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1. 发明申请

WO2010028909A1 OPTISCHE POSITIONSMESSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：光学位置测量装置
公开(公告)号：WO2010028909A1
公开(公告)日：2010-03-18
申请号：PCT/EP2009/059731
申请日：2009-07-28
申请人： DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH , HOLZAPFEL, Wolfgang , LINGK, Christoph , VOGT, Gerhard
发明人： HOLZAPFEL, Wolfgang , LINGK, Christoph , VOGT, Gerhard
IPC分类号： G01D5/347
CPC分类号： G01D5/3473 , G01D5/34715 , G01D5/34746
摘要： Es wird eine optische Positionsmesseinrichtung angegeben, die zur Erfassung der Relativposition einer Abtasteinheit sowie einer hierzu in der Maßverkörperungsebene angeordneten und mindestens in einer Messrichtung beweglichen Maßverkörperung dient. Die Maßverkörperung erstreckt sich entlang einer ersten Geraden oder einer ersten gekrümmten Line. Die Abtasteinheit umfasst eine Lichtquelle sowie eine in einer Detektionsebene angeordnete und sich entlang einer zweiten Linie erstreckende Detektoranordnung, deren Krümmung verschieden von der ersten Geraden oder der ersten gekrümmten Linie ist. Es erfolgt eine Transformation eines aus der Abtastung der Maßverkörperung resultierenden Streifenmusters in ein sich entlang der zweiten Linie erstreckendes Streifenmuster. Zur Transformation sind die Maßverkörperungsebene und die Detektionsebene nicht-parallel zueinander angeordnet.
摘要翻译：本发明提供，其用于检测的扫描单元的相对位置和布置在测量-刻度和至少一个测量方向上移动测量标度的在其上的光学位置测量装置。所述测量刻度沿着第一直线或第一弯曲线延伸。该扫描单元包括光源和被布置在检测平面和沿第二线阵列检测器，其曲率是从第一直线或第一弯曲线延伸不同。存在从测量刻度的在沿着所述第二线条纹图案延伸的条纹图案的扫描所得的变换。为了转化，所述测量刻度平面和检测平面是不平行的布置成彼此。

2. 发明申请

WO2009132901A1 POSITIONSMESSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：位置测量装置
公开(公告)号：WO2009132901A1
公开(公告)日：2009-11-05
申请号：PCT/EP2009/053437
申请日：2009-03-24
申请人： DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH , BRAASCH, Jan , HOLZAPFEL, Wolfgang , BENNER, Ulrich , EHGARTNER, Gabriele , BERNHARD, Robert , MAYER, Elmar , SEICHTER, Martin
发明人： BRAASCH, Jan , HOLZAPFEL, Wolfgang , BENNER, Ulrich , BERNHARD, Robert , MAYER, Elmar , SEICHTER, Martin
IPC分类号： G01D5/245 , G01D5/249 , G01D5/347
CPC分类号： G01D5/2454 , G01D5/2495 , G01D5/34792
摘要： Mit der Erfindung wird eine Positionsmesseinrichtung angegeben, bei der aus einem seriellen Code (1) einerseits ein die Absolutposition definierendes Codewort (CW) sowie andererseits ein periodisches Inkrementalsignal (IN) abgeleitet wird. Zur Erzeugung des Inkrementalsignals (IN) ist eine Anordnung (11) vorgesehen, welche die Abtastsignale (A1 bis A8) derart wandelt, dass durch Summierung der gewandelten Abtastsignale (TA1 bis TA8) das Inkrementalsignal (IN) entsteht. Diese Wandlung ist in vorteilhafter Weise die Bildung eines Differenzsignals durch Vergleich des Abtastsignals (A1 bis A8) mit einem Referenzsignal und eine Gleichrichtung des Differenzsignals.
摘要翻译：通过本发明，一个位置测量装置，其中在一方面提供了一种从串行代码（1），其限定绝对位置（CW）的码字，而在另一方面，一个周期性增量信号（IN）被导出。为了产生的增量信号（IN），提供了一种装置（11），其将扫描信号（A1至A8），使得由所述变换后的感测信号（TA1至TA8）求和，增量信号（IN）被形成。这种转换是有利的差信号的通过（至A8 A1）的扫描信号的比较参考信号和差信号的一整流形成。

