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1. 发明申请

WO2014049141A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DECKELS FÜR OPTISCHE MEMS VERPACKUNGEN 审中-公开
标题翻译：一种用于生产COVER FOR光学MEMS封装
公开(公告)号：WO2014049141A1
公开(公告)日：2014-04-03
申请号：PCT/EP2013/070246
申请日：2013-09-27
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： LANGA, Sergiu , DRABE, Christian , SANDNER, Thilo
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： H01L21/3065 , B81C1/00317 , G02B26/0833
摘要： Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung schaffen Herstellungsverfahren. In einem ersten Schritt wird ein Halbleitersubstrat mit einer Gitterebene bereitgestellt, die nicht symmetrisch und mit einem Winkel α versetzt zu zumindest einem ersten Hauptoberflächenbereich oder einem zweiten Hauptoberflächenbereich des Halbleitersubstrats verläuft, wobei der erste Hauptoberflächenbereich und der zweite Hauptoberflächenbereich parallel zueinander verlaufen. In einem zweiten Schritt wird ausgehend von dem ersten Hauptoberflächenbereich in das Halbleitersubstrat anisotrop geätzt, um eine Ätzstruktur zu erhalten, die in einer Ebene, die senkrecht zu dem ersten Hauptoberflächenbereich des Halbleitersubstrats verläuft, zwei unterschiedliche Ätzwinkel bezüglich des ersten Hauptoberflächenbereichs aufweist. In einem dritten Schritt wird eine Abdeckungsschicht auf den ersten Hauptoberflächenbereich des Halbleitersubstrats angeordnet, so dass die Abdeckungsschicht zumindest bereichsweise an der Ätzstruktur anliegt. In einem vierten Schritt wird das Material des Halbleitersubstrats ausgehend von dem zweiten Hauptoberflächenbereich im Bereich der verformten Abdeckungsschicht abschnittsweise entfernt, so dass die Abdeckungsschicht in zumindest einem Fensterbereich freiliegt.
摘要翻译：本发明的实施例提供了制造工艺。在第一步骤中，在半导体基板上设置有一个晶格面不偏移α对称地和成角度地至少延伸的第一主表面部分或在半导体衬底的第二主表面区域，其中所述第一主表面区域和相互平行的第二主表面的区域。在第二步骤中从第一主表面区域在半导体衬底蚀刻各向异性以获得蚀刻的结构，在垂直于所述第一主表面区域的平面内所述半导体衬底，其具有相对于所述第一主表面区域中的两个不同的蚀刻角度。在第三步骤中，覆盖层设置在所述半导体衬底的第一主表面区，使得当施加至少部分地在蚀刻结构的覆盖层。在第四步骤中，半导体衬底的材料中部分正在进行远离在变形覆盖层的范围内的第二主表面面积，从而使覆盖层中的至少一个窗口区露出。

2. 发明申请

WO2012095185A1 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT 审中-公开
标题翻译：微机械部件
公开(公告)号：WO2012095185A1
公开(公告)日：2012-07-19
申请号：PCT/EP2011/050483
申请日：2011-01-14
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , CONRAD, Holger , SCHENK, Harald , SCHIRRMANN, Christian , SANDNER, Thilo , ZIMMMER, Fabian , SCHMIDT, Jan-Uwe
发明人： CONRAD, Holger , SCHENK, Harald , SCHIRRMANN, Christian , SANDNER, Thilo , ZIMMMER, Fabian , SCHMIDT, Jan-Uwe
IPC分类号： H02N1/00 , G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0825 , G02B26/0841 , H01G5/16 , H02N1/006 , H02N1/08 , H04N1/08
摘要： Die Kraft auf die Elektroden eines elektrostatischen Feldes wird genutzt, damit laterale Zug- oder Druckkräfte entstehen, die ein verformbares Element (1201) verformen bzw. eine auslenkbare Struktur tief auslenken können. Dazu umfasst ein mikromechanisches Bauelement neben einer Elektrode (301) und einem verformbaren Element (1201) eine isolierende Abstandshalterschicht, über die die Elektrode (301) an dem verformbaren Element fixiert ist, wobei die isolierende Abstandshalterschicht (303) entlang einer lateralen Richtung in mehrere voneinander beabstandete Segmente strukturiert ist, so dass durch Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen der Elektrode (301) und dem verformbaren Element (1201) laterale Zug- oder Druckkräfte entstehen, die das verformbare Element (1201) entlang der lateralen Richtung verkrümmen. Aufgrund dieser Struktur wird das Problem überwunden, das normalerweise mit elektrostatischen Antrieben einhergeht, nämlich das Problem des Pull-in-Effektes. Erfindungsgemäß kann die Auslenkung des verformbaren Elements also viel größer sein als die Abstände der beiden Elektroden, d. h. der vorerwähnten Elektrode und des verformbaren Elements. Eine Verwendung als Sensor ist ebenfalls möglich.
摘要翻译：上形成静电场的电极上的力被使用，所以其变形的可变形构件（1201）和侧向张力或压缩力可以偏转可偏转结构深。用于此目的另外包括微机械部件的电极（301）和可变形的元件（1201），通过该电极（301）被固定到所述可变形元件中的绝缘隔离物层，其中，在多个相互绝缘间隔层（303）沿横向方向间隔开的区段被构造成使得侧向张力或压缩力被电极（301）和所述可变形构件（1201），经纱沿横向方向的可变形构件（1201）之间施加电压所产生。由于这种结构，该问题被克服，这是通常与静电致动器相关联，所述拉入效果的，即该问题。根据本发明，所述可变形元件的偏转可因此比两个电极，D的距离大得多。小时。上述电极和所述可变形构件。可以用作传感器也是可能的。

