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    • 1. 发明申请
      WO2007025519A2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ABFORMEN VON STRUKTUREN 审中-公开
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ABFORMEN VON STRUKTUREN
    • 用于形成结构的方法和装置
    • WO2007025519A2
    • 2007-03-08
    • PCT/DE2006/001506
    • 2006-08-29
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , OTTO, Thomas , FRÖMEL, Jörg , NESTLER, Jörg , GESSNER, Thomas
    • OTTO, Thomas , FRÖMEL, Jörg , NESTLER, Jörg , GESSNER, Thomas
    • B29C59/02 , B29C37/00
    • B29C59/02 , B29C37/0003 , B29C2059/023
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Abformen von Strukturen, bei denen ein Substrat (7) auf einem Substrat träger (1) positioniert wird, der ein oder mehrere integrierte Kanäle (5) zum Ansaugen des Substrates (7) mittels Unterdruck aufweist. Zwischen dem Substratträger (1) und dem Substrat (7) wird beim vorliegenden Verfahren eine Zwischenplatte (4) eingesetzt, die nach dem Prägevorgang vom Substrat (7) getrennt wird, indem der Substrat träger (1) und ein Werkzeugträger (2) , von dem das Prägewerkzeug (3) bei diesem Schritt gehalten wird, auseinander bewegt werden. Die Zwischenplatte (4) wird anschließend vom Substratträger (1) entfernt und das Substrat (7) durch entgegen gesetzte Bewegung von Substrat träger (1) und/oder Werkzeugträger (2) mit dem Substratträger (1) in Kontakt gebracht und durch Ansaugen gehalten. Im nächsten Schritt wird das Substrat (4) vom Prägewerkzeug (3) getrennt, indem der Substrat träger (1) und der Werkzeugträger (2) , von dem das Prägewerkzeug (3) gehalten wird, auseinander bewegt werden. Das vorliegende Verfahren und die zugehörige Vorrichtung ermöglichen ein schnelles und automatisierbares Wechseln des Substrates sowie ein automatisiertes Trennen des Substrates vom Prägewerkzeug.
    • 本发明涉及一种用于模制结构的方法和装置，其中基板（7）位于具有一个或多个集成通道（图1）的基板载体（1）上。 5）用于借助于负压吸引基板（7）。 之间的Substrattr BEAR从基板（7）通过在衬底＆AUML的TR分离机动;亨特（1）和基片（7）的中间板（4）中采用本发明的方法中，后镨＆AUML GER（1）和一个 在此步骤中工具（3）保持在其上的工具架（2）被移开。 随后通过衬底载体（1）和/或工具载体（2）与衬底载体（2）的相对运动，中间板（4）随后从衬底载体（1）移除并且衬底（7）移动。 1）接触并通过吸力保持。 在下一步骤中，通过保持衬底载体（1）和保持冲压工具（3）的工具保持器（2），将衬底（4）与冲压工具（3）分离。 被分开。 本发明的方法和设备允许基板的快速和自动改变以及基板与测试工具的自动分离。
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    • 4. 发明申请
      WO2010085942A2 MIKROSTRUKTUR, VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG, VORRICHTUNG ZUM BONDEN EINER MIKROSTRUKTUR UND MIKROSYSTEM 审中-公开
    • MIKROSTRUKTUR, VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG, VORRICHTUNG ZUM BONDEN EINER MIKROSTRUKTUR UND MIKROSYSTEM
    • 微结构，其制造方法，装置来粘合一个微结构和微
    • WO2010085942A2
    • 2010-08-05
    • PCT/DE2010/000085
    • 2010-01-26
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , TECHNISCHE UNIVERSITÄT CHEMNITZ , BRÄUER, Jörg , GESSNER, Thomas , HOFMANN, Lutz , FRÖMEL, Jörg , WIEMER, Maik , LETSCH, Holger , BAUM, Mario
    • BRÄUER, Jörg , GESSNER, Thomas , HOFMANN, Lutz , FRÖMEL, Jörg , WIEMER, Maik , LETSCH, Holger , BAUM, Mario
    • B81C3/00
    • B81C3/001 , B81C2203/019 , B81C2203/032
    • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Mikrostruktur mit wenigstens einem Bondsubstrat und einem reaktiven Mehrschichtsystem, wobei das reaktive Mehrschichtsystem wenigstens eine Oberflächenschicht des Bondsubstrates mit vertikal ausgerichteten, voneinander beabstandeten Nanostrukturen und zwischen den Nanostrukturen befindliche, mit wenigstens einem einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material gefüllte Bereiche aufweist. Die Erfindung beinhaltet ferner ein Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur mit wenigstens einem Bondsubstrat und einem reaktiven Mehrschichtsystem, wobei für ein Ausbilden des reaktiven Mehrschichtsystems eine Oberflächenschicht des Bondsubstrates unter Ausbildung vertikal ausgerichteter, voneinander beabstandeter Nanostrukturen strukturiert wird oder strukturiert abgeschieden wird und Bereiche zwischen den Nanostrukturen mit wenigstens einem einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material gefüllt werden. Zudem enthält die Erfindung eine Vorrichtung zum Bonden einer Mikrostruktur, wobei die Vorrichtung eine öffen- und/oder schließbare, evakuierbare Bondkammer, in welcher die Mikrostruktur und die weitere Struktur einbringbar und zueinander justierbar sind, sowie einen mit der Bondkammer gekoppelten Aktivierungsmechanismus aufweist, mit welchem das aus reaktiven Nanostrukturen mit einem dazwischen befindlichen einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material ausgebildete reaktive Mehrschichtsystem der Mikrostruktur derart mechanisch, elektrisch, elektromagnetisch, optisch und/oder thermisch aktivierbar ist, dass zwischen den Nanoschichten eine selbstausbreitende, exotherme Reaktion stattfindet. Außerdem betrifft die Erfindung ein Mikrosystem, welches aus zwei Bondsubstraten und einem zwischen den Bondsubstraten liegenden Aufbau ausgebildet ist, der ein reagiertes, reaktives Schichtsystem aufweist, wobei das reagierte, reaktive Schichtsystem eine reagierte Strukturabfolge aus wenigstens einer auf dem Bondsubstrat vorgesehenen Oberflächenschicht mit vertikal ausgerichteten, voneinander beabstandeten Nanostrukturen und zwischen den Nanostrukturen mit wenigstens einem einen Reaktionspartner zu dem Material der Nanostrukturen darstellenden Material gefüllten Bereichen ist, wobei das Mikrosystem ein mit Biomaterial beschichteter Sensor ist und/oder Elemente aus polymerem Material und/oder wenigstens eine magnetische und/oder piezoelektrische und/oder piezoresistive Komponente aufweist.
    • 本发明涉及具有至少一个键合衬底的微结构和反应性多层系统，其中，所述反应性多层系统位于至少与垂直定向的，间隔开的纳米结构和纳米结构之间的键合衬底的表面层，具有至少一个反应物表示对所述纳米结构材料的材料填充 有区域。 本发明还包括一种制造微结构与至少一个键合衬底和反应性多层系统，其中，垂直取向的用于形成所述反应性多层系统中形成的，间隔的纳米结构被图案化或结构化的接合基板的一个表面层的纳米结构之间沉积的和区域的方法 表示对所述纳米结构材料的材料的反应物中的至少一个被填充。 此外，本发明包括联接到所述接合室激活机构用于结合微结构，其中该装置具有其中所述微结构和进一步的结构可以被插入，并调整为彼此可打开和/或关闭的，抽空的接合室的装置，和输出通过该 它由与居间表示对微结构的纳米结构材料的反应性多层系统的材料的反应物形成的反应性纳米结构是这样的机械，电，电磁，光学和/或热活化来进行，所述纳米层之间的自传播的放热反应。 此外，本发明涉及一种微系统，该系统由两个粘合基底的形成，并且位于键合衬底结构之间，其包括反应的反应层系统，其中所述反应的反应层系统的至少一个设置有垂直对齐的接合基板表面层上的反应结构序列， 隔开的纳米结构和填充在纳米结构之间具有至少一个表示对所述纳米结构材料的区域的材料的反应物，所述微系统是一个用生物材料传感器和/或聚合材料和/或至少一个磁和/或压电和元素 具有/或压阻元件。
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    • 8. 发明申请
      WO2013007645A2 SCHICHTSYSTEM MIT EINER SCHICHT AUS PARALLEL ZUEINANDER ANGEORDNETEN KOHLENSTOFFNANORÖHREN UND EINER ELEKTRISCH LEITENDEN DECKSCHICHT, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES SCHICHTSYSTEMS UND DESSEN VERWENDUNG IN DER MIKROSYSTEMTECHNIK 审中-公开
    • SCHICHTSYSTEM MIT EINER SCHICHT AUS PARALLEL ZUEINANDER ANGEORDNETEN KOHLENSTOFFNANORÖHREN UND EINER ELEKTRISCH LEITENDEN DECKSCHICHT, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES SCHICHTSYSTEMS UND DESSEN VERWENDUNG IN DER MIKROSYSTEMTECHNIK
    • WITH相互平行的碳纳米管和导电表面上，制造方法的层系统的结构和用法MICROSYSTEMS一层技术层体系
    • WO2013007645A2
    • 2013-01-17
    • PCT/EP2012/063280
    • 2012-07-06
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , HERMANN, Sascha , GESSNER, Thomas , SCHULZ, Stefan, E.