3. 发明申请

WO2010051897A1 OPTISCHE POSITIONSMESSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：光学位置测量装置
公开(公告)号：WO2010051897A1
公开(公告)日：2010-05-14
申请号：PCT/EP2009/007329
申请日：2009-10-13
申请人： DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH , HOLZAPFEL, Wolfgang , HÖFER, Volker , REICHHUBER, Siegfried , STEPPUTAT, Michael
发明人： HOLZAPFEL, Wolfgang , HÖFER, Volker , REICHHUBER, Siegfried , STEPPUTAT, Michael
IPC分类号： G01D5/38
CPC分类号： G01D5/38 , G01B11/14
摘要： Es wird eine optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Relativposition von zwei zueinander beweglichen Objekten angegeben, bestehend aus einer Abtasteinheit und einer Reflexions-Maßverkörperung, die jeweils mit den Objekten verbunden sind. Relative Positionsinformationen resultieren aus der interferierenden Überlagerung mindestens zweier Mess-Teilstrahlenbündel mit mindestens einem Referenz-Teilstrahlenbündel. Hierzu umfasst die Abtasteinheit verschiedene optische Komponenten. Diese sind derart angeordnet, dass ein einfallendes Strahlenbündel in der Abtasteinheit eine Aufspaltung in mindestens ein Mess-Strahlenbündel oder in mindestens zwei Mess-Teilstrahlenbündel sowie in mindestens ein Referenz-Teilstrahlenbündel erfährt. Das mindestens eine Mess-Strahlenbündel oder die mindestens zwei Mess-Teilstrahlenbündel beaufschlagen die Reflexions-Maßverkörperung und erfahren dort eine Aufspaltung, so dass mindestens zwei Mess-Teilstrahlenbündel in Richtung Abtasteinheit zurückreflektiert und jeweils mit einem Referenz-Teilstrahlenbündel zur interferierenden Überlagerung gebracht werden. Das mindestens eine Referenz-Teilstrahlenbündel beaufschlagt nicht die Reflexions-Maßverkörperung. Die überlagerten Mess-Teilstrahlenbündel und Referenz-Teilstrahlenbündel werden einer Detektoranordnung zugeführt, über die verschiebungsabhängige Abtastsignale erfassbar sind, aus denen Positionsinformationen bezüglich mindestens einer lateralen und einer vertikalen Verschiebungsrichtung der Objekte ableitbar sind. Zur Aufspaltung in mindestens ein Mess-Strahlenbündel oder in mindestens zwei Mess-Teilstrahlenbündel sowie in mindestens ein Referenz-Teilstrahlenbündel ist in der Abtasteinheit mindestens ein Aufspalt-Gitter angeordnet.
摘要翻译：提供了一种光学位置检测两个可相对移动的物体的相对位置，由一个扫描单元和一个反射测量分度，其分别与对象连接的测量装置。从至少两个的所述干扰叠加测量子光束与至少一个部分参考光束产生的相对位置信息。为此，扫描单元由各种光学组件。这些被布置成使得在扫描入射辐射光束经历分裂成至少一种测量辐射束或在至少两个测量子光束，并且在至少一个部分参考光束。所述至少一个测量辐射束或所述至少两个测量子光束撞击在反射材料测量和学习，其中一个分束，使得至少两个测量子光束反射回在扫描的方向和赞助商的参考部分光束分别干扰叠加。在所述反射测量分所述至少一个参考部分光束不采取行动。叠加的测量部分光束和部分参考光束被提供给一个检测器阵列，可以被记录在与位移有关的扫描信号，从该位置信息相对于至少一个横向和派生对象的位移的垂直方向。用于分割成至少一个测量辐射束或在至少两个测量子光束，并且在扫描单元的至少一个参考子光束的至少一个划分光栅被布置。

