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    • 1. 发明申请
    • HUBEINHEIT UND POSITIONIERVORRICHTUNG
    • 提升和定位
    • WO2014090288A1
    • 2014-06-19
    • PCT/EP2012/075149
    • 2012-12-12
    • EITZENBERGER LUFTLAGERTECHNIK GMBH
    • EITZENBERGER, HansHARNISCH, Jan
    • B66F3/24B66F3/26F15B15/14H01L21/68
    • B66F3/247B66F3/26F15B15/14H01L21/68785
    • Die Erfindung betrifft eine Hubeinheit (18), die aufweist: einen Hohlzylinder (84), einen innerhalb des Hohlzylinders (84) gelagerten Kolben (86), der in einer Hubrichtung ein- und ausfahrbar ist, eine innerhalb des Hohlzylinders (84) ausgebildete Arbeitskammer (88) zur Aufnahme von Druckluft, wobei die Arbeitskammer (88) eine Wirkfläche (90) des Kolbens (86) kontaktiert, so dass mittels der Druckluft eine auf den Kolben (86) wirkende Hubkraft steuerbar ist, und einen zwischen einer äußeren Mantelfläche (92) des Kolbens (86) und einer inneren Mantelfläche (94) des Hohlzylinders (84) ausgebildeten Zwischenraum (96). Es ist vorgesehen, dass der Zwischenraum (96) aufweist: einen Luftlagerbereich (98), der von Druckluft durchströmbar ist, so dass zwischen dem Hohlzylinder (84) und dem Kolben (86) ein Luftkissen erzeugt wird. Die Erfindung betrifft ferner eine Positioniervorrichtung mit einer solchen Hubeinheit.
    • 本发明涉及一种起重单元(18),包括:中空圆柱体(84),所述中空圆柱体的内部(84),其安装其在行程方向导通,并且是可伸展的活塞(86),所形成的中空圆柱体的一个内侧(84)工作腔 (88),用于接收压缩空气,其中,由所述活塞(86)的有源表面(90)接触的工作腔(88)控制,使得动作通过压缩空气的装置,以在活塞(86)的提升和(外周面之间 形成在活塞(86)和所述中空圆柱体(84)的空间(96)的内侧面(94)的92)。 可以设想,中间空间(96),包括:其通过由压缩空气流动,从而使空心圆筒(84)和所述活塞之间产生(86)中的气垫的空气轴承部(98)。 本发明还涉及一种定位装置具有这样的升降单元。
    • 2. 发明申请
    • POSITIONIERVORRICHTUNG, KREUZTISCH UND HUBEINHEIT
    • 定位,交叉表及起重
    • WO2014090291A1
    • 2014-06-19
    • PCT/EP2012/075169
    • 2012-12-12
    • EITZENBERGER LUFTLAGERTECHNIK GMBH
    • EITZENBERGER, HansHARNISCH, Jan
    • B23Q1/25H01L21/68G01B5/00
    • B25H1/16H01L21/68785
    • Die Erfindung betrifft eine Positioniervorrichtung (10), mit einer ersten Baueinheit (12; 14) und einer zweiten Baueinheit (14; 12), wobei die zweite Trageinheit (14) an oder auf der ersten Baueinheit (12) gelagert und relativ zu der ersten Baueinheit (12) in einer ersten Koordinate und in mindestens einer weiteren Koordinate bewegbar ist. Es ist vorgesehen, dass die Positioniervorrichtung (10) eine Messvorrichtung (130) zum Messen der ersten Koordinate aufweist, wobei die Messvorrichtung (130) einen Messschlitten (132) aufweist, der derart an die erste Baueinheit (12) und an die zweite Baueinheit (14) gekoppelt ist, dass der Messschlitten (132): - ortsfest relativ zu der ersten Baueinheit (12) bleibt, wenn die beiden Baueinheiten (12, 14) relativ zueinander derart bewegt werden, dass sich der Wert der ersten Koordinaten ändert und sich die Werte der weiteren Koordinaten nicht ändern, - sich mit der zweiten Baueinheit (14) mitbewegt, wenn die zweite Baueinheit (14) relativ zu der ersten Baueinheit (12) derart bewegt wird, dass sich mindestens ein Wert der weiteren Koordinaten ändert und sich der Wert der ersten Koordinate nicht ändert.
