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1. 发明申请

WO2012107535A1 VORRICHTUNG, ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR INTERFERENZSTRUKTURIERUNG VON FLÄCHIGEN PROBEN 审中-公开
标题翻译：装置和方法干扰构造表面样品
公开(公告)号：WO2012107535A1
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：PCT/EP2012/052244
申请日：2012-02-09
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , LASAGNI, Andrés Fabián , ROCH, Teja , BEYER, Eckhard
发明人： LASAGNI, Andrés Fabián , ROCH, Teja , BEYER, Eckhard
IPC分类号： B23K26/067 , B23K26/00 , B23K26/073 , G03H1/30
CPC分类号： B23K26/067 , B23K26/00 , B23K26/0084 , B23K26/0648 , B23K26/0676 , B23K26/0738 , B23K26/0821 , B23K26/0823 , B23K26/083 , B23K26/352 , G02B26/00 , G02B27/00 , G03H2001/0482
摘要： Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung (sowie ein entsprechendes Verfahren) zur Interferenzstrukturierung einer flächigen Probe (P) mit einem Laser (1), einem im Strahlengang des Lasers angeordneten Fokussierelement (3, 3a, 3b) mit dem die Laserstrahlung in einer ersten Raumrichtung (y) fokussierbar ist, einem im Strahlengang des Lasers angeordneten ersten Prisma (4), insbesondere einem Biprisma, mit dem die Laserstrahlung in einer zweiten, zur ersten Raumrichtung bevorzugt orthogonalen Raumrichtung (x) mit zwei Strahlenbündeln (2a, 2b) so auf ein Probenvolumen (5) richtbar ist, dass die beiden Strahlenbündel innerhalb des Probenvolumens in einem Interferenzbereich (6) interferieren, dem Probenvolumen, in dem die flächige Probe im Interferenzbereich platzierbar ist oder platziert ist, und einer Bewegungseinheit (7), mit der das/die Strahlenbündel der Laserstrahlung in der ersten, der zweiten oder der ersten und der zweiten Raumrichtung (x, y) bewegbar ist/sind und/oder mit der eine/die Probe im Probenvolumen in die erste, die zweite oder die erste und die zweite Raumrichtung (x, y) bewegbar ist.
摘要翻译：本发明涉及一种用于平板样品（P）的干涉图案的装置（和对应的方法）用激光（1），布置在所述激光的光路聚焦元件（3，3A，3B）与该激光辐射首先在空间方向（y）是可聚焦的，一个布置在所述激光的第一棱镜（4）的光束路径中，特别是双棱镜，与在第二激光辐射，优选垂直于所述第一空间方向中的空间方向（X）与两束光（2A，2B），进入样品体积（5）可被引导，这两个光束在干涉区域中的样品体积内干涉（6），所述样品体积，其中，在干涉区域的平坦样品可以被放置或放置，以及移动单元（7），与该/ 在第一，第二或所述第一和第二空间方向的激光辐射的光束（X，Y）是可移动的/有和/或与在所述第一，第二或所述第一和第二空间方向（x，y）处的样品体积/样品是可移动的。