3. 发明申请

WO2011003404A1 REDUZIERUNG DER DYNAMISCHEN DEFORMATION VON TRANSLATIONSSPIEGELN MIT HILFE VON TRÄGEN MASSEN 审中-公开
标题翻译：还原翻译镜子的动态应变使用惰性群众
公开(公告)号：WO2011003404A1
公开(公告)日：2011-01-13
申请号：PCT/DE2010/000805
申请日：2010-07-06
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , CONRAD, Holger , GRASSHOFF, Thomas , JUNG, Denis , SANDNER, Thilo
发明人： CONRAD, Holger , GRASSHOFF, Thomas , JUNG, Denis , SANDNER, Thilo
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , G02B26/00
CPC分类号： G02B26/0833 , B81B3/007 , B81B2201/042 , B81B2203/051 , G02B26/0841
摘要： Mikromechanische Spiegelanordnung umfassend eine einen Translationsspiegel ausbildende Spiegelplatte (1), die über mindestens ein, bevorzugt über zwei oder mehr Halteelement (e) (2) mit einer Rahmenstruktur (3) verbunden und relativ zu dieser Rahmenstruktur translatorisch bewegbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Verbindungsbereich (4) mindestens eines, bevorzugt mehrerer, besonders bevorzugt aller Halteelemente (s) (2) mit der Spiegelplatte (1) vom Außenrand (5) der Spiegelplatte zum Zentrum (6) der Spiegelplatte hin gesehen nach innen versetzt angeordnet ist.
摘要翻译：微机械镜装置，其包括一个翻译镜成形镜板（1）通过至少一个，优选两个或更多个支撑元件（一个或多个）（2）与（3）和相对于所述框架结构为平移运动，其特征在于所述的帧结构至少一个连接区域（4），优选多种，更优选全部从镜板的外边缘（5）的中心的保持元件（一个或多个）（2）到镜板（1）（6）看出朝向内侧偏移镜板的设置。

4. 发明申请

WO2006000445A1 HOCHREFLEKTIV BESCHICHTETER MIKROMECHANISCHER SPIEGEL, VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG SOWIE DESSEN VERWENDUNG 审中-公开
标题翻译：高反射镀膜微机械视镜，其制造方法相同，及其用途
公开(公告)号：WO2006000445A1
公开(公告)日：2006-01-05
申请号：PCT/EP2005/006901
申请日：2005-06-27
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , SCHMIDT, Jan, Uwe , SANDNER, Thilo , SCHENK, Harald , GATTO, Alexandre , YANG, Minghong , HEBER, Jörg , KAISER, Norbert
发明人： SCHMIDT, Jan, Uwe , SANDNER, Thilo , SCHENK, Harald , GATTO, Alexandre , YANG, Minghong , HEBER, Jörg , KAISER, Norbert
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0833 , G02B5/08
摘要： Die Erfindung betrifft hochreflektiv beschichtete mikromechanische Spiegel für den tief-ultravioletten (DUV)- und vakuum-ultravioletten (VUV)-Spektralbereich, basierend auf einem Substrat, das mit einer Aluminium-Schicht und einer transparenten Vergütungsschicht überzogen ist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung derartiger hochreflektiv beschichteter mikromechanischer Spiegel sowie deren Verwendung zur Herstellung von Mikrosensoren, optischen Datenspeichern oder Video- und Datenprojektionsdisplays.
摘要翻译：本发明涉及用于深紫外线（DUV）的高反射涂层的微机械镜 - 基于其上涂覆有铝层和透明涂层的基材上，并在真空紫外（VUV）光谱。本发明还涉及一种用于制造这种高反射涂布的微机械镜以及它们用于生产微型传感器，光学数据储存或数据和视频投影显示器的使用的方法。