    • 本发明涉及的定位装置(10),具有第一模块(12; 14)和第二模块(14; 12),其特征在于,或所述第一单元(12)上的第二支承单元(14)被安装并相对第一至 该组件(12)是可移动的第一坐标和至少一个其它的坐标。 可以设想,所述定位装置(10)具有用于测量第一与测量设备(130)坐标的测量装置(130)包括一个测量滑架(132)以这样的方式与第一单元(12)和(第二模块 14联接),即测量车(132): - 静止的相对(于第一组件12)将保持在两个结构单元(12,14)相对于彼此,使得的值第一坐标的变化移动,并且 不改变其他坐标的值, - 当所述第二组件(14)相对于所述第一组件移动,(14)移动的第二单元(12),使得所述其他坐标中的至少一个值被改变,并且该值 不改变第一个坐标。
    • 3. 发明申请
    • POSITIONIERVORRICHTUNG, KREUZTISCH UND HUBEINHEIT
    • 定位,交叉表及起重
    • WO2014090289A1
    • 2014-06-19
    • PCT/EP2012/075156
    • 2012-12-12
    • EITZENBERGER LUFTLAGERTECHNIK GMBH
    • EITZENBERGER, HansHARNISCH, Jan
    • B23Q1/54H01L21/68
    • H01L21/68H05K13/0015
    • Die Erfindung betrifft eine Positioniervorrichtung (10), mit einer Grundeinheit (12) und einer Trageinheit (14), wobei die Trageinheit (14) an oder auf der Grundeinheit (12) gelagert und relativ zu der Grundeinheit (12) horizontal bewegbar ist und zum Tragen eines zu positionierenden Objektes eingerichtet ist. Es ist vorgesehen, dass zwischen der Grundeinheit (12) und der Trageinheit (14) eine oder mehrere Hubeinheiten (18, 20, 22) angeordnet sind, die sich jeweils von der Grundeinheit (12) bis an die Trageinheit (14) erstrecken, wobei jede der Hubeinheiten (18, 20, 22) derart steuerbar ist, dass ein der betreffenden Hubeinheit (18; 20; 22) zugeordneter vertikaler Abstand zwischen der Grundeinheit (12) und der Trageinheit (14) steuerbar ist, so dass eine Schwenkung der Trageinheit (14) um eine horizontale Achse relativ zu der Grundeinheit (12) steuerbar ist. Die Hubeinheiten (18, 20, 22) können jeweils einen ein- und ausfahrbaren Kolben (86) aufweisen. Die Erfindung betrifft ferner einen Kreuztisch mit einer solchen Positioniervorrichtung.
    • 本发明涉及的定位装置(10),包括一个基体单元(12)和一个支撑单元(14),其中,安装和相对于所述基部单元(12)中或所述基部单元(12)在所述支撑单元(14)是可移动的水平和 被设置为穿的定位对象。 据设想,基体单元(12)和所述支撑部(14)之间的一个或多个起重单元(18,20,22)被布置中,每个基本单元(12)的延伸到所述支撑单元(14),其中 每个提升部(18,20,22)是可控的,使得所讨论的升降单元中的一个(18; 20; 22)与所述基部单元(12)和所述支撑部(14)之间的垂直距离相关联的是可控制的,使得支撑部的枢转 (14)是可控制的绕水平相对于所述基部单元(12)一个轴。 升降单元(18,20,22)可以各自具有一个可伸缩的活塞(86)。 本发明还涉及一种化合物表具有这样的定位装置。