    • HERMANN, Sascha , GESSNER, Thomas , SCHULZ, Stefan, E.
    • C01B31/02
    • C01B31/0233 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01B32/16 , C01B32/162 , C01B2202/08 , H01G2/08 , H01G11/36 , Y10T428/25
    • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Schichtsystem, umfassend eine Schicht aus parallel zueinander ausgerichteten Kohlenstoffnanoröhren und eine unmittelbar damit verbundene Deckschicht mit metallischen Eigenschaften, aus der die Kohlenstoffnanoröhren im "tip"- Wachstum gewachsen sind. Das Schichtsystem kann weiterhin eine Basisschicht und/oder ein Substrat aufweisen. Es ist erhältlich durch das Erzeugen einer strukturierten Schicht aus einer ersten Phase, die aus einem Metall besteht, das keine eigenständige katalytische Aktivität hinsichtlich des Entstehens von CNTs aus der Gasphase aufweist, sowie einer zweiten Phase aus einem Metall, das die Entstehung von CNTs aus der Gasphase katalysiert, auf einem Substrat oder einer Basisschicht, wobei die erste Phase eine ungleichmäßig dicke und/oder gefaltete, gegebenenfalls mit Poren durchsetzte Struktur besitzt und die zweite Phase sich in Vertiefungen und/oder Poren der ersten Phase befindet derart, dass beide Materialphasen in der lateralen Ebene zumindest teilweise nebeneinander vorliegen, auf dem Substrat bzw. der darauf befindlichen Basisschicht. Auf dieser strukturierten Schicht wird Kohlenstoff aus einer kohlenwasserstoffhaltigen Gasatmosphäre abgeschieden, wobei sich Kohlenstoffnanoröhren bilden, die zumindest Teile der strukturierten Schicht in geschlossener Form anheben. Das Substrat oder die Basisschicht kann anschließend entfernt werden. Das Schichtsystem der Erfindung eignet sich zur Anwendung in einer Vielzahl von Bauelementen und elektronischen Mikro- und Nanosystemen, Flip-Chip-Verbindungen, Sensoren oder Aktoren, insbesondere von Drucksensoren, Berührungssensoren, optischen Sensoren, Spiegeln, Projektoren, optischen Filtern, Nanopositioniersystemen oder Interferometern, in einer spezifischen Form auch in einer Superkapazität.

    • 本发明涉及包含对准Kohlenstoffnanor＆OUML平行的层的层系统;铅和具有金属特性的直接相关联的覆盖层，从该Kohlenstoffnanor＆OUML梢QUOT;在＆铅QUOT - 生长生长 ， 层系统可以进一步包括基底层和/或基底。 通过产生由不独立位置BEAR Quantcast催化活性AUML的金属的第一相的图案化层ltlich;它在CNT的从气相和一个金属的第二阶段的出现而言获得具有吨GIRL CNT的从气相形成催化，一个基板或基极层上，其中所述第一相AUML一个ungleichm＆;道路IG厚和/或折叠，任选具有孔设施和的在凹部和/或孔中的第二相穿插 第一阶段是这样的：在基板或其上的基层上，侧面中的两个材料相彼此至少部分地相邻。 在该图案化的层上，碳从含烃气体气氛沉积以形成碳纳米管，该碳纳米管以闭合形式提升结构化层的至少一部分。 随后可以去除衬底或基层。 本发明的层系统适用于在各种设备和电子微米和纳米系统的使用中，倒装芯片连接，传感器或致动器，特别是压力传感器，小檗碱导航用途货币传感器，光学传感器，反射镜，投影仪，光学过滤器，纳米定位或 干涉仪也是一种超级电容的特定形式。

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    • 9. 发明申请
      WO2007134714A1 MEMS VAKUUMSENSOR NACH DEM REIBUNGSPRINZIP 审中-公开
    • MEMS VAKUUMSENSOR NACH DEM REIBUNGSPRINZIP
    • MEMS传感器真空摩擦原理AFTER
    • WO2007134714A1
    • 2007-11-29
    • PCT/EP2007/004078
    • 2007-05-09
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , KURTH, Steffen , TENHOLTE, Dirk , HILLER, Karla , KAUFMANN, Christian , GESSNER, Thomas , DÖTZEL, Wolfram
    • KURTH, Steffen , TENHOLTE, Dirk , HILLER, Karla , KAUFMANN, Christian , GESSNER, Thomas , DÖTZEL, Wolfram
    • G01L9/00 , G01L21/22
    • G01L21/22
    • Die Erfindung betrifft ein Sensorelement zur Druckmessung, welches ein Substrat (5) und mindestens ein Massenelement (1) aufweist, das beabstandet zum Substrat (5) angeordnet und schwingungs fähig mit dem Substrat (5) und/oder einem relativ zum Substrat (5) unbeweglichen Trägerkörper (6) verbunden ist, so dass zwischen dem Massenelement (1) und dem Substrat (5) ein Spalt besteht, dessen Breite durch Schwingungen des Massenelements (1) variierbar ist. In der den Spalt begrenzenden Fläche des Substrats (5) befindet sich mindestens eine Vertiefung und/oder mindestens eine Durchführung, die zur Reduktion der Dämpfung der Schwingung des Massenelements durch das das Massenelement (1) umgebende Gas oder Plasma dient. Das Sensorelement findet insbesondere Anwendung in Drucksensoren zur Messung von Drücken im Vakuumbereich. Durch die Verwendung des erfindungsgemäßen Sensorelements als Druckaufnehmer lassen sich maximale Drücke bis in den Bereich des atmosphärischen Luftdrucks erfassen. Die tiefsten zu bestimmenden Drücke liegen im Bereich von 10 -6 mbar.
