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    • 1. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR AUSWERTUNG EINER INTERFEROMETRISCHEN MESSGRÖSSE
    • 方法和装置用于评估被测干涉测量
    • WO2009105904A1
    • 2009-09-03
    • PCT/CH2009/000044
    • 2009-02-05
    • INFICON GMBHWAEGLI, PeterMULLIS, Felix
    • WAEGLI, PeterMULLIS, Felix
    • G01L9/00G01B9/02
    • G01K11/3206G01B9/02044G01B9/0209G01B2290/25G01L9/0079
    • Zur Auswertung einer Messgrösse (12) mit einer Messzelle (5), enthaltend eine Kavität (11) welche für Licht einen optischen Weglängenunterschied (d Gap ) erzeugt, welcher sich entsprechend der Variation der Messgrösse (12) verändert werden folgende Verfahrensschritte vorgeschlagen: Einführen von Licht (1) von einer Weisslichtquelle (2) mit Hilfe eines Lichtwellenleiters (4) via eines Kopplers (3) der im Pfad des Lichtwellenleiters (4) angeordnet ist in die Kavität (11); Auskoppeln mindestens eines Teils des von der Kavität (11) in den Lichtwellenleiter zurück reflektierten Lichtes (1') mit Hilfe des Kopplers (3) und zuführen dieses reflektierten Lichtes (1') an ein optisches Spektrometer (6); Ermittlung des optischen Spektrums des reflektierten Lichtes (1') im Spektrometer (6) und erzeugen eines Spektrometersignals (8); Zuführung des Spektrometersignals (8) an eine Recheneinheit (9), wobei das Spektrometersignal (8) durch die Recheneinheit (9) unmittelbar zu einem Interferogramm gewandelt wird und aus dessen Intensitätsverlauf die Lage des jeweiligen Amplitudenextremalwertes ermittelt wird und diese jeweilige Lage unmittelbar den jeweiligen Wert des optischen Weglängenunterschiedes in der Kavität darstellt, welcher die Messgrösse (12) beinhaltet.
    • 产生用于与测量单元(5)包含的光的腔(11)的光学路径长度差(DGAP),其根据所测量的变量的变化而改变评估所测量的量(12)(12)提出了以下的方法步骤:将光 (1)从白色光源(2)被布置成与光波导(4)的通过耦合器(3)在光波导(4)的路径的援助到空腔(11); “通过成色装置(3)和该反射光出(1耦合出在光波导的光反射回(1)”的腔(11)的至少一部分)的光学分光计(6); 在光谱仪(6)的反射光(1“)的光谱的测定,并产生一个信号分光计(8); 供给光谱仪信号(8)到计算单元(9),其中,所述光谱仪信号(8)由所述计算单元(9)直接转化为干涉图并从其强度直接分布相应幅度值的位置被确定,并且该相应的位置,以各自的值 代表在空腔中,其中包括测量变量(12)的光路长度。