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    • 3. 发明申请
    • MESSANORDNUNG SOWIE VERFAHREN ZUM DREIDIMENSIONALEN MESSEN EINES OBJEKTS
    • 测量装置和方法进行三维测量物体
    • WO2008129073A2
    • 2008-10-30
    • PCT/EP2008/054982
    • 2008-04-24
    • DEDUGENT GMBHGRASER, RainerHIBST, RaimundMÜLLER, MichaelSTOCK, Karl
    • GRASER, RainerHIBST, RaimundMÜLLER, MichaelSTOCK, Karl
    • G01B11/24G02B21/00
    • G01B11/24A61C9/006A61C9/0066G01B2210/50G02B21/0032G02B21/0044G02B21/0064
    • Die Erfindung bezieht sich auf eine Messanordnung sowie ein Verfahren zum dreidimensionalen Messen von zumindest einem Teil eines Objekts (28) umfassend eine Lichtquelle (10) mit einem kontinuierlichen Spektrum, eine Einrichtung (14) zur Erzeugung eines multifokalen Beleuchtungsmusters (16), ein Objektiv (18) mit großer chromatischer Aberration zur Abbildung von Foki des Beleuchtungsmusters auf das Objekt, eine Detektiereinheit (40) zur Ermittlung der Wellenlängenspektren der konfokal über das Objektiv auf das Objekt abgebildeten Foki sowie eine spektraldispersive Einrichtung (34, 36, 38), die zwischen den konfokal abgebildeten Foki und der Detektionseinrichtung angeordnet ist. Um auch bei bewegten Objekten in relativ kurzer Zeit ein Oberflächenprofil erstellen zu können, das eine hohe Genauigkeit aufweist, wird vorgeschlagen, dass in der Ebene der konfokal abgebildeten Foki ein erstes Lochmuster (30) mit ersten Löchern (32) angeordnet ist, wobei geometrische Anordnung der ersten Löcher geometrischer Anordnung der Foki des multifokalen Beleuchtungsmusters entspricht.
    • 本发明涉及一种测量装置和用于三维测量的至少一个对象(28),包括光源(10)具有连续光谱的一部分的方法,装置(14)用于产生一个多焦点照明图案(16),物镜( 18)用于成像色差大的重点照明图案到物体,检测单元(40),用于在之间确定通过目标共焦成像到该对象的焦点的波长光谱和spektraldispersive装置(34,36,38) 共焦成像的焦点和所述检测装置被布置。 为了创建一个表面轮廓,即使在相对短的时间,其具有高精确度的移动物体中,提出的是,在焦点的平面共焦成像的与第一孔(32),所述几何结构的第一孔图案(30) 所述第一孔的多焦点照射图案的焦点的几何布置对应。
    • 5. 发明申请
    • VERFAHREN SOWIE MESSANORDNUNG ZUM DREIDIMENSIONALEN MESSEN EINES OBJEKTES
    • 方法和测量器具,用于物体的三维测量
    • WO2010130843A1
    • 2010-11-18
    • PCT/EP2010/056755
    • 2010-05-17
    • DEGUDENT GMBHSTOCK, KarlZINT, MichaelGRASER, RainerHIBST, Raimund
    • STOCK, KarlZINT, MichaelGRASER, RainerHIBST, Raimund
    • G01B11/24G02B21/00A61B5/00
    • G01B11/24A61B5/0068A61B5/0088A61B5/1075A61B2562/0233A61C9/006G01B2210/50G02B21/004G02B21/0064
    • Verfahren zum Messen der Form zumindest eines Abschnitts eines Objekts (8), insbesondere eines semitransparenten Objekts wie zumindest Abschnitts eines Zahns unter Verwendung einer Lichtquelle (1) zur Erzeugung von Licht mit vorzugsweise einem breitbandigen Spektrum einer Einrichtung (3) zur Erzeugung eines multifokalen Beleuchtungsmusters, eines Objektivs (6) mit großer chromatischer Aberration zur Abbildung von Foki des Beleuchtungsmusters auf das Objekt einer Detektiereinrichtung (16) zur Ermittlung der Wellenlängenspektren der konfokal über das Objektiv auf das Objekt abgebildeten Foki, wobei aus dem jeweiligen Wellenlängenspektrum spektrale Peaklage eines jeden Fokus bestimmt wird, aus der die Erstreckung des Objekts in Richtung des Abbildungs Strahls (Z-Koordinate) berechnet wird, wobei das multifokale Beleuchtungsmuster über zwischen der Lichtquelle (1) und dem Objektiv (6) großer chromatischer Aberration angeordnete Lichtleiter (5) gebildet wird, wobei das Objektiv (6) objektseitige Enden der Lichtleiter auf das Objekt und von dem Objekt remittiertes Licht auf die objektseitigen Enden der Lichtleiter abbildet und wobei durch die Lichtleiter geleitetes und remittiertes Licht auf die Detektiereinrichtung (12) gelenkt wird. Um zu erreichen, dass mit konstruktiv einfachen Maßnahmen hochpräzise gemessen werden kann, wobei sowohl eine bestmögliche Messpunkteverteilung auf der Probe als auch eine optimale Spektrumverteilung in der Detektiereinrichtung ermöglicht werden soll, ist vorgesehen, dass das objektseitige Beleuchtungsmuster derart über die Lichtleiter (5) gebildet wird, dass eine objektseitige Messpunkteverteilung von einer beleuchtungs- bzw. detektionsseitigen Mikrolinsen- bzw. Pinholeverteilung unabhängig ist.
    • 一种用于测量物体的至少一个部分的形状的方法(8),特别是半透明对象作为至少一个通过使用一个光源(1),用于生成光,优选具有用于产生一个多焦点的照明图案的装置(3)的宽带频谱的齿的一部分, 一个透镜(6)具有用于成像大色差聚焦在对象上的照明图案的检测装置(16),用于确定经由所述目标共焦成像到该对象的焦点,其中每个焦点中的一个被从相应的波长范围内的光谱峰位置的确定的波长谱 从该对象在光源之间的多焦点照明图案上的成像光束(Z坐标)的方向上的延伸件(1)和(6)高色差布置(5)形成光导体被计算的目标,其特征在于,所述 透镜(6)是否 纤维到物体和漫反射光从所述对象映射到所述光导的对象侧的端部和端部jektseitige其中通过光导传播并且射光被引导至检测装置(12)。 为了实现这一点,以结构上简单的措施,可以以高精度测量,且在样品上都可能的最佳测量点分布以及最优频谱分布是在检测手段成为可能,它提供了以这样的方式在所述光导体的物体侧的照明图案(5)形成 该物体侧测量点的照明或检测侧的微透镜的分布或Pinholeverteilung是独立的。