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    • 8. 发明申请
    • AKUSTISCHES OBERFLÄCHENWELLENBAUELEMENT
    • 声表面波器件
    • WO2003085827A2
    • 2003-10-16
    • PCT/DE2003/001172
    • 2003-04-07
    • TELE FILTER, ZWEIGNIEDERLASSUNG DER DOVER GERMANY GMBHFRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.KUNZE, ReinhardSIEMROTH, PeterWEIHNACHT, ManfredWEIHNACHT, VolkerSCHMIDT, Hagen
    • KUNZE, ReinhardSIEMROTH, PeterWEIHNACHT, ManfredWEIHNACHT, VolkerSCHMIDT, Hagen
    • H03H9/00
    • H03H9/02921H03H9/02582H03H9/02929
    • Die Erfindung betrifft ein akustisches Oberflächenwellenbauelement, bei dem auf einem piezoelektrischen Substrat Interdigitalwandler- und Reflektorstrukturen aus einem elektrisch leitfähigen Material angeordnet sind.Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, für ein derartiges Oberflächenwellenbauelement Maßnahmen vorzuschlagen, durch die die Akustomigration wesentlich verringert wird, die Möglichkeit einer Frequenzverschiebung zu höheren Werten vorliegt und preiswerte pyroelektrische Substrate einsetzbar sind, ohne dass hierdurch eine maßgebliche Beeinträchtigung der Übertragungseigenschaften und des wichtigen Temperaturkoeffizienten eintritt.Das erfindungsgemäße akustische Oberflächenwellenbauelement ist dadurch gekennzeichnet, dass auf und/oder unter den Interdigitalwandler- und Reflektorstrukturen eine 1 nm bis 20 nm dicke Schicht aus diamantähnlichem Kohlenstoff mit einem sp3-Anteil von > 30% oder aus einem anderem Material mit einem E-Modul von mindestens 200 GPa vorhanden ist, die mit gepulstem Hochstrombogenverfahren oder einem anderen Schichtabscheidungsverfahren zur Erzeugung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten mit vergleichbarem sp3-Anteil oder zur Erzeugung anderer Schichten mit E-Moduli im Bereich von mindestens 200 GPa hergestellt ist.- Fig. 1 -
    • 本发明涉及一种表面声波装置,其特征在于,布置在导电材料other.The发明的目的是提出的措施对于这样的表面声波装置,通过该声迁移显着降低的可能性,的压电基片Interdigitalwandler-和反射器结构 本频率偏移到更高的值而廉价热电基片均可使用,而这并不意味着传输特性和重要温度系数eintritt.Das本发明的表面声波装置,其特征在于上和/或下Interdigitalwandler-和反射器结构1纳米至20的显著恶化 纳米厚的层的类金刚石碳的具有至少为200GPa的弹性前模量的SP 3含量的> 30%,或由另一种材料 是手,这产生了脉冲高电流电弧过程或具有可比较的sp3成分或以产生具有在至少为200GPa的范围内的弹性模量的其它层产生类金刚石碳层的任何其他膜沉积工艺ist.-图1 -