5. 发明申请

WO2008089786A1 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT ERHÖHTER STEIFIGKEIT UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN 审中-公开
标题翻译：与生产同样增加的刚度和方法的微机械部件
公开(公告)号：WO2008089786A1
公开(公告)日：2008-07-31
申请号：PCT/EP2007/000559
申请日：2007-01-23
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , SCHENK, Harald , SANDNER, Thilo
发明人： SCHENK, Harald , SANDNER, Thilo
IPC分类号： B81B3/00 , G02B26/08
CPC分类号： B81B3/0035 , B81B2201/042 , B81B2203/0181 , B81B2203/058 , G02B26/0841
摘要： Ein mikromechanisches Bauelement umfasst eine Schicht(53), die strukturiert ist, um eine Feder(81) und eine mittels der Feder(81) schwingfähig aufgehängte Platte(51) zu bilden, wobei in der Platte zumindest eine Ausnehmung (55) gebildet ist, und auf einer Oberfläche der Platte eine Abdeck-Schicht(103) angeordnet ist, die die Ausnehmung(55) an der Oberfläche verschließt.
摘要翻译：的微机械部件，其包括层（53），其被构造为形成一个弹簧（81）和所述弹簧的装置（81）可摆动地悬挂板（51），其特征在于，在所述板的至少一个凹部（55）形成，和覆盖层（103）布置在所述板，封闭的表面上的凹部（55）的表面上。

6. 发明申请

WO2007121692A1 OSZILLIEREND AUSLENKBARES MIKROMECHANISCHES ELEMENT UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN DES ELEMENTES 审中-公开
标题翻译：振动偏转微机械元件和方法用于操作元
公开(公告)号：WO2007121692A1
公开(公告)日：2007-11-01
申请号：PCT/DE2006/000745
申请日：2006-04-24
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , SCHENK, Harald , WOLTER, Alexander , SANDNER, Thilo , DRABE, Christian , KLOSE, Thomas
发明人： SCHENK, Harald , WOLTER, Alexander , SANDNER, Thilo , DRABE, Christian , KLOSE, Thomas
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0078 , B81B2201/042 , B81B2203/0109
摘要： Die Erfindung betrifft oszillierend auslenkbare mikromechanische Element sowie ein Verfahren zum Betreiben solcher Elemente. Es ist dabei Aufgabe der Erfindung die mikromechanischen Elemente bei der oszillierenden Auslenkung unter Berücksichtigung der jeweiligen mechanischen Resonanzfrequenz stabil und einfach betreiben zu können. An erfindungsgemäßen Elementen ist mindestens ein Federelement vorhanden mit dem es gehalten ist. Es wird zwischen zwei Umkehrpunkten unter Einsatz einer elektrischen Wechselspannung ausgelenkt. Das eine oder mehrere Federelement(e) weist/weisen eine nicht lineare Federkennlinie auf, so dass sich eine in Abhängigkeit der jeweiligen Auslenkung eine veränderte mechanische Resonanzfrequenz ergibt.
摘要翻译：本发明涉及一种振荡偏转微机械元件和用于操作这样的元件的方法。它是本发明工作在振荡偏转考虑到机械共振频率稳定且容易地微机械元件的目的。本发明的要素的至少一个弹簧元件是本与它被保持。据两个换向点之间偏转，使用交流电压。所述一个或多个弹簧元件（一个或多个）已/具有非线性的弹簧特性，以使得导致在机械共振频率作为各自的偏转的函数的变化。

7. 发明申请

WO2007087767A1 AUSLENKBARES MIKROMECHANISCHES SYSTEM SOWIE DESSEN VERWENDUNG 审中-公开
标题翻译：偏转微机械系统及其用途
公开(公告)号：WO2007087767A1
公开(公告)日：2007-08-09
申请号：PCT/DE2006/000243
申请日：2006-02-03
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , CONRAD, Holger , KLOSE, Thomas , SANDNER, Thilo
发明人： CONRAD, Holger , KLOSE, Thomas , SANDNER, Thilo
IPC分类号： G01L1/18 , G01D5/16 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0002 , G01L1/18 , G01L9/0055
摘要： Die Erfindung betrifft auslenkbare mikromechanische Systeme sowie deren Verwendung, bei denen die Auslenkung mindestens eines auslenkbaren Elementes bestimmt werden kann. Erfindungsgemäß ist ein auslenkbares Element mit mindestens einem Federelement gehalten und es ist mindestens eine die Auslenkung erfassende Einheit vorhanden. Diese ist als piezoresistiver Sensor mit mindestens zwei in einem Abstand zueinander und in einem sich bei Auslenkung verformenden Bereich angeordneten Kontakten gebildet. Die Kontakte sind an eine elektrische Spannungsquelle angeschlossen. Es ist in Tiefenrichtung senkrecht zu Kontaktflächen ein inhomogenes elektrisches Feld ausgebildet, so dass der sich in Abhängigkeit der Auslenkung verändernde elektrische Widerstand zwischen Kontakten als Maß für die Position erfasst werden kann. Der sich verformende Bereich ist aus elektrisch leitendem oder halbleitenden Werkstoff gebildet.
摘要翻译：本发明涉及一种偏转系统微机械及其用途，其中至少一个可偏转元件的偏转可以被确定。根据本发明的可偏转元件保持与至少一个弹簧元件和至少一个偏转感测单元存在。这被形成为具有至少两个相互间隔开并设置在后区接触偏转变形的压阻传感器。所述触点连接到电电压源。它形成在深度方向，使得触点之间的不断变化的电阻可以如偏转的函数的位置的测量来检测垂直于接触不均匀电场的表面。变形区是电传导性或半导电材料形成。

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