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1. 发明申请

WO2005012865A1 DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：WO2005012865A1
公开(公告)日：2005-02-10
申请号：PCT/EP2004/007975
申请日：2004-07-16
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG , DREWES, Ulfert , FLÖGEL, Karl , HEGNER, Frank , MARTIN, Rainer , UEHLIN, Thomas
发明人： DREWES, Ulfert , FLÖGEL, Karl , HEGNER, Frank , MARTIN, Rainer , UEHLIN, Thomas
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L19/003
摘要： Ein Drucksensor umfasst, eine Druckmesszelle mit einer mit dem Medium beaufschlagbaren Stirnfläche; ein Gehäuse 20 mit einer Medienöffnung 21 und eine ringförmige axiale Anschlagfläche 22, welche die Medienöffnung 21 umschliesst; eine Einspannvorrichtung 23; und eine ringförmige Dichtungsanordnung 30, wobei die Druckmesszelle in dem Gehäuse und die Dichtungsanordnung zwischen der Anschlagfläche und der Stirnfläche positioniert ist, und die Dichtungsanordnung 30 sowie die Druckmeszelle zwischen der Anschlagfläche 22 und der Einspannvorrichtung 23 axial eingespannt sind. Die Dichtungsanordnung 30 umfasst erfindungsgemäss einen Entkopplungsring 33 sowie ein erstes 31 und ein zweites 32 ringförmiges Dichtelement, wobei das erste Dichtelement an der Stirnfläche anliegt, das zweite Dichtelement an der Anschlagfläche anliegt, und der Entkopplungsring zwischen dem ersten und dem zweiten Dichtelement axial eingespannt ist.
摘要翻译：一种压力传感器，包括压力测量单元与所述介质表面的加压; 一壳体20具有媒体开口21和轴向邻接表面22，其包围所述媒体端口21的环形; 一个卡盘23; 和一环形密封组件30，其中，所述压力测量单元被定位在所述壳体和所述邻接表面和端面，和密封组件30和抵靠表面22和卡盘23之间的Druckmeszelle之间的密封装置被轴向夹紧。密封组件30包括根据本发明的去耦环33和第一31和第二32环形密封件，其特征在于，抵靠端面上的第一密封元件支承抵靠第二密封元件的邻接表面，并且所述第一和第二密封构件之间的去耦环被轴向夹紧。

2. 发明申请

WO2002088655A1 KAPAZITIVER DIFFERENZ-DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：电容式差压传感器
公开(公告)号：WO2002088655A1
公开(公告)日：2002-11-07
申请号：PCT/EP2002/003720
申请日：2002-04-04
申请人： ENDRESS + HAUSER GMBH+CO. KG , HEGNER, Frank , DREWES, Ulfert , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke
发明人： HEGNER, Frank , DREWES, Ulfert , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0073 , G01L9/0075 , G01L13/025
摘要： Bei einem Differnzdrucksensor wird der Meßwert mit Hilfe des Nenndrucks NP korrigiert. Dadurch werden Einflüsse auf den Meßwert aufgrund von Verformungen des Körpers des Differenzdrucksensors und der Änderung der Materialsteifigkeit der Membran verringert.
摘要翻译：在一个Differnzdrucksensor测量值与标称压力NP的辅助校正。其特征在于影响被减小到测量值由于差动压力传感器的主体，并在膜的材料的刚性的变化的变形。

