基本信息:
- 专利标题: KAPAZITIVER DRUCKSENSOR
- 专利标题(英):Capacitive pressure sensor
- 专利标题(中):电容式压力传感器
- 申请号:PCT/EP2003/010009 申请日:2003-09-09
- 公开(公告)号:WO2004031716A1 公开(公告)日:2004-04-15
- 发明人: DREWES, Ulfert , GETMAN, Igor , HEGNER, Frank
- 申请人: ENDRESS + HAUSER GMBH + CO. KG , DREWES, Ulfert , GETMAN, Igor , HEGNER, Frank
- 申请人地址: Hauptstrasse 1, 79689 Maulburg DE
- 专利权人: ENDRESS + HAUSER GMBH + CO. KG,DREWES, Ulfert,GETMAN, Igor,HEGNER, Frank
- 当前专利权人: ENDRESS + HAUSER GMBH + CO. KG,DREWES, Ulfert,GETMAN, Igor,HEGNER, Frank
- 当前专利权人地址: Hauptstrasse 1, 79689 Maulburg DE
- 代理机构: ANDRES, Angelika
- 优先权: DE102 20020916
- 主分类号: G01L9/00
- IPC分类号: G01L9/00
摘要:
Zur Minimierung des Spannefehlers eines Drucksensors mit einem im wesentlichen zylindrischen Grundkörper und einer an einer Stirnfläche des Grundkörpers gefügten Meßmembran, wobei die Druckmeßzelle axial eingespannt ist zwischen einem elastischen Dichtring, der auf der membranseitigen Stirnseite der Druckmeßzelle aufliegt, und einem Stützring, der die Druckmeßzelle rückseitig abstützt, sind die Abmessungen des Stützrings solchermaßen auf die Abmessungen des Dichtrings und der Druckmesszelle abgestimmt daß eine durch die axiale Einspannung der Druckmeßzelle bedingte radiale Verformung der membranseitigen Stirnfläche so gering ist, daß der Spannenfehler des Drucksensors aufgrund einer Reduzierung der axialen Einspannkraft um mindestens 10% nicht mehr als etwa 0,02% beträgt. Zudem ist zwischen dem Stützring und einem Einspannring ein steifes Entkopplungselement angeordnet, durch welches die Temperaturhysterese der Spanne minimiert wird. Die Geometrie des Stützrings und des Entkopplungselements wird iterativ mittels FEM ermittelt.
摘要(中):
为了最小化包括基本上为圆柱形的基体和接合于所述基体测量膜片的端面,其特征在于,所述压力测量单元被轴向夹紧的弹性密封环之间背部,其搁置在压力测量单元的所述膜侧的端面,和一个支撑环,该压力测量单元的压力传感器的误差的范围内, 支持,支撑环的尺寸从而适于引起由所述压力测量膜侧端面的细胞的径向变形的轴向夹紧密封环的尺寸和压力测量单元是如此之小,压力传感器的由于轴向的降低量程误差由至少10%的夹紧力 不超过按重量计约0.02%以上。 此外,支撑环和夹紧环之间,一个刚性联接元件布置成通过该跨度的温度滞后最小化。 支撑环的和去耦元件的几何结构被反复通过FEM来确定。