4. 发明申请

WO2008138502A1 OPTISCHE POSITIONSMESSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：光学位置测量装置
公开(公告)号：WO2008138502A1
公开(公告)日：2008-11-20
申请号：PCT/EP2008/003553
申请日：2008-05-02
申请人： DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH , HOLZAPFEL, Wolfgang
发明人： HOLZAPFEL, Wolfgang
IPC分类号： G01D5/347 , G01B11/00
CPC分类号： G01B11/002 , G01D5/34723
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Relativposition einer Abtasteinheit sowie einem hierzu in mindestens einer Messrichtung beweglichen Maßstab. Der M Maßstab ist als kombinierte Baueinheit ausgebildet, welche mindestens ein Reflektorelement sowie eine Messteilung umfasst. Der Abtasteinheit sind eine Lichtquelle sowie ein oder mehrere Detektorelemente zugeordnet. Die Abtasteinheit umfasst Aufspaltmittel, die das von der Lichtquelle emittierte Strahlenbündel in mindestens zwei Teilstrahlenbündel in Messrichtung aufspalten, die nach der Aufspaltung in Richtung des Maßstabs propagieren.
摘要翻译：本发明涉及一种光学位置测量装置，用于检测在测量刻度中的至少一个方向上的扫描单元和一可动的其上的相对位置。所述M规模被形成为包括至少一个反射器元件的组合模块和测量刻度。扫描单元被分配一个光源和一个或多个检测器元件。该扫描单元包括分割来自光源光束发射到射线中的至少两个部分光束的光在测量方向，在标尺的方向分割后传播分裂装置。

5. 发明申请

WO2008138501A1 POSITIONSMESSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：位置测量装置
公开(公告)号：WO2008138501A1
公开(公告)日：2008-11-20
申请号：PCT/EP2008/003552
申请日：2008-05-02
申请人： DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH , HOLZAPFEL, Wolfgang
发明人： HOLZAPFEL, Wolfgang
IPC分类号： G01B11/00 , G01D5/38
CPC分类号： G01B11/002 , G01D5/34723
摘要： Es wird eine Positionsmesseinrichtung angegeben, die zum Messen der Relativlage eines Objekts relativ zu einem Tool dient, wobei das Tool einen Tool Center Point besitzt. Die Positionsmesseinrichtung besteht aus mindestens zwei gekreuzt angeordneten und zueinander in mindestens einer Bewegungsebene verschiebbaren Maßstäben und einer zugeordneten optischen Abtasteinheit, die Positionssignale für mindestens eine Messrichtung parallel zur Bewegungsebene erzeugt. Jeder Maßstab weist einen neutralen Drehpunkt aufweist, um den eine Verkippung des jeweiligen Maßstabs keine Veränderung der erfassten Position bewirkt. Durch die Abtastoptik ist sichergestellt, dass die Lage der neutralen Drehpunkte der beiden Maßstäbe übereinstimmt. Durch die Anordnung der Maßstäbe relativ zum Tool Center Point ist sichergestellt, dass die neutralen Drehpunkte der beiden Maßstäbe und der Tool Center Point in einer Ebene liegen, die parallel zur Bewegungsebene liegt.
摘要翻译：本发明提供用于测量物体相对于工具的方法，其中所述工具具有工具中心点的相对位置的位置测量装置。的位置测量系统包括至少两个划线布置并产生彼此在移动中的至少一个平面中可滑动的秤和相关联的光学扫描单元，用于平行于运动平面的至少一个测量方向上的位置的信号。在各标尺旋转的中性点有可能导致各比例的倾斜在检测到的位置没有变化。通过扫描光学系统确保了两个尺度的旋转中立点的位置一致。由于相对于工具中心点的刻度的布置确保了两个尺度的旋转并位于平行于运动平面的平面上的工具中心点的中性点。