3. 发明申请

WO2006000534A1 DRUCKAUFNEHMER 审中-公开
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：WO2006000534A1
公开(公告)日：2006-01-05
申请号：PCT/EP2005/052723
申请日：2005-06-14
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG , DREWES, Ulfert , HEGNER, Frank
发明人： DREWES, Ulfert , HEGNER, Frank
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L19/145 , G01L19/147
摘要： Ein Druckaufnehmer, umfasst ein Gehäuse (1) mit einer Gehäuseachse, in dem eine Messzellenkammer definiert ist, welche über eine Öffnung mit einem Druck beaufschlagbar ist; wobei die Öffnung von einer ringförmigen ersten Dichtfläche umgeben ist; eine Druckmesszelle (2) mit einer der Öffnung zugewandten zweiten Dichtfläche, und eine von der Dichtfläche abgewandten Anschlagfläche; einen Dichtring (3); und eine Einspannvorrichtung (4), welche in das Gehäuse eingreift, wobei die Druckmesszelle und der Dichtring mittels einer axialen Einspannkraft dergestalt zwischen der Einspannvorrichtung (4) und der ersten Dichtfläche, eingespannt sind, dass der Dichtring (3) druckdicht zwischen der ersten Dichtfläche und der zweiten Dichtfläche angeordnet ist, wobei der Druckaufnehmer ferner eine Ausgleichsanordnung umfasst, welche einen ersten Übertragungskörper (7) aufweist, welcher der Öffnung zugewandt ist, und einen zweiten (4) Übertragungskörper, welcher der Öffnung abgewandt ist, wobei die axiale Einspannkraft durch die Ausgleichsanordnung von der Einspannvorrichtung zur Druckmesszelle übertragen wird, und der erste Übertragungskörper bezüglich des zweiten Übertragungskörpers um zwei zueinander senkrechte Achsen, kippfähig ist.
摘要翻译：一种压力传感器，包括：壳体（1）具有壳体轴线，其中，测量单元室被限定，其可根据通过利用压力的开口担任; 其中，所述开口由一个环形第一密封表面包围; 具有面向所述第二密封表面中的开口，和从密封表面背对的抵接表面的压力测量单元（2）; 一个密封环（3）; 和夹紧装置（4），其接合于所述壳体，其特征在于，通过这样的夹紧装置（4）和所述第一密封表面之间的轴向夹紧力的装置中的压力测量单元和密封环，被夹紧，密封环（3）所述第一密封表面之间的压力密封的方式并中，第二密封表面设置，其中，所述压力传感器进一步包括平衡装置，包括一个第一转移体（7），其面对所述开口，并且其面向远离所述开口的第二（4）转印体，轴向通过补偿组件夹紧力从夹具到压力测量单元，并且所述第一转印体转印相对于第二转移体绕着两个相互垂直的轴线，是倾斜的。

4. 发明申请

WO2004031716A1 KAPAZITIVER DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：电容式压力传感器
公开(公告)号：WO2004031716A1
公开(公告)日：2004-04-15
申请号：PCT/EP2003/010009
申请日：2003-09-09
申请人： ENDRESS + HAUSER GMBH + CO. KG , DREWES, Ulfert , GETMAN, Igor , HEGNER, Frank
发明人： DREWES, Ulfert , GETMAN, Igor , HEGNER, Frank
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L19/04 , G01L9/0075
摘要： Zur Minimierung des Spannefehlers eines Drucksensors mit einem im wesentlichen zylindrischen Grundkörper und einer an einer Stirnfläche des Grundkörpers gefügten Meßmembran, wobei die Druckmeßzelle axial eingespannt ist zwischen einem elastischen Dichtring, der auf der membranseitigen Stirnseite der Druckmeßzelle aufliegt, und einem Stützring, der die Druckmeßzelle rückseitig abstützt, sind die Abmessungen des Stützrings solchermaßen auf die Abmessungen des Dichtrings und der Druckmesszelle abgestimmt daß eine durch die axiale Einspannung der Druckmeßzelle bedingte radiale Verformung der membranseitigen Stirnfläche so gering ist, daß der Spannenfehler des Drucksensors aufgrund einer Reduzierung der axialen Einspannkraft um mindestens 10% nicht mehr als etwa 0,02% beträgt. Zudem ist zwischen dem Stützring und einem Einspannring ein steifes Entkopplungselement angeordnet, durch welches die Temperaturhysterese der Spanne minimiert wird. Die Geometrie des Stützrings und des Entkopplungselements wird iterativ mittels FEM ermittelt.
摘要翻译：为了最小化包括基本上为圆柱形的基体和接合于所述基体测量膜片的端面，其特征在于，所述压力测量单元被轴向夹紧的弹性密封环之间背部，其搁置在压力测量单元的所述膜侧的端面，和一个支撑环，该压力测量单元的压力传感器的误差的范围内，支持，支撑环的尺寸从而适于引起由所述压力测量膜侧端面的细胞的径向变形的轴向夹紧密封环的尺寸和压力测量单元是如此之小，压力传感器的由于轴向的降低量程误差由至少10％的夹紧力不超过按重量计约0.02％以上。此外，支撑环和夹紧环之间，一个刚性联接元件布置成通过该跨度的温度滞后最小化。支撑环的和去耦元件的几何结构被反复通过FEM来确定。

