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1. 发明申请

WO2018087326A1 BESCHICHTUNGSVERFAHREN, BESCHICHTUNGSEINRICHTUNG UND BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：涂层工艺，涂层装置和部件
公开(公告)号：WO2018087326A1
公开(公告)日：2018-05-17
申请号：PCT/EP2017/078947
申请日：2017-11-10
申请人： EMDE, Thomas
发明人： KOWALSKY, Wolfgang , FRANKE, Sebastian , MONTZKA, Sebastian , SCHMIDT, Hans , NOWAK, Christine , WOLF, Lisa , FÜNDLING, Sönke
IPC分类号： C23C14/04 , C23C14/12 , C23C14/24
CPC分类号： C23C14/046 , C23C14/12 , C23C14/24
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung eines Substrats (1) mit einem Beschichtungsmaterial (8), wobei das Beschichtungsmaterial (8) von einer Materialabgabeeinrichtung (7) an einer Materialabgabestelle (11) abgegeben wird, einen Transportbereich (5) von der Materialabgabestelle (11) zu einer zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) zurücklegt und sich an der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) abscheidet, mit folgenden Schritten: a) Eliminieren von für den Beschichtungsprozess unerwünschten gasförmigen Medien (34) zumindest im Bereich der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1), der Materialabgabestelle (11) und des dazwischen liegenden Transportbereichs (5), b) Einbringen eines für den Beschichtungsprozess gewünschten gasförmigen Mediums (4, 33) in den Transportbereich (5) mit einem Druck im Bereich von 10 -5 mbar bis 10 -1 mbar, c) Abgeben des Beschichtungsmaterials (8) von der Materialabgabestelle (11), während sich das gewünschte gasförmige Medium (4, 33) im Transportbereich (5) in dem im Merkmal b) angegebenen Druckbereich befindet, wobei das Beschichtungsmaterial (8) den Transportbereich (5) zu der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) zurücklegt und sich an der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) abscheidet, ohne dass das gewünschte gasförmige Medium (4, 33) ein Trägergas für das Beschichtungsmaterial (8) bildet. Die Erfindung betrifft ferner eine Beschichtungseinrichtung zur Beschichtung eines Substrats mit einem Beschichtungsmaterial gemäß Anspruch 14 sowie ein Bauteil mit einem Substrat.
摘要翻译：
本发明涉及一种用于用涂覆材料（8），其中所述涂层材料（8）由一个材料排出装置（7）到材料排出点（11）被释放时，一个传输区域涂覆基材（1）（5）从材料排出点（11）要被涂覆的表面BEAR表面（2）的基板（1）导航使用cklegt和待涂表面上的承受沉积表面（2）的基板（1），包括以下步骤：一）消除˚F导航用途r是涂敷处理不需要的导航用途nschten气态＆oUML;至少在表面＆AUML的面积形介质（34），待涂覆;枝（2）在基板（1），该材料排出点（11）和中间输送部（5） b）将A F导航用途r为涂覆过程GEW导航用途nschten气态＆oUML;在传输部形介质（4，33）（5）与在10的范围内的压力^{-5 毫巴至10 ^{-1 mbar，c）提交Beschic htungsmaterials（8）的材料排出点（11）的，瓦特BEAR而重量导航用途WANTED位于运架区气态WAVY介质（4，33））（5）其中，特性b所示的压力范围，其中该涂层材料（8）至将衬底（1）的待涂覆表面（2）的并且粘附到衬底（1）的待涂覆表面（2）的传输区域（5）沉积而没有期望的气体介质（4,33）形成用于涂层材料（8）的载气。本发明还涉及用于根据本发明用涂料涂覆基材的涂布装置。权利要求14和一种带有衬底的组件。}}

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