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    • 4. 发明申请
    • ROHRBRUCHSICHERUNG FÜR EINE VAKUUMISOLIERTE BEFÜLLLEITUNG
    • 真空绝缘填充管的管道保护
    • WO2002081956A2
    • 2002-10-17
    • PCT/EP2002/003773
    • 2002-04-05
    • LINDE AKTIENGESELLSCHAFTKRAUS, HaraldREESE, Wilfried-Henning
    • KRAUS, HaraldREESE, Wilfried-Henning
    • F16L
    • F17D5/02F16L55/05Y02E60/34
    • Es wird eine vakuumisolierte Befüllleitung, insbesondere für kryogene Medien, vorzugsweise für verflüssigten und/oder gasförmigen, unter hohem Druck stehenden Wasserstoff, beschrieben. Ferner wird eine Tankstelle für kryogene Medien, die eine derartige vakuumisolierte Befüllleitung aufweist, beschrieben. Erfindungsgemäss weist die vakuumisolierte Befüllleitung eine Leitungsbruchsicherung auf. Die Leitungsbruchsicherung kann in Form eines an der Befülleitung-Aussenwandung (1) angeordneten Führungsrohr (5) angeordneten und mit der Befüllleitung-Aussenwandung (1) fest verbundenen Faltenbalges (6), einer den Faltenbalg (6) verschliessenden (Kontakt)Platte (7) und einer der (Kontakt)Platte (7) und/oder des Faltenbalges (6) ausgebildet ist, ausgebildet sein.
    • 描述了真空绝热输送管线,特别是用于低温介质,优选用于液化和/或气态高压氢的真空绝热输送管线。 此外,描述了具有这种真空绝缘馈线的低温介质加油站。 根据本发明,真空绝缘充电线具有断线保护。 线路中断装置可以以在Cmd的导航用途的形式布置Lwire外壁(1)F导航用途设置导向管(5)和与所述BEF导航用途llleitung外壁(1)固定到所述波纹管(6),封闭的波纹管(6)( 接触)板(7)和(接触)板(7)和/或波纹管(6)中的一个形成,
    • 10. 发明申请
    • DEVICE AND METHOD FOR REMOVING LIQUID FROM A SURFACE OF A DISC-LIKE ARTICLE
    • 用于从盘状物品的表面去除液体的装置和方法
    • WO2008041211A2
    • 2008-04-10
    • PCT/IB2007/055357
    • 2007-10-16
    • SEZ AGKRAUS, HaraldWITTERSHAGEN, Axel
    • KRAUS, HaraldWITTERSHAGEN, Axel
    • H01L21/67034H01L21/67028H01L21/67051
    • Herein disclosed is a method for removing liquid from a surface of a disc-like article comprising, rotating the disc-like article about an axis perpendicular to the disc-like article's main surface, supplying liquid onto the disc-like article when rotated, wherein the liquid is supplied from a supply port, which is moved across the substrate towards the edge of the disc-like article, supplying a first gas flow through a first gas supply port onto the disc-like article to an area, wherein the area has a centre having a distance to the centre of the rotational movement of not more than 20 mm, wherein the area, to which the first gas is supplied, is covered with a liquid layer when the first gas is supplied, and thereby opening the liquid layer at a discrete area, and supplying a second gas flow through a second gas supply port onto the disc-like article when rotated, wherein the second gas flow is supplied from a second gas supply port, which is moved across the substrate towards the edge of the substrate, wherein the distance of the second gas supply port to the centre is lower than the distance of the liquid supply port to the centre while the second gas flow and the liquid are supplied. Furthermore a device for carrying out the method is disclosed.
    • 这里公开了一种用于从盘状物品的表面除去液体的方法,包括使盘状物品围绕垂直于盘状物品的主表面的轴线旋转,将液体供应到 其中所述液体从供应口供应,所述供应口跨过所述衬底朝向所述盘状物品的边缘移动,通过第一气体供应口向所述盘状物品供应第一气流 其中所述区域具有距所述旋转运动的中心的距离不大于20mm的中心,其中当所述第一气体是液体时,所述第一气体被供应到的区域被液体层覆盖 从而在离散区域打开液体层,并且当旋转时通过第二气体供给口将第二气流供给到盘状物品上,其中第二气流从第二气体供给口供给,该第二气体供给口是 移动穿过衬底t 在第二气体流量和液体被供给的同时,第二气体供给口到中心的距离小于液体供给口到中心的距离。 此外公开了一种执行该方法的装置。