5. 发明申请

WO2011006741A1 KAPAZITIVE KERAMISCHE DRUCKMESSZELLE UND DRUCKSENSOR MIT EINER SOLCHEN DRUCKMESSZELLE 审中-公开
标题翻译：有了这样的压力测量单元的电容式陶瓷压力测量单元与气压传感器
公开(公告)号：WO2011006741A1
公开(公告)日：2011-01-20
申请号：PCT/EP2010/058784
申请日：2010-06-22
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG , DREWES, Ulfert , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke , UEHLIN, Thomas
发明人： DREWES, Ulfert , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke , UEHLIN, Thomas
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0075
摘要： Eine kapazitive Druckmesszelle (1), umfasst: einen keramischen Grundkörper (3) und eine keramische Messmembran (2), die entlang einer Fügestelle (4) unter Bildung einer Referenzdruckkammer (5) zwischen ihnen druckdicht miteinander verbunden sind, wobei die Messmembran (2) eine erste dem Grundkörper (3) zugewandte Elektrode (7) aufweist, wobei der Grundkörper (3) mindestens eine zweite der Messmembran (2) zugewandte Elektrode (8a, 8b) aufweist, wobei die Kapazität zwischen den ersten und zweiten Elektroden von der Differenz eines auf die Messmembran von außen einwirkenden Drucks und einem in der Referenzdruckkammer (5) herrschenden Drucks abhängt, wobei die Fügestelle (4) eine Stärke d aufweist, welche einen Gleichgewichtsabstand zwischen der Messmembran (2) und der Stirnseite des Grundkörpers (3) definiert, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Stirnseite des Grundkörpers eine Trägerschicht (9) angeordnet ist, die einen anorganischen Isolator aufweist, wobei die Trägerschicht eine Stärke von mindestens 0,2 d aufweist, und wobei die zweite Elektrode (8a, 8b) auf der Trägerschicht angeordnet ist.
摘要翻译：一种电容压力测量单元（1），包括：一个陶瓷基体（3）和陶瓷测量膜片（2），其是沿一个接头（4），以形成基准压力腔室（5）之间的压力密封它们连接到彼此，其中所述测量膜片（2）第一至（3）面向所述电极的基体（7），其中，所述基体（3）（2）面向所述电极的测量膜片中的至少一个第二（8A，8B），其中一个之间的差的第一和第二电极之间的电容到测量膜片外部施加的压力和参考压力室中存在一个（5）压力是相关的，与所述安装点（4）具有厚度d，它定义了测量膜片（2）和所述基体（3）的端面之间的平衡距离，其特征在于在该背层（9）被布置在基体上，其具有无机绝缘体的前侧，其中所述载体别致 HT具有至少0.2的厚度d，以及其中，所述第二电极（8A，8B）被布置在载体层上。