6. 发明申请

WO2010112269A2 ANORDNUNG MIT EINEM AN EINEM TRÄGER BEFESTIGTEN MASSSTAB UND VERFAHREN ZUM HALTEN EINES MASSSTABS AN EINEM TRÄGER 审中-公开
标题翻译：具有固定于支持范围和方式举办规模，在支撑安排
公开(公告)号：WO2010112269A2
公开(公告)日：2010-10-07
申请号：PCT/EP2010/052239
申请日：2010-02-23
申请人： DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH , SPECKBACHER, Peter , WEIDMANN, Josef , HOLZAPFEL, Wolfgang
发明人： SPECKBACHER, Peter , WEIDMANN, Josef , HOLZAPFEL, Wolfgang
IPC分类号： G01D5/347
CPC分类号： G01D5/34707
摘要： Gemäß der Erfindung wird ein Maßstab (1) durch pneumatisches Ansaugen an einem Träger (2) gehalten. Der Maßstab (1) wird mittels zweidimensional verteilt angeordneter und voneinander beabstandeter Unterstützungen (12) am Träger (2) gehaltert, wobei die Unterstützungen (12) einen gegenseitigen Mittenabstand (A) kleiner als die Dicke (D) des Maßstabs (1) aufweisen.
摘要翻译：根据本发明的标度（1）通过抵靠支撑件（2）气动抽吸保持。标尺（1）（2）支撑在所述载体上二维排列和间隔开的支撑（12）的装置，所述支撑件（12）具有相互的中心距离（A）小于所述标尺（1）的厚度（D）。

7. 发明申请

WO2003021185A1 POSITIONSMESSEINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINER POSITIONSMESSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：位置测量装置和方法进行操作的位置测量装置
公开(公告)号：WO2003021185A1
公开(公告)日：2003-03-13
申请号：PCT/EP2002/009767
申请日：2002-09-02
申请人： DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH , HOLZAPFEL, Wolfgang , SÄNDIG, Karsten
发明人： HOLZAPFEL, Wolfgang , SÄNDIG, Karsten
IPC分类号： G01B11/02
CPC分类号： G01D5/366
摘要： Es wird eine Positionsmesseinrichtung sowie ein Verfahren zum Betrieb einer Positionsmesseinrichtung angegeben, insbesondere zur Erzeugung von mindestens einem Referenzimpulssignal. Die Positionsmesseinrichtung umfasst einen Massstab mit einer Spurt in der eine periodische Inkrementalteilung angeordnet ist, die sich in einer Messrichtung erstreckt. Die Spur besitzt an mindestens einer definierten Referenzposition eine Unstetigkeit bzgl. einer optischen Eigenschaft. Ferner umfasst die Positionsmesseinrichtung eine Abtasteinheit, die relativ zum Masstab in Messrichtung über eine bestimmte Messstrecke beweglich ist und neben einer Lichtquelle mehrere Detektorelemente zur photoelektrischen Abtastung der Inkrementalteilung besitzt. In benachbarten Abschnitten der Messstrecke weist die Inkrementalteilung unterschiedliche Transversal-Substrukturen auf die auftreffende Strahlenbündel in erste und zweite Raumrichtungen ablenkt. Auf Seiten der Abtasteinheit sind Referenzimpuls-Detektorelemente in den verschiedenen Raumrichtungen angeordnet, an denen Referenzimpuls-Teilsignale bzw. Bereichssignale anliegen, aus deren Verarbeitung das Referenzimpulssignal resultiert.
摘要翻译：本发明提供一种位置测量装置和用于操作位置测量装置，特别是用于生产至少一个参考脉冲信号的方法。位置测量装置包括与其中一个周期性增量刻度被布置突飞猛进，其延伸在测量方向上的标度。所述轨道具有至少一个定义的参考位置相对于一个不连续性。一种光学特性。另外，位置测量装置包括一个扫描单元，它可相对于在测量方向上的尺度超过一定测量距离，并且除了具有多个用于增量刻度的光电扫描检测器元件的光源。在测量部的相邻部分，增量不同的横向偏转子入射辐射束分成第一和第二空间方向。在扫描单元参考脉冲检测器元件的侧面被安排在不同的空间方向中的部分参考脉冲信号或场信号都存在，作为其处理的参考脉冲信号的结果。