2. 发明申请

WO2011072663A2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DÜNNSCHICHTBAUELEMENTS SOWIE DÜNNSCHICHTBAUELEMENT GEMÄSS DIESEM VERFAHREN 审中-公开
标题翻译：用于生产根据薄膜成分和薄膜COMPONENT用这种方法
公开(公告)号：WO2011072663A2
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：PCT/DE2010/001523
申请日：2010-12-17
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , LASAGNI, Andrés, Fabián , DANI, Ines
发明人： LASAGNI, Andrés, Fabián , DANI, Ines
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： H01L31/1884 , H01L31/0236 , Y02E10/50
摘要： Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines elektrischen, photoelektrischen, elektrooptischen und/oder optischen Dünnschichtbauelementes (1), wobei auf und/oder mit einem Substrat (2) mindestens eine als erster elektrischer Kontakt des Dünnschichtbauelements geeignete, optisch transparente, elektrisch leitfähige Schicht (TCF-Schicht, 3) aufgebracht und/oder verbunden wird, bevorzugt abgeschieden wird, wobei auf und/oder in mindestens eine der TCF-Schichten (3) Laserlicht (4) so eingestrahlt wird, dass hierdurch in ihr (3) ein Intensitätseintrag bewirkt wird und durch diesen Intensitätseintrag in ihr (3) durch Materialabtrag eine Vielzahl von Vertiefungen (5a, 5b,...) ausgebildet wird, und wobei in und/oder auf diese (n) so ausgebildeten Vertiefungen (5a, 5b,...) mindestens ein zur Ausbildung eines elektrischen, photoelektrischen, elektrooptischen und/oder optischen Effektes geeignetes Material (6) eingebracht, aufgebracht und/oder verbunden wird, bevorzugt abgeschieden wird.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造电，光电，电光和/或光学薄膜器件（1），其特征在于，上和/或与衬底（2）至少一种合适的作为薄膜组件的第一电接触，光学透明的，电施加导电层（TCF-层，3）和/或连接的，优选沉积，其特征在于，上和/或在TCF-层中的至少一个（3）的激光（4）照射，以便从而在其（3）的强度项进行，并通过在其该强度条目（3）通过去除材料形成的多个凹部（5A，5B，...），并且其中（内和/或在该（n）的所形成的凹部5A，5B， ...）被引入至少一种合适的用于形成电，光电，电光和/或光学效应的材料（6），施加和/或连接，优选沉积。

3. 发明申请

WO2011072664A1 STRUKTUR ENTHALTEND EINEN FESTSCHMIERSTOFF (FESTSCHMIERSTOFFSTRUKTUR), INSBESONDERE FÜR EINE VAKUUMTRIBOLOGISCHE ANWENDUNG AUSGEBILDETE FESTSCHMIERSTOFFSTRUKTUR, UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DERSELBEN 审中-公开
标题翻译：结构中含有固体润滑剂（固体润滑结构），尤其是对于应用程序VAKUUMTRIBOLOGISCHE刻苦训练润滑剂结构及其方法
公开(公告)号：WO2011072664A1
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：PCT/DE2010/001524
申请日：2010-12-17
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , LASAGNI, Andrés, Fabián , WEIHNACHT, Volker , ROCH, Teja
发明人： LASAGNI, Andrés, Fabián , WEIHNACHT, Volker , ROCH, Teja
IPC分类号： C23C14/04 , C23C14/06 , C23C16/04 , C23C16/26 , F16C33/00
CPC分类号： C23C16/26 , C23C14/046 , C23C14/0605 , C23C16/045 , F16C33/1095
摘要： Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Festschmierstoffstruktur, insbesondere für eine vakuumtribologische Anwendung ausgebildete Festschmierstoffstruktur, mit einer Substratbasis (1) und einem angrenzend an diese und/oder verbunden mit dieser Substratbasis (1) ausgebildeten Schichtsystem (2), wobei dieses Schichtsystem (2) mindestens eine Schicht (2a) enthaltend oder bestehend aus diamantartigen/m Kohlenstoff DLC umfasst, wobei entweder im Schichtsystem (2) oder sowohl im Schichtsystem (2), als auch in der Substratbasis (1) eine Vielzahl einzelner, eine Vertiefungsstruktur (3) ausbildende Vertiefungen (3a, 3b,...) ausgebildet ist, und wobei mindestens eine der, bevorzugt mehrere der, bevorzugt alle der Vertiefungen (3a, 3b,...) zumindest teilweise mit mindestens einem Festschmierstoff (4) gefüllt ist/sind.
摘要翻译：本发明涉及一种固体润滑剂结构特别是用于vakuumtribologische应用形成的固体润滑剂结构具有衬底基座（1）和与其相邻的和/或连接到该基片基体（1）形成的层系统（2），所述层系统（2）的至少一个层含有或由类金刚石/米碳DLC，其中任一所述层系统（2）中或在两者的层系统（2），以及基片基体（1）的多个单独的，腔结构（3）的形成（2a）的凹陷（3A，3B，...）形成，并且其中的至少一个，优选为多个，优选所有的空腔（3A，3B，...）是与至少一种固体润滑剂填充至少部分地（4）是/都是。

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