6. 发明申请

WO2003054499A1 DRUCKSENSOR MIT HYDROPHOBER BESCHICHTUNG 审中-公开
标题翻译：具有疏水涂层压力传感器
公开(公告)号：WO2003054499A1
公开(公告)日：2003-07-03
申请号：PCT/EP2002/014443
申请日：2002-12-18
申请人： ENDRESS + HAUSER GMBH + CO. KG , HEGNER, Frank , DREWES, Ulfert , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke
发明人： HEGNER, Frank , DREWES, Ulfert , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0075
摘要： Ein Drucksensor zum Messen eines Meßdrucks umfaßt eine Druckkammer; und einen Verformungskörper, der mit einem unter dem Meßdruck stehenden Medium beaufschlagbar ist, und der ferner die Druckkammer zumindest teilweise begrenzt und diese von dem Medium druckdicht abschließt; wobei die Wände der Sensorkammer eine hydrophobe Beschichtung aufweisen, die durch Gasphasenabscheidung aufgebracht wurde. Die hydrophobe Beschichtung weist vorzugsweise Silane auf. Insbesondere sind Silane mit einer oder mehreren hydrophoben Gruppen R und einer oder mehreren Verankerungsgruppen X geeignet. Besonders Bevorzugt sind: R-Si-X 3 , R 1 R 2 -Si-X 2 , R 1 R 2 R 3 -Si-X. Die hydrophobe Gruppe R ist bevorzugt eine Alkyl-, Perfluoralky-, Phenyl-, oder Perfluorphenylgruppe. Die Verankerungsgruppe X ist bevorzugt ein -OH (Silanol), -X (Halogenid, z.B. -Cl), -OR (Ester, z.B. -OCH 3 ), -NH 2 (Amin), oder -SH (Mercaptosilan). Weiterhin können aliphatische oder cyclische Silazane -Si-NH-Si-, z.B. Hexamethyldisilazan, verwendet werden. Ebenfalls geeignet sind Verbindungen des Typs Ry-Me-Xz mit Me = z.B. Zr, Ti.
摘要翻译：用于测量表压的压力传感器包括压力室; 和变形体，其由所述介质之下的测量压力采取行动，进而压力室至少部分地限定，压力密封的从培养基中终止; 其中，所述传感器室的壁具有疏水涂层，其通过气相沉积施加。所述疏水性涂层优选包括硅烷。特别地，具有一个或多个疏水基团，R和一个或多个合适的锚定基团X的硅烷特别优选的是：R-Si的X3，R1R2硅X2，R1R2R3-Si系X。所述疏水性基团R优选为烷基，Perfluoralky-，苯基或全氟苯基。锚定基团X优选是OH（硅醇），-X（卤化物，例如氯）， - OR（酯，例如，-OCH 3）， - NH 2（氨基），或-SH（巯基）。此外，脂族或环硅氮烷-Si-NH-SI-，例如六甲基二被使用。同样合适的是类型RY-ME-XZ我=例如化合物锆，钛。