8. 发明申请

WO2009103743A1 XY-TISCH MIT EINER MESSANORDNUNG ZUR POSITIONSBESTIMMUNG 审中-公开
标题翻译：用测量装置XY-表用于确定位置
公开(公告)号：WO2009103743A1
公开(公告)日：2009-08-27
申请号：PCT/EP2009/051935
申请日：2009-02-18
申请人： DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH , HOLZAPFEL, Wolfgang
发明人： HOLZAPFEL, Wolfgang
IPC分类号： G01B5/00 , G05B19/401
CPC分类号： G01B5/0004 , G01D5/34715 , G01D5/34746 , G03F7/70775
摘要： Es wird ein XY-Tisch mit einer Messanordnung zur Positionsbestimmung beschrieben, mit einem ortsfesten Referenzteil (B) und einem Zwischenteil (F), das relativ zum Referenzteil (B) in einer ersten Richtung (Y) verschiebbar gehalten ist, mit einem Objekt (O) das relativ zum Zwischenteil (F) in einer zweiten Richtung (X) verschiebbar gehalten ist, wobei ein zu bearbeitendes Teil (W) auf dem Objekt (O) oder auf dem Referenzteil (B) angeordnet ist, sowie für die erste Richtung (X) mit wenigstens einem 1Dplus-Encoder (M1, M2) zum Messen von in-plane Freiheitsgraden (X, Y, Rz) zwischen Referenzteil (B) und Zwischenteil (F), und für die zweite Richtung (X) mit wenigstens einem 1Dplus-Encoder (M3, M4) zum Messen der in-plane Freiheitsgrade (X, Y, Rz) zwischen dem Objekt (O) und dem Zwischenteil (F), so dass die Lage (Xo, Yo) eines Tool Center Points (TCP) am Objekt (O) oder Teil (W) erfassbar ist. Dabei sind die 1Dplus-Encoder (M1, M2, M3, M4) konstruktiv so angeordnet sind, dass deren Projektion in die durch die erste und zweite Richtung (X, Y) aufgespannte Ebene, die den Tool Center Point (TCP) enthält, im gesamten Verfahrbereich des XY-Tisches außerhalb des Teils (W) liegt. Dies erlaubt die Einhaltung der Abbe-Bedingung und damit die genau Erfassung des Tool Center Points (TCP) am Objekt (O) mit einfachen 1Dplus-Encodern.
摘要翻译：存在与测量装置描述了用于确定位置，与固定参考部分（B）和在第一方向（Y）相对于可滑动地保持的基准部分的中间部分（F）时，（B）（与对象O的XY工作台），其相对于所述中间部分（F）在第二方向（X）被可移动地保持，其中的一部分被处理（W）的对象（O）或上（参考B部分上）设置，和（对于第一方向X ）（与至少一个1Dplus编码器M1，M2）（用于与至少一个1Dplus-测量面内度的基准部分（B）和中间部分（F）和（用于第二方向X之间自由X，Y，RZ）的）编码器（M3，M4），用于测量平面内的自由度（X，Y，Rz）为所述对象（O）和所述中间部件（F）之间，使得上的位置的中心点工具（TCP）的（XO，YO）被检测到的物体（O）或部分（W）。这里，1Dplus编码器（M1，M2，M3，M4）被布置和构造成使得其在投影通过所述第一和第二方向（X，Y）平面跨越包含工具中心点（TCP），在的部分（W）的外侧的XY工作台的整个行程的位置。这允许遵守简单1Dplus编码器阿贝条件，从而在物体（O）的工具中心点（TCP）的精确检测。

