellung eines Elektromotors, Halbleiterchips, Sensor und Grundbauteil), wobei die Kontaktflächen (7) der beiden Bauteile (6, 13) entlang der Achse (x) des Verbindungselements (1) voneinander beabstandet sind, sowie das Verbindungselement (1), durch welches die Kontaktflächen (7) der beiden Bauteile (6, 13) miteinander verbunden sind. Ein Verfahren zum Verbinden des ersten Bauteils (6) mit dem zweiten Bauteil (13) umfasst: A) Bereitstellen des Verbindungselements (1) auf der Kontaktfläche (7) des ersten Bauteils (6), und B) Zusammenführen einer Kontaktfläche (7) des zweiten Bauteils (13) mit dem in Schritt A) bereitgestellten Verbindungselement (1), so dass die Nanodrähte (3) des zuletzt erzeugten Abschnitts (2) des Verbindungselements (1) mit der Kontaktfläche (7) des zweiten Bauteils (13), mit Nanodrähten (3) auf der Kontaktfläche (7) des zweiten Bauteils (13) und/oder mit einem weiteren Verbindungselement auf der Kontaktfläche des zweiten Bauteils (13) in Kontakt gelangen. Insbesondere durch Erwärmen und/oder Anpressen können sich die Nanodrähte (3) mit der Kontaktfläche (7) des zweiten Bauteils (13) verbinden. Vorzugsweise wird auch auf der Kontaktfläche (7) des zweiten Bauteils (13) eine Vielzahl von Nanodrähten (3) bereitgestellt, in diesem Fall kommen die Nanodrähte (3) des zuletzt erzeugten Abschnitts (2) des Verbindungselements (1) mit den Nanodrähten (3) auf der Kontaktfläche (7) des zweiten Bauteils (13) in Kontakt, wobei ein Erwärmen und/oder Anpressen nicht erforderlich, aber dennoch bevorzugt ist. Das Verbindungselement (1) kann auf der Kontaktfläche (7) des ersten Bauteils (6) bereitgestellt werden, indem das Verbindungselement (1) auf der Kontaktfläche (7) des ersten Bauteils (6) hergestellt wird oder das Verbindungselement (1) auf einem gesonderten Substrat hergestellt und anschließend auf die Kontaktfläche (7) des ersten Bauteils (6) transferiert wird. In Schritt B) kann ein Klebstoff auf der Kontaktfläche (7) des ersten Bauteils (6) und/oder auf der Kontaktfläche (7) des zweiten Bauteils (13) bereitgestellt werden, der die Nanodrähte (3) und/oder die Verbindung zwischen den Bauteilen (6, 13) mechanisch stabilisieren kann. Das Verbindungselement (1) kann auch dazu genutzt werden, zwei Bauteile (6, 13) indirekt miteinander zu verbinden; so kann ein Zwischenelement (z.B. eine Folie) bereitgestellt werden, welches auf mindestens einer Oberfläche ein wie beschrieben ausgebildetes Verbindungselement (1) aufweist, wobei das Zwischenelement elektrisch leitend oder elektrisch isolierend ausgebildet ist. Mit dem beschriebenen Verbindungselement (1) können Unebenheiten der Kontaktflächen (7) der Bauteile (6, 13) trotz begrenzter Länge der Nanodrähte (3) besonders gut ausgeglichen werden.

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