7. 发明申请

WO2006058861A1 DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：WO2006058861A1
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：PCT/EP2005/056220
申请日：2005-11-25
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG , DREWES, Ulfert , HEGNER, Frank
发明人： DREWES, Ulfert , HEGNER, Frank
IPC分类号： G01L9/00 , G01L9/12 , G01L19/14
CPC分类号： G01L19/14 , G01L9/0075
摘要： Ein Drucksensor 1 umfasst eine Druckmesszelle 2 mit einer ersten formsteifen, im wesentlichen planaren Dichtfläche 24 und einen Gegenkörper 4 mit einer Öffnung, die von einer zweiten formsteifen, im wesentlichen planaren Dichtfläche 45 umgeben ist; wobei die Druckmesszelle 2 und der Gegenkörper 4 mit einer Einspannkraft in axialer Richtung, welche im wesentlichen senkrecht zu den Ebenen der Dichtflächen verläuft, gegeneinander gedrückt werden; und zwischen der ersten Dichtfläche und der zweiten Dichtfläche eine Flachdichtung 51 mittels der axialen Einspannkraft freiliegend im Hauptschluss eingespannt ist. Der Gegenkörper 4 kann als Entkopplungsring zwischen einem metallischen Gehäuse 3 und einer keramischen Druckmesszelle 2 ausgebildet sein, wobei zwischen dem Entkopplungsring und dem Gehäuse ebenfalls eine Flachdichtung 52 eingespannt ist. Die Druckmesszelle ist vorzugsweise elastisch vorgespannt.
摘要翻译：压力传感器1包括压力测量单元2具有第一尺寸稳定的，基本上为平面的密封面24，并与开口，该开口是由第二形状稳定的基本上是平面的密封面45所包围的计数器体4; 其中，所述压力测量单元2和对置体4在轴向方向上的夹持力，其基本上垂直于被压靠在彼此的密封面的平面; 和一个平垫圈是通过在第一密封表面和第二密封表面之间的主电路露出的轴向夹紧的夹紧装置51。计数器体4可以形成为金属壳体3和陶瓷压力测量单元2，其中一个扁平垫圈解耦环52和壳体之间还夹之间的去耦环。压力测量单元优选地弹性地偏置。

8. 发明申请

WO2004013593A1 KAPAZITIVER DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：电容式压力传感器
公开(公告)号：WO2004013593A1
公开(公告)日：2004-02-12
申请号：PCT/EP2003/007843
申请日：2003-07-18
申请人： ENDRESS + HAUSER GMBH + CO. KG , DREWES, Ulfert , HEGNER, Frank
发明人： DREWES, Ulfert , HEGNER, Frank
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L19/0618 , G01L9/0075
摘要： Ein kapazitiver Drucksensor 1 umfaßt einen Grundkörper 10, der an einer Stirnseite ein abstützendes Membranbett 11 mit einem konkaven zentralen Bereich aufweist, und eine mit dem Grundkörper entlang einer Fügestelle druckdicht verbundene Membran 17, wobei die Membran 17 das Membranbett 11 überdeckt. Eine Meßelektrode 13 ist in dem zentralen Bereich angeordnet. Eine Referenzelektrode 14 ist in einem Graben 12 angeordnet, um den Abstand zu einer Gegenelektrode 18 an der Membran 17 zu vergrößern. Hierdurch wird die Referenzkapazität zwischen der Referenzelektrode und der Gegenelektrode unempfindlicher gegen druckbedingte Auslenkungen der Membran 17. Im Ergebnis führt dies zu einer vergrößerten Empfindlichkeit des Drucksensors.
摘要翻译：一种电容压力传感器1包括具有在一个端部的基体10面对的支承隔膜床11具有凹的中央区域，以及相关联的隔膜17压紧在基体沿着接头，其中所述膜17覆盖膜片床11 测量电极13布置在中心区域。参比电极14，以增加在膜第十七到反电极18的距离被布置在沟槽12 从而，参考电极和反电极之间的参考电容是与膜片17。结果的压力引起的变形较不敏感，这会导致压力传感器的增加的敏感性。