9. 发明申请

WO2009065463A1 INTERFEROMETERANORDNUNG UND VERFAHREN ZU DEREN BETRIEB 审中-公开
标题翻译：干涉仪和施工方法
公开(公告)号：WO2009065463A1
公开(公告)日：2009-05-28
申请号：PCT/EP2008/008341
申请日：2008-10-01
申请人： DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH , HOLZAPFEL, Wolfgang
发明人： HOLZAPFEL, Wolfgang
IPC分类号： G01B9/02 , G01N21/45
CPC分类号： G01B9/0207 , G01B9/02027 , G01B2290/45 , G01B2290/60 , G01N21/3504 , G01N21/3554 , G01N2201/023
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Interferometeranordnung und ein Verfahren zu deren Betrieb. Die Interferometeranordnung umfasst ein Interferometer mit einer Interferometer-Lichtquelle, deren emittierte Strahlung in einen Mess- und einen Referenzarm aufteilbar ist, wobei ein Messobjekt im Messarm angeordnet ist und das Interferometer von der Position des Messobjekts abhängige Interferometersignale liefert. Ferner sind Erfassungsmittel zur Erfassung von Fluktuationen des Brechungsindexes der Luft im Mess- und/oder Referenzarm vorgesehen. Hierbei umfassen die Erfassungsmittel eine Spektrometereinheit; die Spektrometereinheit weist mindestens eine Spektrometer-Lichtquelle sowie mindestens eine Spektrometer-Detektoreinheit auf. Die von der Spektrometer-Lichtquelle emittierten Strahlenbündel werden den Strahlenbündeln der Interferometer-Lichtquelle überlagert, wobei die Spektrometer-Lichtquelle Strahlung mit einer Wellenlänge emittiert, die im Bereich einer Absorptionslinie mindestens eines bestimmten Luftbestandteils liegt. Die Spektrometer-Detektoreinheit dient zur Erzeugung von Spektrometersignalen, die die Absorption des Luftbestandteils bzgl. der Spektrometer-Lichtquellenwellenlänge im Mess- und/oder Referenzarm charakterisieren.
摘要翻译：本发明涉及一种干涉仪和用于其操作的方法。的干涉仪，其包括具有干涉仪的光源，其发射的辐射可分为一个测量臂和参考，其中，被测物体被布置在测量臂和所述干涉仪提供依赖于测量对象干涉信号的位置的干涉仪。此外，检测装置，用于设置在测量和/或参考臂的空气的折射率检测的波动。这里，检测装置包括分光计单元; 光谱仪单元至少包括一光谱仪光源和至少一个光谱仪检测器单元。从分光计光源的光束射出的光重叠在干涉仪光源的光束，其中光谱仪光源发射具有波长为至少在一个吸收线的范围内的一定的空气成分的辐射。该光谱仪检测器单元被用于生成表征所述空气成分的相关的吸收光谱仪的信号。分光计光源波长在测量和/或参考臂。

10. 发明申请

WO2007112796A1 VERFAHREN ZUM HALTEN EINES MASSSTABS AN EINEM TRÄGER SOWIE ANORDNUNG MIT EINEM TRÄGER UND EINEM MASSSTAB 审中-公开
标题翻译：方法用于固定规模，载体和安排与载体和比例
公开(公告)号：WO2007112796A1
公开(公告)日：2007-10-11
申请号：PCT/EP2007/000404
申请日：2007-01-18
申请人： DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH , HOLZAPFEL, Wolfgang , SPECKBACHER, Peter
发明人： HOLZAPFEL, Wolfgang , SPECKBACHER, Peter
IPC分类号： G01D5/347
CPC分类号： G01D5/34707
摘要： Gemäß der Erfindung wird ein eine Messteilung (15) aufweisender Maßstab (1) durch elektrostatische Klemmung an einem Träger (2) sicher und lösbar gehalten.
摘要翻译：根据本发明的测量分（15）被保持，包括方向尺度（1）通过静电夹持至支撑（2）牢固和可释放本发明。

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