    • 本发明涉及的传感器元件，用于测量压力，包括：基板（5）和至少一个质量元件，其与所述衬底间隔开的（1）（5）和振动能够与基板（5）和/或相对于所述基板（5） 固定支撑体（6）连接，从而使接地元件（1）与基板（5）之间有一间隙，其宽度由所述质量元件的振动（1）是可变的。 在所述衬底的所述间隙界定表面（5）是至少一个凹部和/或至少一个通道，其用于减少，通过该（1）质量构件周围的气体或等离子体质量构件的振动的阻尼。 该传感器元件具有用于在真空范围测量压力在压力传感器的特定应用。 通过使用本发明作为一个压力换能器的最大压力的传感器元件可以被记录到大气压力的面积。 最深的待确定的压力在10 -6 毫巴的范围内。
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    • 10. 发明申请
      WO2012004379A1 ABSTIMMBARES FABRY-PÉROT-FILTER UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 审中-公开
    • ABSTIMMBARES FABRY-PÉROT-FILTER UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
    • 可调谐的法布里 - 珀罗滤波器和方法生产
    • WO2012004379A1
    • 2012-01-12
    • PCT/EP2011/061610
    • 2011-07-08
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , KURTH, Steffen , HILLER, Karla , MEINIG, Marco , GESSNER, Thomas
    • KURTH, Steffen , HILLER, Karla , MEINIG, Marco , GESSNER, Thomas
    • G01J3/26 , G02B26/00
    • G01J3/26 , G02B5/284 , G02B26/001
    • Ein abstimmbares Fabry-Perot-Filter weist ein erstes Teil (10), das einen ersten Reflektorträger (12) mit einem ersten Reflektor (34) und einen ersten Trägerrahmen (14) aufweist, an dem der Reflektorträger (12) federnd gelagert ist. Das abstimmbare Fabry-Perot-Filter weist ferner ein zweites Teil (20) auf, das einen zweiten Reflektorträger (22) mit einem zweiten Reflektor (36) und einen zweiten Trägerrahmen (24) aufweist, an dem der zweite Reflektorträger (22) federnd gelagert ist. Das erste und das zweite Teil (10, 20) sind derart miteinander verbunden, dass sich der erste Reflektor (34) und der zweite Reflektor (36) gegenüberliegen, wobei ein Abstand zwischen dem ersten Reflektor und dem zweiten Reflektor veränderlich ist. Der erste Reflektorträger und der zweite Reflektorträger weisen jeweils eine längliche Form auf und sind in einem Winkel zueinander angeordnet, so dass sich in einem Bereich, in dem die länglichen Reflektorträger überlappen, die Reflektoren gegenüberliegen. Bereiche des ersten Reflektorträgers liegen Bereichen des zweiten Trägerrahmens gegenüber und Bereiche des zweiten Reflektorträgers liegen Bereichen des ersten Trägerrahmens gegenüber.
    • 一种可调谐的法布里 - 珀罗滤光器包括具有第一反射器支撑件（12），具有第一反射器（34）和在其上反射器支撑件（12）被弹性地安装在第一支撑框架（14）的第一部分（10）。 该可调谐的法布里 - 珀罗滤光器还包括第二部分（20）具有与第二反射器（36）和第二支撑框架（24），在其上存储的所述第二反射器载体（22）的第二反射器载体（22）弹性地 是。 所述第一和第二部分（10，20）彼此连接，使得第一反射器（34）和所述第二反射器（36）彼此相对，其中，所述第一反射器和第二反射器之间的距离是可变的。 第一反射器和第二反射器载波支持每一个都具有细长的形状，并且布置成角度地彼此，以便在一个区域，其中细长的反射器支撑件的重叠，也不赞成反射器。 第一反射器载体的各个区域是第二支撑框架的相对的部分和所述第二反射器载体的部分是第一支撑框架的相对的部分。
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