9. 发明申请

WO2004005875A1 KAPAZITIVER DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：电容式压力传感器
公开(公告)号：WO2004005875A1
公开(公告)日：2004-01-15
申请号：PCT/EP2003/006961
申请日：2003-07-01
申请人： ENDRESS + HAUSER GMBH + CO. KG , DREWES, Ulfert , GETMAN, Igor , HEGNER, Frank
发明人： DREWES, Ulfert , GETMAN, Igor , HEGNER, Frank
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L19/02 , G01L9/0075
摘要： Zur Minimierung des Spannefehlers eines Drucksensors mit einem im wesentlichen zylindrischen Grundkörper und einer an einer Stirnfläche des Grundkörpers gefügten Meßmembran, wobei die Druckmeßzelle axial eingespannt ist zwischen einem elastischen Dichtring, der auf der membranseitigen Stirnseite der Druckmeßzelle aufliegt, und einem Stützring, der die Druckmeßzelle rückseitig abstützt, sind die Abmessungen des Stützrings solchermaßen auf die Abmessungen des Dichtrings und der Druckmesszelle abgestimmt daß eine durch die axiale Einspannung der Druckmeßzelle bedingte radiale Verformung der membranseitigen Stirnfläche so gering ist, daß der Spannenfehler des Drucksensors aufgrund einer Reduzierung der axialen Einspannkraft um mindestens 10% nicht mehr als etwa 0,02% beträgt. Die Geometrie des Stützrings wird iterativ mittels FEM ermittelt.
摘要翻译：为了最小化包括基本上为圆柱形的基体和接合于所述基体测量膜片的端面，其特征在于，所述压力测量单元被轴向夹紧的弹性密封环之间背部，其搁置在压力测量单元的所述膜侧的端面，和一个支撑环，该压力测量单元的压力传感器的误差的范围内，支持，支撑环的尺寸从而适于引起由所述压力测量膜侧端面的细胞的径向变形的轴向夹紧密封环的尺寸和压力测量单元是如此之小，压力传感器的由于轴向的降低量程误差由至少10％的夹紧力不超过按重量计约0.02％以上。支撑环的几何形状由FEM来迭代地确定。

10. 发明申请

WO2009003826A1 DRUCKSENSOR 审中-公开
标题翻译：压力传感器
公开(公告)号：WO2009003826A1
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：PCT/EP2008/057490
申请日：2008-06-13
申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG , DREWES, Ulfert , HEGNER, Frank , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke
发明人： DREWES, Ulfert , HEGNER, Frank , ROSSBERG, Andreas , SCHMIDT, Elke
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0075 , G01L19/0084
摘要： Ein Drucksensor (1), umfasst einen Grundkörper (2); und eine Messmembran (3), die unter Bildung einer Messkammer mit dem Grundkörper (2) mittels einer ersten Fügestelle (4) die ein Aktivhartlot aufweist, druckdicht verbunden ist; und einen Wandler (5, 6) zum Wandeln einer druckabhängigen Verformung der Messmembran in ein elektrisches Primärsignal; sowie einen Primärsignalpfad, der sich von, dem Wandler durch den Grundkörper erstreckt, wobei der Primärsignalpfad mindestens einen elektrischen Leiter umfasst, der in einem Abschnitt durch eine Öffnung (7) durch den Grundkörper verläuft; wobei die Öffnung mittels eines metallischen Körpers (9) verschlossen ist, der eine ebene Fläche aufweist, die der Messkammer zugewandt ist, und die mittels einer die Öffnung (7) umschließenden zweiten Fügestelle (8), die ein Aktivhartlot aufweist, druckdicht mit dem Grundkörper (2) gefügt ist, wobei das Aktivhartlot der zweiten Fügestelle (8) einen Schmelzpunkt aufweist, der nicht mehr als 50°C bzw. 25°C niedriger ist als jener des Aktivhartlots der ersten Fügestelle.
摘要翻译：的压力传感器（1）包括基体（2）; 和测量膜片（3），其通过（4）具有活性钎焊的第一关节的装置形成与所述基体（2）的测量室，是压力密封地连接; 和换能器（5,6），用于将所述测量膜片的压力相关的变形转换成电初级信号; 和穿过基体，其中，所述主信号路径中的至少包括电导体的部分中通过开口从，换能器延伸的主信号路径（7）延伸穿过所述基体; 其中，所述开口装置的金属体（9）的被关闭时，具有面向所述测量室中的平坦表面，并且所述开口的装置（7）围绕所述第二铰链（8），其具有活性钎焊，压力密封的方式与基体（2）接合，其中，所述第二铰链（8）的活性钎料的熔点，其不超过50℃或低于第一活性钎焊接头的低25℃。

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